CN221374062U - 一种分子泵用连接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种分子泵用连接装置，涉及安装设备技术领域，包括安装座，所述安装座的顶部安装有半导体设备，本实用新型有益增效：设置有固定组件，带动转动板向一侧转动，带动第二连接杆向第二弹簧一侧挤压，通过第二弹簧变形进行缓冲防护处理，直至第二连接杆滑出支撑座内部，方便对半导体设备进行分离维护操作，同时方便与分子泵配合使用时不需要整体拆卸即可进行正常分离维护作业，缩短了工作强度与劳动周期，设置有辅助安装组件，直至所需高度，通过定位销进行定位，在配合分子泵安装时，通过安装板和定位螺栓方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作，未使用电力设备辅助，节省了安装使用成本。

Description

一种分子泵用连接装置

技术领域

本实用新型涉及安装设备技术领域，具体为一种分子泵用连接装置。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，在进行使用时通常通过在内部安装半导体设备进行辅助使用。

现有的半导体设备在与分子泵配合使用时存在以下问题：需要定期进行维护，由于采用传统焊接方式，难以进行迅速分离，加大了人工劳动强度，同时不方便进行安装时设备高度调整，整体的安装灵活性较差，因此需要设计一种分子泵用连接装置来解决上述出现的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种分子泵用连接装置，以解决上述背景技术中提出需要定期进行维护，由于采用传统焊接方式，难以进行迅速分离，加大了人工劳动强度，同时不方便进行安装时设备高度调整，整体的安装灵活性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种分子泵用连接装置,包括安装座，所述安装座的顶部安装有半导体设备，所述安装座的底部安装有辅助安装组件，所述辅助安装组件包括安装底板和套筒，所述安装座的底部固定连接有安装底板，所述半导体设备的底部固定连接有延伸至安装座内部的支撑座，所述安装座的内部安装有配合支撑座使用的固定组件，所述固定组件包括限位轴和转动板，所述安装座的内部且位于支撑座的两侧均固定连接有限位轴，所述限位轴的外侧转动连接有转动板，所述转动板的一侧滑动连接有第一连接杆，每个所述第一连接杆的上方均滑动连接有延伸至支撑座内部的第二连接杆，所述转动板远离支撑座的一侧均开设有限位槽，所述限位槽的内部均安装有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定连接有延伸至安装座外侧的推杆，所述第一弹簧的另一端与第一连接杆固定连接，所述转动板的内部开设有两个导轨。

优选的，所述半导体设备的两侧均开设有等距分布的弧形腔，所述安装座的顶部开设有等距分布且配合弧形腔使用的散热孔。

优选的，所述安装底板的两侧固定连接有安装板，每个所述安装板的内部均螺纹连接有定位螺栓。

优选的，每个所述导轨的内部均安装有连接块，其一个所述连接块与第一连接杆相连接，另外一个所述连接块与第二连接杆相连接，所述半导体设备的顶部安装有半导体元件。

优选的，所述支撑座的内部开设有配合第二连接杆使用的限位腔，所述安装座的内部且位于第二连接杆远离支撑座的一侧固定连接有第二弹簧。

优选的，所述安装座的两侧均安装有配合推杆使用的防尘盖。

优选的，所述安装底板的底部固定连接有等距分布的套筒，每个所述套筒的内部均滑动连接有伸缩滑杆，所述套筒的一侧均安装有配合伸缩滑杆定位使用的定位销。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：设置有固定组件，在进行分离时，取下两个防尘盖，向安装座内部按压推杆，通过第一弹簧受力变形缓冲，带动第一连接杆向一侧运动，在杠杆原理的作用下，带动转动板向一侧转动，带动第二连接杆向第二弹簧一侧挤压，通过第二弹簧变形进行缓冲防护处理，直至第二连接杆滑出支撑座内部，方便对半导体设备进行分离维护操作，同时方便与分子泵配合使用时不需要整体拆卸即可进行正常分离维护作业，缩短了工作强度与劳动周期，满足了使用时所需，设置有辅助安装组件，根据安装场景所需调整套筒高度，取下定位销，将伸缩滑杆向下方抽出，直至所需高度，通过定位销进行定位，在配合分子泵安装时，通过安装板和定位螺栓方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作，未使用电力设备辅助，节省了安装使用成本。

附图说明

图1为本实用新型整体结构立体图；

图2为本实用新型辅助安装组件结构放大图；

图3为本实用新型固定组件结构内部结构翻转图。

图中：1、安装座；2、半导体设备；3、安装底板；4、防尘盖；5、辅助安装组件；6、半导体元件；7、安装板；8、定位螺栓；9、弧形腔；10、散热孔；11、套筒；12、伸缩滑杆；13、定位销；14、固定组件；15、支撑座；16、推杆；17、限位槽；18、第一弹簧；19、限位轴；20、转动板；21、第一连接杆；22、第二连接杆；23、第二弹簧；24、导轨；25、连接块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2和图3，本实施例提供了一种分子泵用连接装置,包括安装座1，安装座1的顶部安装有半导体设备2，安装座1的底部安装有辅助安装组件5，配合进行安装，辅助安装组件5包括安装底板3和套筒11，安装座1的底部固定连接有安装底板3，半导体设备2的底部固定连接有延伸至安装座1内部的支撑座15，配合进行辅助连接，安装座1的内部安装有配合支撑座15使用的固定组件14，固定组件14包括限位轴19和转动板20，安装座1的内部且位于支撑座15的两侧均固定连接有限位轴19，限位轴19的外侧转动连接有转动板20，转动板20的一侧滑动连接有第一连接杆21，每个第一连接杆21的上方均滑动连接有延伸至支撑座15内部的第二连接杆22，配合进行连接，转动板20远离支撑座15的一侧均开设有限位槽17，限位槽17的内部均安装有第一弹簧18，进行缓冲防护处理，第一弹簧18的一端固定连接有延伸至安装座1外侧的推杆16，第一弹簧18的另一端与第一连接杆21固定连接，转动板20的内部开设有两个导轨24，在进行分离时，取下两个防尘盖4，向安装座1内部按压推杆16，通过第一弹簧18受力变形缓冲，带动第一连接杆21向一侧运动，在杠杆原理的作用下，带动转动板20向一侧转动，带动第二连接杆22向第二弹簧23一侧挤压，通过第二弹簧23变形进行缓冲防护处理，直至第二连接杆22滑出支撑座15内部，方便对半导体设备2进行分离维护操作，同时方便与分子泵配合使用时不需要整体拆卸即可进行正常分离维护作业，缩短了工作强度与劳动周期，满足了使用时所需，根据安装场景所需调整套筒11高度，取下定位销13，将伸缩滑杆12向下方抽出，直至所需高度，通过定位销13进行定位，在配合分子泵安装时，通过安装板7和定位螺栓8方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作，未使用电力设备辅助，节省了安装使用成本。

在本实施例中，每个导轨24的内部均安装有连接块25，其一个连接块25与第一连接杆21相连接，另外一个连接块25与第二连接杆22相连接，半导体设备2的顶部可以放置有半导体元件6，配合进行连接使用。

在本实施例中，支撑座15的内部开设有配合第二连接杆22使用的限位腔，安装座1的内部且位于第二连接杆22远离支撑座15的一侧固定连接有第二弹簧23，进行缓冲防护处理。

在本实施例中，安装座1的两侧均安装有配合推杆16使用的防尘盖4，实现了日常防尘处理。

本实施例使用时，在进行分离时，取下两个防尘盖4，向安装座1内部按压推杆16，通过第一弹簧18受力变形缓冲，带动第一连接杆21向一侧运动，在杠杆原理的作用下，带动转动板20向一侧转动，带动第二连接杆22向第二弹簧23一侧挤压，通过第二弹簧23变形进行缓冲防护处理，直至第二连接杆22滑出支撑座15内部，方便对半导体设备2进行分离维护操作，同时方便与分子泵配合使用时不需要整体拆卸即可进行正常分离维护作业，缩短了工作强度与劳动周期，满足了使用时所需，根据安装场景所需调整套筒11高度，取下定位销13，将伸缩滑杆12向下方抽出，直至所需高度，通过定位销13进行定位，在配合分子泵安装时，通过安装板7和定位螺栓8方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作，未使用电力设备辅助，节省了安装使用成本。

实施例二

本实施例为实施例一的优选方案，参见图1，在本实施例中，半导体设备2的两侧均开设有等距分布的弧形腔9，安装座1的顶部开设有等距分布且配合弧形腔9使用的散热孔10，配合进行辅助正常散热。

实施例三

本实施例为实施例一的优选方案，参见图1和图2，安装底板3的底部固定连接有等距分布的套筒11，每个套筒11的内部均滑动连接有伸缩滑杆12，套筒11的一侧均安装有配合伸缩滑杆12定位使用的定位销13，通过定位销13进行定位。

在本实施例中，安装底板3的两侧固定连接有安装板7，每个安装板7的内部均螺纹连接有定位螺栓8，通过安装板7和定位螺栓8方便对整体进行定位安装，整体结构简单易操作。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种分子泵用连接装置，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)的顶部安装有半导体设备(2)，所述安装座(1)的底部安装有辅助安装组件(5)，所述辅助安装组件(5)包括安装底板(3)和套筒(11)，所述安装座(1)的底部固定连接有安装底板(3)，所述半导体设备(2)的底部固定连接有延伸至安装座(1)内部的支撑座(15)，所述安装座(1)的内部安装有配合支撑座(15)使用的固定组件(14)，所述固定组件(14)包括限位轴(19)和转动板(20)，所述安装座(1)的内部且位于支撑座(15)的两侧均固定连接有限位轴(19)，所述限位轴(19)的外侧转动连接有转动板(20)，所述转动板(20)的一侧滑动连接有第一连接杆(21)，每个所述第一连接杆(21)的上方均滑动连接有延伸至支撑座(15)内部的第二连接杆(22)，所述转动板(20)远离支撑座(15)的一侧均开设有限位槽(17)，所述限位槽(17)的内部均安装有第一弹簧(18)，所述第一弹簧(18)的一端固定连接有延伸至安装座(1)外侧的推杆(16)，所述第一弹簧(18)的另一端与第一连接杆(21)固定连接，所述转动板(20)的内部开设有两个导轨(24)。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述半导体设备(2)的两侧均开设有等距分布的弧形腔(9)，所述安装座(1)的顶部开设有等距分布且配合弧形腔(9)使用的散热孔(10)。

3.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述安装底板(3)的两侧固定连接有安装板(7)，每个所述安装板(7)的内部均螺纹连接有定位螺栓(8)。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：每个所述导轨(24)的内部均安装有连接块(25)，其一个所述连接块(25)与第一连接杆(21)相连接，另外一个所述连接块(25)与第二连接杆(22)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述支撑座(15)的内部开设有配合第二连接杆(22)使用的限位腔，所述安装座(1)的内部且位于第二连接杆(22)远离支撑座(15)的一侧固定连接有第二弹簧(23)。

6.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述安装座(1)的两侧均安装有配合推杆(16)使用的防尘盖(4)。

7.根据权利要求1所述的一种分子泵用连接装置，其特征在于：所述安装底板(3)的底部固定连接有等距分布的套筒(11)，每个所述套筒(11)的内部均滑动连接有伸缩滑杆(12)，所述套筒(11)的一侧均安装有配合伸缩滑杆(12)定位使用的定位销(13)。