CN214651869U - 一种夹取高温硅片的夹爪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种夹取高温硅片的夹爪，包括中间连接体，在中间连接体周向呈均匀分布且一端固定在中间连接体上的三个夹持杆，位于其中两个夹持杆中间且一端固定在中间连接体上的一个手持杆，所述手持杆和另一夹持杆同轴；所述夹持杆的另一端上设置有定位滑块、定位滑槽、垂直固定设置在所述定位滑块下端的夹持臂以及位于所述定位滑槽内且与所述定位滑块连接的复位弹簧；所述中间连接体靠近手持杆的一侧上设置有两个滑轮；所述手持杆上设置有滑动轨道、与所述滑动轨道适配的移动块、固定在移动块远离所述滑轮一侧的拉环。

Description

一种夹取高温硅片的夹爪

技术领域

本实用新型涉及一种夹取高温硅片的夹爪，涉及半导体辅助工具技术领域。

背景技术

在光栅制备过程中，硅片涂覆光刻胶后，需要放置在烘烤设备上，在100℃高温条件下烘烤几分钟，烘烤后需要将硅片取出，而直接拿取硅片可能造成手部烫伤，带来安全隐患，佩戴高温手套拿取硅片容易造成硅片污染，影响硅片光洁度，采用小型机械手自动夹取硅片，成本高，现有的手动夹持工具无法对应不同尺寸的硅片的夹取。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种夹取高温硅片的手动夹爪，能对应夹取不同尺寸的高温硅片，既安全可靠，又节约成本。

为实现上述目的，一种夹取高温硅片的夹爪，包括中间连接体，在中间连接体周向呈均匀分布且一端固定在中间连接体上的三个夹持杆，位于其中两个夹持杆中间且一端固定在中间连接体上的一个手持杆，所述手持杆和另一夹持杆同轴；所述夹持杆的另一端上设置有定位滑块、定位滑槽、垂直固定设置在所述定位滑块下端的夹持臂以及位于所述定位滑槽内且与所述定位滑块连接的复位弹簧；所述中间连接体靠近手持杆的一侧上设置有两个滑轮；所述手持杆上设置有滑动轨道、与所述滑动轨道适配的移动块、固定在移动块远离所述滑轮一侧的拉环；与所述手持杆同轴夹持杆上的定位滑块通过中间拉绳与移动块连接，设置在手持杆左右两侧夹持杆内的定位滑块上连接有侧拉绳，所述侧拉绳的另一端绕过滑轮与移动块连接；移动块的两侧固定设置有定位孔以及用于限位的弹簧顶珠。

优选的，所述夹持臂下端与硅片接触部位，附接有耐高温橡胶垫。

优选的，手持杆侧壁上的定位孔成对设置。

优选的，手持杆侧壁上的定位孔的数量大于一组。

优选的，中间连接体是正六面柱体结构。

优选的，所述中间拉绳和侧拉绳的材质为钢丝绳。

优选的，所述夹持杆的最外端设置有一固定块，定位滑块外侧通过复位弹簧与固定块连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型是一种夹取高温硅片的夹爪，通过设置的中间拉绳、侧拉绳、滑轮和顶珠可以巧妙的实现夹爪夹持不同尺寸硅片时的限位固定。

2、本实用新型是一种夹取高温硅片的夹爪，操作简单、成本低；可以夹取不同尺寸的硅片。

附图说明

图1为本实用新型俯视图；

图2为本实用新型的结构示意图。

图中：1、固定块；2、复位弹簧；3、定位滑块；4、夹持杆；5、中间拉绳；6、中间连接体；7、滑轮；8、侧拉绳；9、手持杆；10、移动块；11、限位弹簧；12、顶珠；13、定位孔；15、拉环；16、夹持臂；17、定位滑槽；18、滑动轨道；19、限位滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“套接”、等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-2所示，一种夹取高温硅片的夹爪，包括中间连接体6，在中间连接体6周向呈均匀分布且一端固定在中间连接体6上的三个夹持杆4，位于其中两个夹持杆4中间且一端固定在中间连接体6上的一个手持杆9，所述夹持杆4上设置有定位滑块3、定位滑槽17、夹持臂16、复位弹簧2、固定块1、拉绳，所述中间连接体6中位于手持杆9左右两侧设置有两个滑轮7，所述手持杆9上设置有移动块10、滑动轨道18、侧壁上的定位孔13、顶珠12、限位滑槽19、拉环15；其中，固定块1固定在夹持杆4最外端，定位滑块3外侧通过复位弹簧2与固定块1连接，定位滑块3下部固定连接有夹持臂16，定位滑块3内侧连接拉绳的一端，其中，手持杆9左右两侧夹持杆4内的侧拉绳8的另一端通过中间连接体6内的滑轮7，连接到移动块10的一端，与手持杆9相对的夹持杆4内的中间拉绳5的另一端直接穿过中间连接体6，连接到移动块10的一端，移动块10滑动设置在滑动轨道18上，移动块10的两侧固定设置有弹簧顶珠12，移动块10的另一端固定连接拉环15，手持杆9侧壁上设置有位孔13，其与顶珠12限位结构配合，滑动轨道18的底部两侧设置有限位滑槽19，实现夹爪夹持不同尺寸硅片时的限位固定。

夹取硅片时，手握夹爪的手持杆9，将夹爪的中间连接体6置于硅片的正上方，拉动手持杆9上的拉环15，使手持杆9上的移动块10沿滑动轨道18滑动，同时通过移动块10上连接的一根中间拉绳5和两根侧拉绳8，带动三根夹持杆4上的定位滑块3向内侧滑动，实现三个夹持臂16同时往硅片方向收紧，夹持臂16触碰硅片时，继续拉动拉环15，使移动块10两侧弹簧顶珠限位结构的顶珠12在限位弹簧11弹性作用下从对应硅片尺寸的定位孔13弹出，实现移动块10的固定，从而使夹持臂16夹紧硅片，能够将硅片安稳取出。当顶珠12弹出的定位孔13对应的硅片尺寸尚未到达夹取的目标尺寸时，用手按压顶珠12，并同时配合拉动拉环15，继续使夹持臂16收缩，直到达到目标夹取尺寸时为止。硅片放置时，通过将按压定位孔外的顶珠12，即可松开手持杆9上移动块10，由于夹持杆4上的复位弹簧2的作用，使夹持臂16松开。通过使用本实用新型夹爪，即安全，操作简单，又可以实现对不用尺寸硅片的夹取。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：包括中间连接体(6)，在中间连接体(6)周向呈均匀分布且一端固定在中间连接体(6)上的三个夹持杆(4)，位于其中两个夹持杆(4)中间且一端固定在中间连接体(6)上的一个手持杆(9)，所述手持杆(9)和另一夹持杆(4)同轴；所述夹持杆(4)的另一端上设置有定位滑块(3)、定位滑槽(17)、垂直固定设置在所述定位滑块(3)下端的夹持臂(16)以及位于所述定位滑槽(17)内且与所述定位滑块(3)连接的复位弹簧(2)；所述中间连接体(6)靠近手持杆(9)的一侧上设置有两个滑轮(7)；所述手持杆(9)上设置有滑动轨道(18)、与所述滑动轨道(18)适配的移动块(10)、固定在移动块(10)远离所述滑轮(7)一侧的拉环(15)；与所述手持杆(9)同轴夹持杆(4)上的定位滑块(3)通过中间拉绳(5)与移动块(10)连接，设置在手持杆(9)左右两侧夹持杆(4)内的定位滑块(3)上连接有侧拉绳(8)，所述侧拉绳(8)的另一端绕过滑轮(7)与移动块(10)连接；移动块(10)的两侧固定设置有定位孔(13)以及用于限位的弹簧顶珠(12)。

2.根据权利要求1所述的一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：所述夹持臂(16)下端与硅片接触部位附接有耐高温橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：手持杆(9)侧壁上的定位孔(13)成对设置。

4.根据权利要求3所述的一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：手持杆(9)侧壁上的定位孔(13)的数量大于一组。

5.根据权利要求1所述的一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：所述中间连接体(6)是正六面柱体结构。

6.根据权利要求1所述的一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：所述中间拉绳(5)和侧拉绳(8)的材质为钢丝绳。

7.根据权利要求1所述的一种夹取高温硅片的夹爪，其特征在于：所述夹持杆(4)的最外端设置有一固定块(1)，定位滑块(3)外侧通过复位弹簧(2)与固定块(1)连接。

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