CN214837292U - 一种分子泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种分子泵，涉及真空泵技术领域，主要解决现有的涡轮分子泵与牵引分子泵在运转时连接部位容易松动而造成排空效率下降的问题；该装置包括基座，所述基座上横向安装有牵引分子泵以及涡轮分子泵，所述牵引分子泵与涡轮分子泵上设置有安装柱，所述牵引分子泵与涡轮分子泵通过安装柱与基座之间活动安装，所述基座内设置有锁定装置，所述安装柱上安装有滑套，所述滑套与安装柱之间竖向滑动安装，所述滑套上设置有固定板，所述固定板与锁定装置相互配合，所述牵引分子泵与涡轮分子泵之间设置有连接管，所述连接管与连接架之间可拆卸式安装，本实用新型通过上述结构有效提升复合分子泵的安装效率。

Description

一种分子泵

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体是一种分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。主要分为牵引分子泵和涡轮分子泵，气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口，涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的，这种泵通常在分子流状态下工作，还包括复合分子泵，它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵，集两种泵的优点于一体，泵在很宽的压力范围内具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

一般通过连接管将牵引分子泵与涡轮分子泵进行连接，现有的连接结构在分子泵进行高速运转的过程中，由于振动的原因很容易引起连接管接头部位的松动造成漏气，从而影响复合式分子泵的排空效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种分子泵，以解决牵引分子泵与涡轮分子泵连接后，运转的过程中容易松动而造成漏气，从而影响复合式分子泵的排空效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种分子泵，包括基座，所述基座上横向安装有牵引分子泵以及涡轮分子泵，所述牵引分子泵与涡轮分子泵上设置有安装柱，所述牵引分子泵与涡轮分子泵通过安装柱与基座之间活动安装，所述基座内设置有锁定装置，所述安装柱上安装有滑套，所述滑套与安装柱之间竖向滑动安装，所述滑套上设置有固定板，所述固定板与锁定装置相互配合，所述牵引分子泵与涡轮分子泵之间设置有连接管，所述连接管与连接架之间可拆卸式安装。

作为本实用新型进一步的方案：所述锁定装置包括设置在基座内部的安装槽，所述安装槽内转动安装有双向螺杆，所述双向螺杆的两端设置有轴承，所述双向螺杆通过轴承与安装槽之间转动安装，所述双向螺杆与动力组件相连，所述双向螺杆上设置有移动套筒，所述移动套筒上设置有锁定柱，所述锁定柱与固定板相互配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述安装柱上设置有限位块，所述滑套设置在限位块的上侧，所述固定板设置在滑套的侧边，所述固定板上设置有配合孔，所述锁定柱与配合孔相互配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述锁定柱上设置有凹槽一，所述凹槽一与配合孔的侧边相互配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述固定板对称设置在滑套的两侧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述动力组件包括设置在基座上的凹槽二，所述凹槽二上设置有旋转块。

作为本实用新型再进一步的方案：所述移动套筒的截面为长方形，所述安装槽内涂抹有润滑脂。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过在基座内设置安装槽，结合安装槽对锁定装置进行调节，通过双向螺杆控制移动套筒在安装槽内移动，从而使得锁定柱对滑套侧边的固定板进行固定操作，从而实现对复合分子泵的安装位置进行可靠固定，避免在运转的过程中由于振动导致连接管的接头位置松动，保证分子泵的排空效率；

2、滑套的两侧同时设置固定板，同时在基座内对称设置安装槽，进行安装双向螺杆，从而实现对复合泵的双向进行固定操作，有效提升了复合泵在运转时的稳定性，同时利用滑套的设置，可以快速对复合泵进行对接和分开操作，有效提升了复合泵的排空效率。

附图说明

图1为一种分子泵的结构示意图。

图2为一种分子泵中A处放大结构示意图。

图3为一种分子泵中基座的侧视结构示意图。

图4为一种分子泵中锁定柱的结构示意图。

图5为一种分子泵中双向螺杆的结构示意图。

图中：1-基座，2-万向轮，3-牵引分子泵，4-连接架，5-涡轮分子泵，6-连接管，7-安装柱，8-滑套，9-固定板，10-限位块，11-安装槽，12-双向螺杆，13-锁定柱，14-移动套筒，15-轴承，16-旋转块。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例1：

请参阅图1-5，一种分子泵，包括基座1，所述基座1上横向安装有牵引分子泵3以及涡轮分子泵5，所述牵引分子泵3与涡轮分子泵5上设置有安装柱7，所述牵引分子泵3与涡轮分子泵5通过安装柱7与基座1之间活动安装，所述基座1内设置有锁定装置，所述安装柱7上安装有滑套8，所述滑套8与安装柱7之间竖向滑动安装，所述滑套8上设置有固定板9，所述固定板9与锁定装置相互配合，所述牵引分子泵3与涡轮分子泵5之间设置有连接管6，所述连接管6与连接架4之间可拆卸式安装。

具体的，通过安装柱7，将牵引分子泵3与涡轮分子泵5活动安装在基座1上，使得牵引分子泵3与涡轮分子泵5之间可以相互分离，便于对复合泵进行定位维护操作。对牵引分子泵3与涡轮分子泵5进行连接时，通过锁定装置对滑套8上的固定板9进行固定，从而实现对安装柱7进行锁定操作，进而实现对牵引分子泵3以及涡轮分子泵5进行固定操作，保证了牵引分子泵3与涡轮分子泵5之间的可靠连接，避免出现松动而导致的排空效率下降问题。

作为本申请的一种实施例，所述锁定装置包括设置在基座1内部的安装槽11，所述安装槽11内转动安装有双向螺杆12，所述双向螺杆12的两端设置有轴承15，所述双向螺杆12通过轴承15与安装槽11之间转动安装，所述双向螺杆12与动力组件相连，所述双向螺杆12上设置有移动套筒14，所述移动套筒14上设置有锁定柱13，所述锁定柱13与固定板9相互配合。

具体的，通过在基座1内设置安装槽11，结合安装槽11进行安装双向螺杆12以及移动套筒14，转动双向螺杆12时，使得移动套筒14在安装槽11内进行移动，从而对移动套筒14上的锁定柱13进行横向移动，当锁定柱13与固定板9相互配合时，再控制移动套筒14带动锁定柱13进行移动，实现对固定板9进行固定，进而对安装柱7上安装的牵引分子泵3与涡轮分子泵5进行固定操作。

作为本申请的一种实施例，所述安装柱7上设置有限位块10，所述滑套8设置在限位块10的上侧，所述固定板9设置在滑套8的侧边，所述固定板9上设置有配合孔，所述锁定柱13与配合孔相互配合。

具体的，通过在安装柱7上设置限位块10，对滑套8的移动距离进行限定，避免滑套8在安装柱7上移动距离过大，影响后续的锁定效率。通过在固定板9上设置配合孔，结合配合孔对锁定柱13进行配合，从而实现对安装柱7的位置进行可靠锁定。

作为本申请的一种实施例，所述锁定柱13上设置有凹槽一，所述凹槽一与配合孔的侧边相互配合。

具体的，在锁定柱13上设置凹槽一，凹槽一与配合孔的内侧壁相互配合，实现对固定板9的可靠固定操作。

作为本申请的一种实施例，所述固定板9对称设置在滑套8的两侧。

具体的，通过在滑套8上对称设置固定板9，同时将锁定装置对称设置在基座1的前后两侧，从而实现对安装柱7的双面固定操作，进一步提升了安装柱7的固定效果，从而增加了牵引分子泵3与涡轮分子泵5的安装牢固程度。

作为本申请的一种实施例，所述动力组件包括设置在基座1上的凹槽二，所述凹槽二上设置有旋转块16。

具体的，通过在基座1上设置凹槽二，结合凹槽二对双向螺杆12进行转动控制，结合旋转块16，控制双向螺杆12进行旋转，从而简化双向螺杆12的转动效率。

更具体的，旋转块16可选为六角螺母状，通过扳手对双向螺杆12进行转动调整，从而实现锁定杆与固定板9之间的预紧操作。也可以使用其他结构，或者使用电动驱动方式，控制安装槽11内部的双向螺杆12进行转动操作，这里对于双向螺杆12的驱动方式不做限定，只要能够实现对双向螺杆12的快速转动控制即可。

作为本申请的一种实施例，所述移动套筒14的截面为长方形，所述安装槽11内涂抹有润滑脂。

具体的，移动套筒14的截面设置为长方形，同时安装槽11的截面也为长方形，当双向螺杆12进行转动时，控制移动套筒14相互靠近或者分离，从而对滑套8上的安装板进行预紧固定操作，实现对安装柱7的可靠安装操作。

使用时，通过安装柱7对牵引分子泵3与涡轮分子泵5进行移动，移动到相应位置时，将安装柱7上的滑套8与锁定柱13相互配合，配合后通过连接架4上的连接结构，实现对牵引分子泵3与涡轮分子泵5之间的导通操作。可靠锁定后的安装柱7保证了牵引分子泵3与涡轮分子泵5之间的可靠连接，避免在高速运转时出现松动而导致的排空效率下降的问题。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种分子泵，包括基座(1)，所述基座(1)上横向安装有牵引分子泵(3)以及涡轮分子泵(5)，其特征在于，所述牵引分子泵(3)与涡轮分子泵(5)上设置有安装柱(7)，所述牵引分子泵(3)与涡轮分子泵(5)通过安装柱(7)与基座(1)之间活动安装，所述基座(1)内设置有锁定装置，所述安装柱(7)上安装有滑套(8)，所述滑套(8)与安装柱(7)之间竖向滑动安装，所述滑套(8)上设置有固定板(9)，所述固定板(9)与锁定装置相互配合，所述牵引分子泵(3)与涡轮分子泵(5)之间设置有连接管(6)，所述连接管(6)与连接架(4)之间可拆卸式安装。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述锁定装置包括设置在基座(1)内部的安装槽(11)，所述安装槽(11)内转动安装有双向螺杆(12)，所述双向螺杆(12)的两端设置有轴承(15)，所述双向螺杆(12)通过轴承(15)与安装槽(11)之间转动安装，所述双向螺杆(12)与动力组件相连，所述双向螺杆(12)上设置有移动套筒(14)，所述移动套筒(14)上设置有锁定柱(13)，所述锁定柱(13)与固定板(9)相互配合。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵，其特征在于，所述安装柱(7)上设置有限位块(10)，所述滑套(8)设置在限位块(10)的上侧，所述固定板(9)设置在滑套(8)的侧边，所述固定板(9)上设置有配合孔，所述锁定柱(13)与配合孔相互配合。

4.根据权利要求3所述的一种分子泵，其特征在于，所述锁定柱(13)上设置有凹槽一，所述凹槽一与配合孔的侧边相互配合。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵，其特征在于，所述固定板(9)对称设置在滑套(8)的两侧。

6.根据权利要求2所述的一种分子泵，其特征在于，所述动力组件包括设置在基座(1)上的凹槽二，所述凹槽二上设置有旋转块(16)。

7.根据权利要求2所述的一种分子泵，其特征在于，所述移动套筒(14)的截面为长方形，所述安装槽(11)内涂抹有润滑脂。

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