CN214685935U - 一种4寸led蓝宝石衬底的双面减薄加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，机体上部设置有下研磨盘；下研磨盘连接转轴A；转轴A连接电机A；下研磨盘上方设置有上研磨盘；上研磨盘连接转轴B；转轴B为伸缩结构设置；转轴B连接电机B；上研磨盘上设置有磨削液槽；磨削液槽底部连接进液管；进液管连接至上研磨盘内；磨削液槽上方设置有供液管；供液管为伸缩结构设置；供液管分别连接水泵和蠕动泵；水泵连接储液罐A；储液罐A顶部设置有进液口A；蠕动泵连接储液罐B；储液罐B存储有碳化硼、悬浮剂；储液罐B顶部设置有进液口，解决蓝宝石衬底磨削加工效率低、成本高的问题。

Description

一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及 4 寸 LED 蓝宝石衬底的双面减薄加工装置。

背景技术

因 4 寸衬底目前工艺加工成本偏高，现各蓝宝石衬底加工企业都在往节能减排、降低成本方向走，作为蓝宝石衬底加工企业走节能减排、降低成本加工已经成为一个趋势，现有技术中用于蓝宝石衬底磨削加工的设备加工效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，解决蓝宝石衬底磨削加工效率低、成本高的问题。

为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：包括机体、下研磨盘、上研磨盘、转轴A、电机A、转轴B、电机B、磨削液槽、进液管、供液管、水泵、蠕动泵、储液罐A、储液罐B、进液口A、进液口B、研磨盘支架、磨盘护板、测厚仪、粗糙度测量仪；机体上部设置有下研磨盘；下研磨盘连接转轴A；转轴A连接电机A；下研磨盘上方设置有上研磨盘；上研磨盘连接转轴B；转轴B 为伸缩结构设置；转轴B连接电机B；上研磨盘上设置有磨削液槽；磨削液槽底部连接进液管；进液管连接至上研磨盘内；磨削液槽上方设置有供液管；供液管为伸缩结构设置；供液管分别连接水泵和蠕动泵；水泵连接储液罐A；储液罐A顶部设置有进液口A；蠕动泵连接储液罐B；储液罐B存储有碳化硼、悬浮剂；储液罐B顶部设置有进液口B。

进一步，所述下研磨盘顶部设置有磨削层；转轴A外侧设置有转齿A；下研磨盘内侧设置有转齿B。

进一步，所述下研磨盘外侧设置有磨盘护板。进一步，所述机体前部设置有操作台；操作台为折叠结构设置。进一步，所述操作台上设置有测厚仪。进一步，所述操作台上设置有粗糙度测量仪与现有技术相比，本实用新型能够实现以下有益效果之一：

1. 机体上部设置有下研磨盘；下研磨盘连接转轴A；转轴A连接电机A；下研磨盘上方设置有上研磨盘；上研磨盘连接转轴B；转轴B为伸缩结构设置；转轴B连接电机B；上研磨盘上设置有磨削液槽；磨削液槽底部连接进液管；进液管连接至上研磨盘内；磨削液槽上方设置有供液管；供液管为伸缩结构设置；供液管分别连接水泵和蠕动泵；水泵连接储液罐A；储液罐A顶部设置有进液口A；蠕动泵连接储液罐B；储液罐B存储有碳化硼、悬浮剂；储液罐B顶部设置有进液口B，能够实现通过在设置上下两个研磨盘提高磨削加工效率，并采用蠕动泵供料；配合悬浮剂的使用提高了提高了产品品质，降低成本。

2.所述下研磨盘底部设置有磨削层；转轴A外侧设置有转齿A；下研磨盘内侧设置有转齿B，能够实现在设置转齿能够带动磨削加工的磨具做反向圆周运动，提高磨削加工效率。

3. 所述下研磨盘外侧设置有磨盘护板，能够实现设置了磨盘护板提高安全性，放置旋转的磨盘伤人。

4. 所述机体前部设置有操作台；操作台为折叠结构设置，能够实现通过设置了操作台方便放置检测设备。

5. 所述操作台上设置有测厚仪，能够实现方便检测晶片的磨削加工厚度。

6. 所述操作台上设置有粗糙度测量仪，能够实现方便检测晶片加工的粗糙度。

附图说明

图 1 为本实用新型结构示意图。

图 2 为本实用新型研磨盘结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例 1

4 寸 LED 蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，包括机体 1、下研磨盘 2、上研磨盘3、转轴 A4、电机 A5、转轴 B6、电机 B7、磨削液槽 8、进液管 9、供液管 10、水泵 11、蠕动泵 12、储液罐 A13、储液罐 B14、进液口 A15、进液口 B16、研磨盘支架 17、磨盘护板 18、测厚仪 19、粗糙度测量仪 20；机体 1 上部设置有下研磨盘 2；下研磨盘 2 连接转轴 A4；转轴 A4 连接电机 A5；下研磨盘

2 上方设置有上研磨盘 3；上研磨盘 3 连接转轴 B6；转轴 B6 为伸缩结构设置；转轴 B6 连接电机 B7；上研磨盘 3 上设置有磨削液槽 8；磨削液槽 8 底部连接进液管9；进液管 9 连接至上研磨盘 3 内；磨削液槽 8 上方设置有供液管 10；供液管 10 为伸缩结构设置；供液管 10 分别连接水泵 11 和蠕动泵 12；水泵

11 连接储液罐 A13；储液罐 A13 顶部设置有进液口 A15；蠕动泵 12 连接储液罐 B14；储液罐 B14 存储有碳化硼、悬浮剂；储液罐 B14 顶部设置有进液口 16B，能够实现通过在设置上下两个研磨盘提高磨削加工效率，并采用蠕动泵供料；配合悬浮剂的使用提高了提高了产品品质，降低成本。

实施例 2

在实施例 1 的基础上，所述下研磨盘 2 底部设置有磨削层 24；转轴 A4 外侧设置有转齿 A22；下研磨盘 2 内侧设置有转齿 B23，能够实现在设置转齿能够带动磨削加工的磨具做反向圆周运动，提高磨削加工效率。

实施例 3

在实施例 1 的基础上，所述下研磨盘 2 外侧设置有磨盘护板 18，能够实现设置了磨盘护板提高安全性，放置旋转的磨盘伤人。

实施例 4

在实施例 1 的基础上，所述机体 1 前部设置有操作台 21；操作台 21 为折叠结构设置，能够实现通过设置了操作台方便放置检测设备。

实施例 5

在实施例 1 的基础上，所述操作台 21 上设置有测厚仪 19，能够实现方便检测晶片的磨削加工厚度。

实施例 6

在实施例 1 的基础上，所述操作台 21 上设置有粗糙度测量仪 20，能够实现方便检测晶片加工的粗糙度。

尽管这里参照本实用新型的多个解释性实施例对本实用新型进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变形和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。

Claims (6)

1.一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：包括机体（1）、下研磨盘（2）、上研磨盘（3）、转轴A（4）、电机A（5）、转轴B（6）、电机B（7）、磨削液槽（8）、进液管（9）、供液管（10）、水泵（11）、蠕动泵（12）、储液罐A（13）、储液罐B（14）、进液口A（15）、进液口B（16）、研磨盘支架（17）、磨盘护板（18）、测厚仪（19）、粗糙度测量仪（20）；机体（1）上部设置有下研磨盘（2）；下研磨盘（2）连接转轴A（4）；转轴A（4）连接电机A（5）；下研磨盘（2）上方设置有上研磨盘（3）；上研磨盘（3）连接转轴B（6）；转轴B（6）为伸缩结构设置；转轴B（6）连接电机B（7）；上研磨盘（3）上设置有磨削液槽（8）；磨削液槽（8）底部连接进液管（9）；进液管（9）连接至上研磨盘（3）内；磨削液槽（8）上方设置有供液管（10）；供液管（10）为伸缩结构设置；供液管（10）分别连接水泵（11）和蠕动泵（12）；水泵（11）连接储液罐A（13）；储液罐A（13）顶部设置有进液口A（15）；蠕动泵（12）连接储液罐B（14）；储液罐B（14）顶部设置有进液口B（16）。

2.根据权利要求1所述的一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：所述下研磨盘（2）底部设置有磨削层（24）；转轴A（4）外侧设置有转齿A（22）下研磨盘（2）内侧设置有转齿B（23）。

3.根据权利要求1所述的一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：所述下研磨盘（2）外侧设置有磨盘护板（18）。

4.根据权利要求1所述的一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：所述机体（1）前部设置有操作台（21）；操作台（21）为折叠结构设置。

5.根据权利要求4所述的一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：所述操作台（21）上设置有测厚仪（19）。

6.根据权利要求4所述的一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：所述操作台（21）上设置有粗糙度测量仪（20）。

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