CN214635220U - 制程废气洗涤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型为一种制程废气洗涤装置，其设置于腔体内，腔体两侧分别设有一进气口及一出气口，该制程废气洗涤装置包括第一过滤装置、第一喷洒装置和第一管路，一进气通道两端分别连通进气口及过滤进气口，气体经由进气口进入进气通道，并且气体通过过滤进气口后进入第一过滤装置，该第一液体连续进入该出气口并向下流经该第一过滤装置，该气体经该第一液体洗涤后，由该过滤出气口流出并经由该出气口排出该腔体。本实用新型可有效达到提升去除污染物质效率的功效，且可改变吸收液的供液方式，如此可在相同的用水量下使用较干净的洗涤液来吸附废气中的污染物，有效提升废气中污染物的去除效率。

Description

制程废气洗涤装置

技术领域

本实用新型是关于一种装置，特别是一种用于制程废气洗涤装置，提供第一液体或/及第三液体喷洒至该第一过滤装置或/及该第二过滤装置，利用吸附原理的优化方式，有效提升废气中污染物的去除效率。

背景技术

因应工厂制程提升以及制造速度等考虑，目前许多半导体清洗机台逐渐采用单晶圆清洗机(Single wafer cleaner)来取代传统的湿式工作台(Wet Bench)，但单晶圆清洗机伴随而来的问题是混合废气(酸气、碱气、有机气体…) 难以分离的问题，此混合废气的问题不仅产生于半导体业，在其它产业亦有同样的混合废气问题。

而挥发性有机气体污染物或称挥发性有机物(Volatile Organic Compounds,VOCs)，指在一大气压下，沸点在250℃以下的有机化合物的空气污染物总称，其所造成的环境污染问题，广泛地存在于各类型工业中。

在高科技产业中，尤其是半导体制造业及光电业中，因产品制造所产生的挥发性有机物主要来源为光阻剂、显影液与清洗液，而主要有机物种以丙酮(Acetone)、异丙酮(IPA)、丙二醇单甲基醚(PGME)、乙酸丙二醇单甲基醚酯 (PGMEA)、二甲基亚砜(DMSO)、乙醇胺(MEA)、氮-甲基2-四氢吡咯酮(NMP)、二乙二醇单丁醚(BDG)、四甲基氢氧化铵(TMAH)等成分为多数，其有机废气通常具有中低浓度(<500ppm)、中高风量的特性。

传统的移除VOCs的技术主要分为冷凝法、吸附法、洗涤法、焚烧法以及生物处理技术等五种方法，其中：

冷凝法多用于高浓度、成分单纯且具回收价值的VOCs废弃处理，冷凝法的优点为处理成本较低，缺点为需于高浓度(浓度需高于5,000ppm)时操作方具一定的效益，且设置及操作成本偏高，因此一般仅应用于高浓度且具回收价值的挥发性有机物，应用较为局限。

吸附法主要利用高孔隙率、高比表面积的吸附剂，借由物理性吸附(可逆反应)或化学性键结(不可逆反应)作用，将VOCs气体分子自废气中分离，以达成净化废气的目的，吸附法的优点为可创造极高的去除效率，缺点是需时常更换或添加吸收剂或材料，维护成本高且有二次污染问题，且随着气体污染物浓度越高，所花费的成本也会不断升高。

洗涤法利用污染物在水中的溶解度特性，将VOCs自废气中分离去除的技术，洗涤法可分为化学洗涤(化学反应)与物理洗涤(溶解度)二类，VOCs 种类极多，不同成分的VOC于水中的溶解度皆不相同，对于较不具溶解度的VOCs，通常采用化学洗涤法，于水中须添加过锰酸钾、次氯酸或过氧化氢等氧化剂，以增加去除效率，然后化学洗涤法则需时常添加化学药剂，并有二次污染物的问题，而对于溶解度较佳的VOCs，即可使用物理吸收法，以不添加化学药剂的水溶液做为去除有机污染物的方法，使物理吸收法为成本相对较低的有机污染物去除法。

焚化法利用氧化过程将VOCs废气转换成无害的CO₂与H₂O，然后却是各方法中运转成本最高的方法，考虑规模、热值与废热回收设备等需谨慎评估成本与设计。

生物处理技术，是借由微生物的分解、氧化、转化等机制，将污染物分解成无害的无机物，优点为二次污染问题较少且运转成本较低，但缺点为占地面积最大且初设成本昂贵，在国内电子产业因占地面积等问题而较少采用。

如前所述的主要高科技产业使用的有机物种，如丙酮(Acetone)、异丙酮(IPA)、丙二醇单甲基醚(PGME)、乙酸丙二醇单甲基醚酯(PGMEA)、二甲基亚砜(DMSO)、乙醇胺(MEA)、氮-甲基2-四氢吡咯酮(NMP)、二乙二醇单丁醚(BDG)、四甲基氢氧化铵(TMAH)等成分，皆具备一定程度的水溶性，可使用洗涤法加以去除，因此于处理这类特定且大量的挥发性有机污染物使用时，洗涤法可成为适合的废气去除手段。

为解决混合废气的问题，目前多导入洗涤装置来处理废气中污染物 (酸、碱、有机物质)，而先前技术对于酸气、碱气污染物已有不错的去除效率，但对于有机气体的去除效率却一直未能达到良好的效果，在单晶圆清洗机上，尤其以异丙醇(IPA)的去除为主要的有机物目标，但其去除效率却一直未能达到良好的效果。

为此，为了改善异丙醇(IPA)等有机物的去除效率，如何制作出一种高效率的废气洗涤装置，以达于废气中污染物更佳去除效率，为本领域技术人员所欲解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的一目的，在于提供一种制程废气洗涤装置，其利用一第一过滤装置或者使用第一过滤装置与第二过滤装置设置于腔体内以过滤气体，透过喷洒装置提供第一液体或/及第三液体连续洗涤制程废气中的污染物质，可有效达到提升去除污染物质效率的功效，其中，该第一液体指本装置外部提供的洗涤水源，亦即尚未使用于污染去除使用的水源，该第一液体为纯水、自来水、回收水等不同水质的液体，该第一液体的水质越干净，即代表水中原本所含的污染物越少，可去除废气中的污染物吸收量即越多，但为成本考虑，使用者可选择适当的水质做为该第一液体，本实施例使用自来水进行说明，自来水的运输方式为习知技艺，故不于此进行赘述。第二液体指于本装置中经由一次空气污染物过滤使用后的液体，亦即已吸收过一次废气污染物成分的液体，第三液体指由第一液体及第二液体组成的液体为第三液体，其混合的比例非特定，当100％由第一液体所供应时，此供应液为第一液体，同理，当100％由第二液体供应时，此供应液为第二液体，除上述由单一液体所提供的状况外，只要有第一液体及第二液体混合的液体，即视为第三液体。其中，第一液体为三种液体中所含污染物最少的液体，亦即有最佳的去除效率，第二液体为污染物浓最高的液体，第三液体由第一液体与第二液体所组成，所以其污染物浓度视第一液体加入比例而定，第一液体加入量越多，则第三液体的污染物浓度越低。

针对上述的目的，本实用新型提供一种制程废气洗涤装置，其设置于腔体内，进气通道两端分别连通进气口及过滤进气口，气体经由该进气口进入该进气通道，并且该气体通过该过滤进气口后进入第一过滤装置，并依序流经第一多孔元件、离子吸附元件及出气口，再者，该第一液体连续进入该出气口并通过该离子吸附元件及该第一多孔元件，该气体经该第一液体洗涤后，由过滤出气口流出并经由该出气口排出该腔体。

本实用新型提供一实施例，其中该第一过滤装置包含一壳体、一第一过滤装置，该第一过滤装置设置于该过滤入气口与该过滤出气口之间，该第一过滤装置可为废气与洗涤液体的气液交换空间，习知的装置为采喷雾型式的洗涤液体喷洒，在一定空间内让气体与液体的接触，达到去除污染物的目的，此交换空间在无填充物情况下，亦视为第一过滤装置；为增加污染物去除率，亦可在第一过滤装置内加入离子吸附元件，增加液体停留在空气中的时间，如此即可增加气体的接触时间，该离子吸附元件可为塑料、玻璃纤维、金属板或是陶瓷填充材料或单一或复合材料制成，凡是可增加液体停留时间的装置皆属的。

本实用新型提供一实施例，其中该第一过滤装置更包含一第二多孔元件，其设置于该离子吸附元件与该过滤出气口之间，该第二多孔元件上设置有一第二触媒材料。

本实用新型提供一实施例，更包含一液体储存槽，该液体储存槽设置于该第一过滤装置的下方，该进气通道位于该液体储存槽及该第一过滤装置之间，进一步，该液体储存槽下方设置一排水装置，该排水装置用以排出该废弃的液体。

本实用新型提供一实施例，更包含一抽取装置，其设置于该第一喷洒装置及该液体储存槽之间，并位于该液体运输管路上。

本实用新型提供一实施例，更包含一液体输送管路，该液体输送管路一端连通该第一管路或该第二管路，该液体输送管路用以运输一第二液体经由该第一管路及/或第二管路进入该第一喷洒装置。

本实用新型提供一实施例，其中于第一喷洒装置及该液体输送管路之间更进一步设有至少一液体切换阀，其用以切换该第一液体及/或该第二液体进入该第一喷洒装置内。

本实用新型提供一实施例，其中该腔体内更包含一第二过滤装置，第一过滤装置一气体信道一端连通该第一过滤装置的该过滤出气口，该气体通道另一端连通第二过滤装置的一过滤进气口，该气体通道用以使该气体由该第一过滤装置流入该第二过滤装置第一过滤装置。

本实用新型提供一实施例，更包含一第三管路，其两端分别连接于该第一过滤装置及第二过滤装置，该第三管路两端各设有该第一液体切换阀，其用于切换该第一液体及该第二液体，亦用于混合该第一液体及该第二液体进行洗涤。

附图说明

图1A：其为本实用新型的习知的装置示意图；

图1B：其为本实用新型的一实施例的装置示意图；

图2：其为本实用新型的一实施例的离子吸附元件的结构放大示意图；

图3A：其为本实用新型的习知的结构示意图；

图3B：其为本实用新型的一另一实施例的结构示意图；以及

图3C：其为本实用新型的又一实施例的结构示意图。

【图号对照说明】

10 腔体

100 气体

101 污染物质

12 进气口

120 进气通道

120A 进气通道

130 气体通道

130A 气体通道

14 出气口

14A 出气口

20 第一过滤装置

20A 第一过滤装置

20’ 第二过滤装置

20A’ 第二过滤装置

22 壳体

222 过滤进气口

222’ 过滤进气口

222A’ 过滤进气口

222A’ 过滤进气口

224 过滤出气口

224’ 过滤出气口

224A’ 过滤出气口

224A’ 过滤出气口

24 第一多孔元件

241 第一触媒材料

26 离子吸附元件

262 气体通道

28 第二多孔元件

281 第二触媒材料

30 第一喷洒装置

30A 第一喷洒装置

30’ 第二喷洒装置

30A’ 第二喷洒装置

40 液体储存槽

40A 液体储存槽

40’ 液体储存槽

40A’ 液体储存槽

50 抽取装置

50’ 抽取装置

70 液体切换阀

70A 液体切换阀

70B 液体切换阀

90 排水装置

90’ 排水装置

200 液体运输管路

200’ 液体运输管路

A 制程废气洗涤装置

B 制程废气洗涤装置

T1 第一管路

T2 第二管路

T2’ 第二管路

T3 第三管路

W1 第一液体

W2 第二液体

W3 第三液体

P 间距

θ 角度

具体实施方式

为了使本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，特用较佳的实施例及配合详细的说明，说明如下：

习知工厂多导入洗涤装置来处理废气中污染物(酸、碱、有机物质)，而先前技术对于酸气、碱气污染物已有不错的去除效率，但对于有机气体的去除效率却一直未能达到良好的效果，请参考图1A，其为本实用新型的习知的装置示意图，如图所示，目前业界习知的洗涤方式，一气体透过一进气口12A进入一进气通道120A后，由下而上的进入一第一过滤装置20A的一过滤进气口222A后流出一过滤出气口224A，再经由一出气口14A排出，其中，透过一第一管路T1将一第一液体W1输入至一液体储存槽40A内，该第一液体W1为一纯水、自来水或无污染物质的液体，并与该液体储存槽40A内的一第二液体W2混合后形成一第三液体W3，其中该第二液体W2为已吸附过污染源的液体，而该第三液体W3为该第一液体W1混合该第二液体W2后形成，经由一第二管路T2将该液体储存槽40A中的该第三液体W3运送到一第一喷洒装置30A，该第一喷洒装置30A由上而下将该第三液体W3喷洒至该第一过滤装置20A上，并吸附流经该第一过滤装置20A的该气体后，形成新的该第二液体W2后落入该液体储存槽40A内，通过如此循环运用之下，该液体储存槽40A中的该第二液体W2吸附气体中的污染物的效率会越来越低，即使加入了该第一液体W1，亦无法使吸附力提升。

本实用新型主要借由一第一管路、第二管路以及第三管路经由液体运输管路所提供的第一液体或第二液体或第三液体，流经第一过滤装置洗涤由进气信道进入的气体，该气体经由进气口进入该进气通道，且该气体通过该过滤进气口后进入第一过滤装置或/及第二过滤装置，并依序流经第一过滤装置及出气口，更进一步利用第一管路、第二管路以及第三管路切换吸收液供应方式，提升进气通道中污染物的去除效率，其主要原理为应用平衡溶解度原理在于一定的温度、总压下混合该气体与第一液体接触，溶质向液相传递，当液相中溶质达到饱和时，任一时间进入液相的溶质数量等于溶质以液相逸出的数量，即气液两相达到平衡后，第一液体即无法再吸收污染物，再者，根据质传原理，第一液体中的污染物浓度，亦会影响吸收的速率与效能，因此，本实施例改变传统习知直接将第一液体混合于第二液体以形成第三液体的做法，借由改变第一管路、第二管路以及第三管路切换吸收液供应方式，使第一液体可最直接供应于喷洒装置，如此可将污染物最少的第三液体用来吸收废气中的污染物，可有效达到提升去除效率的功效。

在下文中，将借由图式来说明本实用新型的各种实施例来详细描述本实用新型。然而本实用新型的概念可能以许多不同型式来体现，且不应解释为限于本文中所阐述的例示性实施例。

首先，请参阅图1B，其为本实用新型的一实施例的装置示意图。

如图1B所示，本实用新型的实施例中揭示一种制程废气洗涤装置，其设置于一腔体10内，该腔体10两侧分别设有一进气口12及一出气口14，该制程废气洗涤装置包含一第一过滤装置20，其设置于该腔体10内，并位于该进气口 12的一侧，该第一过滤装置20包含一壳体22、一第一多孔元件24及一离子吸附元件26，该壳体22的上方及下方分别设有一过滤进气口222及一过滤出气口224，该第一多孔元件24设置于该壳体22内，位于该过滤进气口222的一侧，该第一多孔元件24上设置一第一触媒材料241，该离子吸附元件26设置于该第一多孔元件 24与该过滤出气口224之间，其中，该第一过滤装置20更包含一第二多孔元件28，其设置于该离子吸附元件26与该过滤出气口224之间，该第二多孔元件28上设置有一第二触媒材料281。

且于该腔体10内位于该第一过滤装置20上设置有一第一喷洒装置30，该第一喷洒装置30其用以由上而下喷洒一第一液体W1、一第二液体W2或一第三液体W3于该第一过滤装置20。

另外于本实施例中设有一第一管路T1，其一端连通一第一液体切换阀 70，该第一管路T1用以运输一第一液体W1经由一液体运输管路200进入该第一喷洒装置30，使该第一喷洒装置30喷洒该第一液体W1于该第一过滤装置20。

再者，该第一液体切换阀70为球阀或球向阀的结构(包含二通阀或三通阀或四通阀等)，本实施例中以三通球阀进行说明，但不以此为限。

其中，该第一多孔元件24及该第二多孔元件28的材质为不锈钢、钛、铂或铝，进一步，该第一触媒材料241及该第二触媒材料281为二氧化钛、氧化硅、氧化铝或铂。

接着，请复参阅图1B，本实施例中更包含一液体储存槽40，该液体储存槽40设置于该第一过滤装置20的下方，进一步，一进气通道120位于该液体储存槽40及该第一过滤装置20之间，该进气通道12设置于该第一过滤装置20的一侧，且自该进气口12向下延伸并连通至该过滤进气口222，该气体经由该进气口 12进入该进气通道120，并且该气体通过该过滤进气口222后进入该第一过滤装置20。

更进一步，该液体储存槽40的下方设有一排水装置，其用以排除该液体储存槽40中的液体。

再者，本实施例中更包含一抽取装置50，其设置于该第一喷洒装置30 及该液体储存槽40之间，并位于该液体运输管路200上，该抽取装置50为水泵、抽水马达、加压马达或抽水机，本实施例使用抽水马达，但不以此为限。

故，如上所述，本实施例的一进气通道120连通该进气口12及该过滤进气口222，一气体100经由该进气通道120进入该第一过滤装置20并依序流经该第一多孔元件24、该离子吸附元件26及该出气口224，再者，该第一液体W1连续进入该出气口14并通过该离子吸附元件26及该第一多孔元件24，该气体100经该液体洗涤后，由该过滤出气口224流出并经由该出气口14排出该腔体10。

接着请参阅图2，其为本实用新型的一实施例的离子吸附元件的结构放大示意图，如图所示，本实施例的该离子吸附元件26中更包含了复数个气体通道262，且该些个气体通道262采取斜向配置采连续转弯方向，向左或向右倾斜，如此对于已溶解后再次逸散的该气体100可达再次补集的功效，可有效提高污染物质去除率，减少二次逸散的机率。

再者，本实施例中将该离子吸附元件26设计为该些个气体通道262，使吸收液体可由上往下顺着该离子吸附元件26表面往下流，与该气体100方向相反，且角度可相冲突，可使有机气体分子污染物(该气体100)更易被吸收液体所吸附，更可确保已溶解于吸收液体的有机污染物不易再次被释出于空气中，以达高效率去除的功效。

其中，该离子吸附元件26为塑料、玻璃纤维、金属板或是陶瓷填充材料或单一或复合材料制成板式波浪状的平板构造，使板与板之间形成该些个气体通道262，由上方流下的吸收液在平板表面流动，以吸附空气中的气态分子污染物。

同时，本实施例中，该些个气体通道262相互具有一间距P，该间距P 为3mm至30mm之间，可使污染的该气体100(如挥发性有机物)易于被吸收液体所吸附，同时不易造成气体压损过大的问题，更进一步，透过该些个气体通道262，使该气体100经由该些个气体通道262往上通过(如图2中虚线所示)，而吸收液体则由该些个气体信道262的信道往下浇淋，更进一步，该些个气体通道262与该第一多孔元件24形成一角度θ，该角度θ介于30°至90°之间，可使该气体100在通过该些个气体通道262时，更易直接冲击吸收液体，使而被吸收液体所吸收。

接着，请复参阅图1B，如图所示，本实用新型可透过单一该第一过滤装置20进行该气体100的过滤，如图1B所示，可将该第二液体W2经由该抽取装置 50运输至该第一喷洒装置30并于该第一过滤装置20上方喷洒，或是借由该第一管路T1运输该第一液体W1，经由该抽取装置50抽取至该第一喷洒装置30并于该第一过滤装置20上方喷洒，亦可切换该第一液体切换阀70使该第一液体W1中加入该第二液体W2后，再由该抽取装置50运输至该第一喷洒装置30，并于该第一过滤装置20上方喷洒。

如上所述，本实施中是透过并经由该第一液体切换阀70控制该第一液体W1与第二液体W2进行切换，藉以吸附该气体100中该污染物质101，而当该第二液体W2使用多次后，已具有一定污染物浓度的吸收液混合，对于该第二液体 W2的吸收新的污染物的能力会降低，造成去除效率下降，故本实施例增加该第一液体W1的使用方式，将该第一液体W1直接供应于该抽取装置50前端，并经由该第一液体切换阀70的控制，可让使用者选择使用该第一液体W1及/或该第二液体W2或是第三液体W3(该第一液体W1混合第二液体W2)供应至该第一喷洒装置 30，达到有效提升去除效率的功效。

再者，为达更高效去除的目的，习知的业界做法参考图3A，其为本实用新型的习知的装置示意图，如图所示，目前业界习知的洗涤方式亦可使用两个或以上的洗涤装置，一气体透过一进气口12A进入一进气通道120A，由下而上的进入该第一过滤装置20A的一过滤进气口222A后，流出一过滤出气口224A进入一气体通道130A后，经由一过滤进气口222A’流入一第二过滤装置20A’，再经由一过滤出气口224A’流出后，透过一出气口14A排出外界环境。

其中，透过一第一管路T1将一第一液体W1输入至一液体储存槽40A及 40A’内，该第一液体W1为一纯水、自来水或无污染物质的液体，并与该液体储存槽40A及40A’内的一第二液体W2混合后分别形成一第三液体W3，其中该第二液体W2为已吸附过污染源的液体，而该第三液体W3为该第一液体W1混合该第二液体W2后形成，经由一第二管路T2及T2’将该液体储存槽40A及40A’中的该第三液体W3运送到一第一喷洒装置30A及30A’，该第一喷洒装置30A及30A’由上而下将该第三液体W3喷洒至该第一过滤装置20A及该第二过滤装置20A’上，并吸附流经该第一过滤装置20A及该第二过滤装置20A’的该气体后，形成新的该第二液体W2后落入该液体储存槽40A及40A’内，通过如此循环运用之下，该液体储存槽40A及40A’中的该第二液体W2吸附该气体100中的该污染物质101A的效率会越来越低，透过此装置即使加入了该第一液体W1，亦无法使吸附力提升。

再者，为达更高效去除的目的，本实用新型亦可采用前后串联的方式提升该污染物质101的去除效率，请参考图3B，其为本实用新型的一另一实施例的结构示意图，如图所示，于该腔体10内设置前者(左侧)称的制程废气洗涤装置A，后者(右侧)称的制程废气洗涤装置B，当采用两个以上的制程废气洗涤装置于该腔体10内，以上述前后串联配置为例，会同时使用到该第一过滤装置20 及一第二过滤装置20’，其中，该第一过滤装置20及一第二过滤装置20’的元件配置如前一实施例所述，故不在此进行赘述。

进一步，一气体通道130一端连通制程废气洗涤装置A的该第一过滤装置20的该过滤出气口224，该气体通道130另一端连通制程废气洗涤装置B的该第二过滤装置20’的该过滤进气口222’，该气体通道130用以使该气体100由该第一过滤装置20运输至该第二过滤装置20’过滤后由制程废气洗涤装置B的该过滤出气口224’通过后，再经由该出气口14排出外部环境。

上述的制程废气洗涤装置B包含该第二过滤装置20’，并设有一第二喷洒装置30’，复参阅图3C，制程废气洗涤装置B可直接使用一抽取装置50’加压抽取，使该第一液体W1透过该第一管路T1流经一液体输送管路200后，经由该第二喷洒装置30’喷洒出该第一液体W1，且本实施例中于制程废气洗涤装置A的该第一管路T1及制程废气洗涤装置B的该第一管路T1’之间设有一第三管路T3，该第三管路T3两端分别设置制程废气洗涤装置A的一第一液体切换阀70A及液体储存槽40’之间，如此一来，制程废气洗涤装置A及制程废气洗涤装置B即可于该第一液体及该第二液体之间进行切换，洗涤由进气口12进入该进气通道130的该气体100，使该气体100中的该污染物质101浓度减少，另外，该液体储存槽40’除了可透过该第一液体切换阀70A及70B切换后将该第二液体W2传输至该第一喷洒装置30的外，该液体储存槽40及40’的下方设有一排水装置90及90’，其用以排除该液体储存槽40及40’中的该第二液体W2。

如上所述，本实施例主要目的是为节省该第一液体的使用量，且兼具高效率去除该污染物质101的特性，由质传原理可知，吸收液(如上述的该第一液体或该第二液体或第三液体)中的该污染物质101浓度，会影响吸收的速率与效能，因此本实施例的主要目的为充份应用吸收液中污染物浓度与空气中浓度的梯度差，以吸收液使用方向来看，当新鲜吸收液(该第一液体W1)进入制程废气洗涤装置B时所包含的污染物是最少的状态，因此，透过制程废气洗涤装置B 洗涤该气体100后的第二液体W2，再透过第三管路T3上的该第一液体切换阀70A 切换后，将洗涤过的废水(该第二液体W2)运送至制程废气洗涤装置A，此时由于流经制程废气洗涤装置A的该气体依然具有高浓度的该污染物质101，因此洗涤过的第二液体W2具有一定的去除该污染物质101的效率，此经过一次使用的第二液体W2可透过该液体切换阀70A切换供给制程废气洗涤装置A的洗涤液使用可节省新鲜吸收液(该第一液体)的使用量，并且兼具高效去除该污染物质101的作用。

另外，请参阅图3C，其为本实用新型的又一实施例的结构示意图，如图所示，本实施例的气体流动方向同于上述实施例，故不在此进行赘述；另外元件设置方式同于上述的实施例，故亦不在此进行赘述。

本实施例中，透过该第一管路T1将该第一液体W1经由该液体输送管路200’传输至该第一喷洒装置30’，使该第一液体W1由上而下流经该第二过滤装置20’，形成该第二液体W2后落入该液体储存槽40’内，接着，再经由该第三管路T3透过该液体输送管路200运输至该第一喷洒装置30，使该第二液体W2喷洒至该第一过滤装置20进行再次利用，本实施例改良制程洗涤装置将新鲜吸收液(该第一液体W1)供应直接导入于淋水出口(该第一喷洒装置30’)，以增加该气体100的该污染物质101的去除效率，并且透过使用过的液体(该第二液体W2)作为洗涤该气体的第一道的过滤过滤洗涤，有效提升去除该气体100 中该污染物质101的效用。

而以单一制程废气洗涤装置为例(本实用新型的一实施例)，在实验中，环境只导入异丙酮(IPA)为主要VOC污染物，因此水中VOC可视为完全由IPA 所组成，本实验量测该第一管路T1入水口及该第一喷洒装置30的VOC浓度，本实验中输入的水量与喷洒的水量均为8.5(Liter/min)。

实验组：100％的第一液体直供该液体储存槽去除VOC污染物质的装置，该第一管路T1直接提供100％的该第一液体W1进入该液体储存槽40(内含该第二液体W2)，该第一喷洒装置30喷洒该第三液体W3(其为该第一液体W1混合该第二液体W2形成)。

对照组：100％的第一液体直供该第一喷洒装置去除VOC污染物质的装置，该第一管路T1直接提供100％的该第一液体W1于该第一喷洒装置30，该第一喷洒装置30喷洒该第一液体W1。

实验组实验结果如表1：

表1 100％的第一液体直供该液体储存槽去除VOC污染物质

对照组实验结果如表2：

表2 100％的第一液体直供该第一喷洒装置去除VOC污染物质

由上述表1及表2的结果显示，表1中100％的第一液体直供该液体储存槽去除VOC污染物质的平均去除率为71.6％，而表2中100％的第一液体直供该第一喷洒装置去除VOC污染物质的去除率的平均去除率为90.9％，因此在同等的该第一喷洒装置的喷洒量下，因该第一液体W1中的既有污染物浓度较低，故可达更高的去除效率。

更进一步，若透过前后串联的使用多数个制程废气洗涤装置为例(本实用新型的另一实施例及又一实施例)，在实验中，环境只导入异丙酮(IPA)为主要VOC污染物，因此水中VOC可视为完全由IPA所组成，本实验量测该第一管路 T1入水口及该第一喷洒装置30的VOC浓度，本实验中输入的水量与喷洒的水量均为8.5(Liter/min)。

对照组：50％的第一液体W1供应该液体储存槽去除VOC污染物质的装置，该第一管路T1直接提供50％的该第一液体W1进入该液体储存槽40(内含该第二液体W2)，该第一喷洒装置30喷洒该第三液体W3(其为该第一液体W1混合该第二液体W2形成)。

实验组：50％的第一液体供应该第一喷洒装置去除VOC污染物质的装置，该第一管路T1直接提供供水量的50％的该第一液体W1于该第一喷洒装置；该第一喷洒装置30喷洒100％的该第三液体W3(该第三液体W3为50％该第一液体W1混合50％的该第二液体W2形成)。

实验组实验结果如表3：

表3 50％的第一液体直供该液体储存槽去除VOC污染物质

对照组实验结果如表4：

表4 50％的第一液体供应该第一喷洒装置去除VOC污染物质

由上述表3及表4的结果显示，表3中50％的第一液体直供该液体储存槽去除VOC污染物质的平均去除率为41.6％，而表4中50％的第一液体供应该第一喷洒装置去除VOC污染物质的去除率的平均去除率为68.2％，因此在同等的该第一喷洒装置的喷洒量下，可达更高的该污染物质101的去除效率。

以上所述的实施例，本实用新型为一种制程废气洗涤装置，其利用第一过滤装置过滤气体，并透过该第一管路、该第二管路以及该第三管路使用该第一液体切换阀切换所提供的第一液体或第三液体，使第一喷洒装置喷洒第一液体或第三液体洗涤气体，使气体内的污染物质被第一液体及或第三液体吸收，并且更进一步利用第一管路、第二管路以及第三管路切换第一液体或/及第二液体供应方式，提升进气通道中污染物的去除效率，且透过第一液体或第二液体连续洗涤气体中的污染物质，亦可减少已溶解于液体中的污染物质再次逸散，有效达到提升去除污染物质效率的功效。

上文仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。

Claims (9)

1.一种制程废气洗涤装置，其特征在于，其设置于一腔体内，该腔体两侧分别设有一进气口及一出气口，其包含：

一第一过滤装置，其设置于该腔体内，并位于该进气口的一侧，该腔体的上方及下方分别设有一过滤进气口及一过滤出气口；以及

一第一喷洒装置，其设置该腔体内，并位于该第一过滤装置上；

一第一管路，其一端连通一第一液体切换阀，该第一管路用以运输一第一液体经由一液体运输管路进入该第一喷洒装置，使该第一喷洒装置喷洒该第一液体于该第一过滤装置；

其中，一进气通道两端分别连通该进气口及该过滤进气口，一气体经由该进气口进入该进气通道，并且该气体通过该过滤进气口后进入该第一过滤装置，再者，该第一液体连续进入该出气口并向下流经该第一过滤装置，该气体经该第一液体洗涤后，由该过滤出气口流出并经由该出气口排出该腔体。

2.如权利要求1所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该第一过滤装置包含一壳体、一第一多孔元件及一离子吸附元件，该第一多孔元件设置于该壳体内，位于该过滤进气口的一侧，该第一多孔元件上设置一第一触媒材料，该离子吸附元件设置于该第一多孔元件与该过滤出气口之间。

3.如权利要求2所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该第一过滤装置更包含一第二多孔元件，其设置于该离子吸附元件与该过滤出气口之间，该第二多孔元件上设置有一第二触媒材料。

4.如权利要求1所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，更包含一液体储存槽，该液体储存槽设置于该第一过滤装置的下方，该进气通道位于该液体储存槽及该第一过滤装置之间，进一步，该液体储存槽下方设置一排水装置，该排水装置用以排出该第一液体。

5.如权利要求4所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，更包含一抽取装置，其设置于该第一喷洒装置及该液体储存槽之间，并位于该液体运输管路上。

6.如权利要求1所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该进气通道设于该第一过滤装置的一侧，且自该进气口向下延伸并连通至该过滤进气口。

7.如权利要求1所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，其中该腔体内更包含一第二过滤装置，该第一过滤装置一气体信道一端连通该第一过滤装置的该过滤出气口，该气体通道另一端连通第二过滤装置的一过滤进气口，该气体通道用以使该气体由该第一过滤装置流入该第二过滤装置。

8.如权利要求7所述的制程废气洗涤装置，其特征在于，更包含一第三管路，其两端分别连接于该第一过滤装置及该第二过滤装置，该第三管路两端各设有该第一液体切换阀，其用于切换该第一液体及一第二液体，亦用于混合该第一液体及该第二液体进行洗涤。

9.如权利要求8所述的制程废气洗涤装置，该第一及第二过滤装置，其特征在于，设有一第一管路提供第一液体，此第一液体先经由第二喷洒装置供应于第二过滤装置后流入液体储存槽，再经由第三管路供应至第一喷洒装置，供应于第一过滤装置，做为二次洗涤使用。

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