CN114984671A - 一种药液回收系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及液体回收技术领域，具体公开了一种药液回收系统。该药液回收系统包括车间以及设于车间内的湿制程设备、气液分离设备、药液抽取设备；湿制程设备内设置有储液罐；气液分离设备用于将湿制程设备排出的药液水汽分离为药液和气体，并同时收集药液；其中，气液分离设备包括吸入口、气体排出口和药液排出口；同时，药液抽取设备的一端连接药液排出口，药液抽取设备的另一端连接储液罐，且药液抽取设备能够将药液抽取到储液罐内。本发明的药液回收过程均在车间内完成，并通过气液分离设备和药液抽取设备实现了药液的完全回收以及高效回收，避免了药液的无效损耗，同时避免了对外界环境的污染。
Description
技术领域
本发明涉及液体回收技术领域，尤其涉及一种药液回收系统。
背景技术
随着电脑、手机等电子设备的普及，显示面板的使用量越来越多，进而使得显示面板制造需求越来越高。其中，湿制程设备是一种用于对显示面板进行加工的设备，其包括基板清洗设备、湿法刻蚀设备、光阻剥离设备、掩膜版清洗设备等设备。
在湿制程设备加工显示面板的过程中有大量高温药液水汽混合液产生，这部分高温药液水汽混合液通常会通过厂区的排风直接抽走，没有进行高效回收再利用，进而造成了药液的损耗，使得显示面板加工的成本提高，同时，高温药液水汽混合液排出厂区后还进一步造成了环境污染。
发明内容
本发明的目的在于提供一种药液回收系统，以解决现有技术中高温药液水汽混合液无法回收而产生损耗的问题，以及高温药液水汽混合液排出厂区造成环境污染的问题。
为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种药液回收系统，该药液回收系统包括车间和设于上述车间内的：
湿制程设备，上述湿制程设备内设置有储液罐，上述储液罐用于储存药液；
气液分离设备，上述气液分离设备用于将上述湿制程设备排出的药液水汽分离为上述药液和气体，并收集上述药液；上述气液分离设备包括吸入口、气体排出口和药液排出口，上述吸入口用于吸收上述车间内的上述药液水汽，上述气体排出口用于将上述气体排出，上述药液排出口用于将上述药液排出；
药液抽取设备，上述药液抽取设备的一端连接上述药液排出口，上述药液抽取设备的另一端连接上述储液罐，上述药液抽取设备能够将上述药液抽取到上述储液罐内。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述药液抽取设备包括进液管、出液管和射流器，上述射流器设于上述湿制程设备上；上述进液管的一端连接上述药液排出口，上述进液管的另一端连接上述射流器的吸液口；上述出液管的一端连接上述射流器的出口，上述出液管的另一端连接上述储液罐；上述射流器具有进气口，压缩气体能够经由上述进气口进入上述射流器内。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述药液抽取设备还包括气体供给装置，上述气体供给装置的供气端可拆卸连接于上述进气口。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述气体供给装置设于上述湿制程设备内。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述气液分离设备包括折流分离装置和冷凝回流装置，上述冷凝回流装置设于上述折流分离装置上；上述折流分离装置连通上述冷凝回流装置，以使上述药液水汽能够由上述折流分离装置流入上述冷凝回流装置内；上述折流分离装置用于折流分离上述药液水汽；上述冷凝回流装置用于冷凝分离上述药液水汽。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述折流分离装置包括折流仓和环保球，上述环保球设于上述折流仓内；且上述折流仓具有上述吸入口和上述药液排出口。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述冷凝回流装置包括冷凝仓和冷盘管，上述冷盘管设于上述冷凝仓内；上述冷盘管具有进管口和出管口，上述进管口与上述出管口均设于上述冷凝仓的下端，冷却剂能够由上述进管口流入上述冷盘管，并由上述出管口流出；且上述冷凝仓具有上述气体排出口和上述药液排出口。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述气液分离设备还包括海绵块，上述海绵块设于上述折流分离装置与上述冷凝回流装置的连通通道处。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述车间具有负压排出口，上述气体排出口连通于上述车间的上述负压排出口。
作为上述药液回收系统的一种可选方案，上述气液分离设备包括抽气机，上述抽气机连接于上述气液分离设备的上述吸入口，上述抽气机能够经由上述吸入口将上述药液水汽抽入上述气液分离设备内。
本发明的有益效果为：
该药液回收系统包括车间、湿制程设备、气液分离设备和药液抽取设备，湿制程设备、气液分离设备和药液抽取设备均设于车间内。湿制程设备内设置有储液罐，储液罐用于储存药液，以方便后续对药液水汽中分离后的药液进行回收储存。气液分离设备用于将湿制程设备排出的药液水汽分离为药液和气体，并同时收集药液，从而实现药液的高效回收。其中，气液分离设备包括吸入口、气体排出口和药液排出口，吸入口用于吸收车间内的药液水汽，气体排出口用于将气体排出至车间内或外界环境，药液排出口用于将药液排出，从而通过气液分离设备实现了药液水汽的收集和分离。同时，药液抽取设备的一端连接药液排出口，药液抽取设备的另一端连接储液罐，且药液抽取设备能够将药液抽取到储液罐内，从而实现了药液的抽取和储存。该药液回收过程均在车间内完成，并通过气液分离设备和药液抽取设备实现了药液的完全回收以及高效回收，避免了药液的无效损耗，同时避免了对外界环境的污染。
附图说明
图1为本发明实施例所提供的药液回收系统的结构示意图；
图2为图1中A处的局部放大图。
图中：
1、车间；2、湿制程设备；21、储液罐；3、气液分离设备；31、吸入口；32、气体排出口；33、药液排出口；34、折流分离装置；341、折流仓；342、环保球；35、冷凝回流装置；351、冷凝仓；352、冷盘管；36、海绵块；4、药液抽取设备；41、进液管；42、出液管；43、射流器；431、进气口。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
本实施例提供一种药液回收系统，用于对药液进行充分回收。
如图1～2所示，该药液回收系统包括车间1、湿制程设备2、气液分离设备3和药液抽取设备4，湿制程设备2、气液分离设备3和药液抽取设备4均设于车间1内。湿制程设备2内设置有储液罐21，储液罐21用于储存药液，以方便后续对药液水汽中分离后的药液进行回收储存。
气液分离设备3用于将湿制程设备2排出的药液水汽分离为药液和气体，并同时收集药液，从而实现药液的高效回收。其中，气液分离设备3包括吸入口31、气体排出口32和药液排出口33，吸入口31用于吸收车间1内的药液水汽，气体排出口32用于将气体排出至车间1内或外界环境，药液排出口33用于将药液排出，从而通过气液分离设备3实现了药液水汽的收集和分离。同时，药液抽取设备4的一端连接药液排出口33，药液抽取设备4的另一端连接储液罐21，且药液抽取设备4能够将药液抽取到储液罐21内，从而实现了药液的抽取和储存。该药液回收过程均在车间1内完成，并通过气液分离设备3和药液抽取设备4实现了药液的完全回收以及高效回收，避免了药液的无效损耗，同时避免了对外界环境的污染。可选地，湿制程设备2为光阻剥离设备，药液为剥离液。当然，湿制程设备2可以为其它设备，药液可以为其它需要回收的药液，本实施例不作具体限定。
进一步地，气液分离设备3包括折流分离装置34和冷凝回流装置35，冷凝回流装置35设于折流分离装置34上，从而通过简单组装折流分离装置34和冷凝回流装置35就能够形成药液回收效率更高的气液分离设备3，且气液分离设备3体积小巧，占地空空间较小，能够方便客户根据需求在车间1内对气液分离设备3进行布置。其中，折流分离装置34连通冷凝回流装置35，以使药液水汽能够由折流分离装置34流入冷凝回流装置35内，且折流分离装置34用于折流分离药液水汽，冷凝回流装置35用于冷凝分离药液水汽，从而通过两级回收使得药液的回收更加充分，避免药液的损耗浪费。
具体地，折流分离装置34包括折流仓341和环保球342，环保球342设于折流仓341内，且折流仓341具有吸入口31和药液排出口33，从而药液水汽能够通过吸入口31进入折流仓341内，且在药液水汽的流动过程中，环保球342对药液水汽进行阻挡，药液水汽中的气体会折流而走，而液体由于惯性继续流动并附着在环保球342上，最终由于重力的作用向下汇集到一起形成药液，进而该药液能够通过折流仓341的药液排出口33排出。其中，分离后的气体能够从折流分离装置34流入冷凝回流装置35。可选地，环保球342设备有多个，多个环保球342能够进一步增强折流分离装置34对药液水汽的分离。
同时，冷凝回流装置35包括冷凝仓351和冷盘管352，冷盘管352设于冷凝仓351内，冷盘管352具有进管口和出管口，进管口与出管口均设于冷凝仓351的下端，冷却剂能够由进管口流入冷盘管352，并由出管口流出，从而折流分离装置34未完全分离的药液水汽进入冷凝仓351内后，缓慢流动的冷却剂在冷盘管352内不断地带走药液水汽的温度，以使药液水汽降温，从而冷凝回流形成药液，进而充分的使药液和气体分离。同时，进管口与出管口均设于冷凝仓351的下端还能够避免冷却剂在冷盘管352内流动不充分的现象。其中，冷凝仓351具有气体排出口32和药液排出口33，冷凝回流装置35冷凝分离后的药液通过冷凝仓351的药液排出口33排出，气体通过冷凝仓351的气体排出口32排出。
进一步地，气液分离设备3还包括海绵块36，海绵块36设于折流分离装置34与冷凝回流装置35的连通通道处，从而通过海绵块36对药液水汽内的药液进行吸附，以进一步增强气液分离设备3的气液分离功能。
进一步地，车间1具有负压排出口，气体排出口32连通于车间1的负压排出口，从而气液分离设备3仅通过负压排出口所产生负压作为动力，对药液水汽进行吸取，无需添加其它设备，进而进一步地降低了气液分离设备3的制造成本，减小了气液分离设备3的占用空间。可选地，在其它实施例中，气液分离设备3包括抽气机，抽气机连接于气液分离设备3的吸入口31，抽气机能够经由吸入口31将药液水汽抽入气液分离设备3内，从而方便对气液分离设备3在车间1内的位置进行布置，同时气体排出口32还位于车间1内，以使气体排出口32排出的还存有的药液水汽能够再次被气液分离设备3吸取。
如图2所示，药液抽取设备4包括进液管41、出液管42和射流器43，射流器43设于湿制程设备2上，以实现射流器43的固定，方便射流器43的使用，且使用射流器43时的占地空间较小，克服了使用重力排液带来的占地空间大的问题，使得药液抽取设备4更小巧，提高了车间1内的空间利用率。其中，进液管41的一端连接气液分离设备3的药液排出口33，进液管41的另一端连接射流器43的吸液口，出液管42的一端连接射流器43的出口，出液管42的另一端连接储液罐21，从而气液分离设备3内的药液能够依次通过进液管41、射流器43和出液管42流入储液罐21内，实现药液的转移。同时，射流器43具有进气口431，压缩气体能够经由进气口431进入射流器43内，由于压缩空气的高速流动，在射流器43内产生负压，使得药液从射流器43的吸液口被吸入射流器43内，并和气体混合后从射流器43的出口喷出，进而进入储液罐21内。可选地，储液罐21上设置有排气口，药液受重力的作用沉入储液罐21底部，气体由排气口排出。
进一步地，药液抽取设备4还包括气体供给装置，气体供给装置的供气端可拆卸连接于进气口431，从而工作人员能够仅在回收药液时连接气体供给装置的供气端和射流器43的进气口431，实现气体供给装置提供压缩气体。当车间1内药液水汽中的药液全部回收完毕后，能够将气体供给装置的供气端与进气口431进行拆卸，以使气体供给装置另作它用，实现气体供给装置的多种用途。可选地，气体供给装置设于湿制程设备2内，从而使得药液抽取设备4的占用空间更小，进一步地提高车间1内的空间利用率。进一步可选的，气体供给装置包括气泵、通气管道和气枪，气泵设于湿制程设备2上，气枪通过通气管道连接气泵。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种药液回收系统，其特征在于，包括车间(1)和设于所述车间(1)内的：
湿制程设备(2)，所述湿制程设备(2)内设置有储液罐(21)，所述储液罐(21)用于储存药液；
气液分离设备(3)，所述气液分离设备(3)用于将所述湿制程设备(2)排出的药液水汽分离为所述药液和气体，并收集所述药液；所述气液分离设备(3)包括吸入口(31)、气体排出口(32)和药液排出口(33)，所述吸入口(31)用于吸收所述车间(1)内的所述药液水汽，所述气体排出口(32)用于将所述气体排出，所述药液排出口(33)用于将所述药液排出；
药液抽取设备(4)，所述药液抽取设备(4)的一端连接所述药液排出口(33)，所述药液抽取设备(4)的另一端连接所述储液罐(21)，所述药液抽取设备(4)能够将所述药液抽取到所述储液罐(21)内。
2.根据权利要求1所述的药液回收系统，其特征在于，所述药液抽取设备(4)包括进液管(41)、出液管(42)和射流器(43)，所述射流器(43)设于所述湿制程设备(2)上；所述进液管(41)的一端连接所述药液排出口(33)，所述进液管(41)的另一端连接所述射流器(43)的吸液口；所述出液管(42)的一端连接所述射流器(43)的出口，所述出液管(42)的另一端连接所述储液罐(21)；所述射流器(43)具有进气口(431)，压缩气体能够经由所述进气口(431)进入所述射流器(43)内。
3.根据权利要求2所述的药液回收系统，其特征在于，所述药液抽取设备(4)还包括气体供给装置，所述气体供给装置的供气端可拆卸连接于所述进气口(431)。
4.根据权利要求3所述的药液回收系统，其特征在于，所述气体供给装置设于所述湿制程设备(2)内。
5.根据权利要求1所述的药液回收系统，其特征在于，所述气液分离设备(3)包括折流分离装置(34)和冷凝回流装置(35)，所述冷凝回流装置(35)设于所述折流分离装置(34)上；所述折流分离装置(34)连通所述冷凝回流装置(35)，以使所述药液水汽能够由所述折流分离装置(34)流入所述冷凝回流装置(35)内；所述折流分离装置(34)用于折流分离所述药液水汽；所述冷凝回流装置(35)用于冷凝分离所述药液水汽。
6.根据权利要求5所述的药液回收系统，其特征在于，所述折流分离装置(34)包括折流仓(341)和环保球(342)，所述环保球(342)设于所述折流仓(341)内；且所述折流仓(341)具有所述吸入口(31)和所述药液排出口(33)。
7.根据权利要求5所述的药液回收系统，其特征在于，所述冷凝回流装置(35)包括冷凝仓(351)和冷盘管(352)，所述冷盘管(352)设于所述冷凝仓(351)内；所述冷盘管(352)具有进管口和出管口，所述进管口与所述出管口均设于所述冷凝仓(351)的下端，冷却剂能够由所述进管口流入所述冷盘管(352)，并由所述出管口流出；且所述冷凝仓(351)具有所述气体排出口(32)和所述药液排出口(33)。
8.根据权利要求5所述的药液回收系统，其特征在于，所述气液分离设备(3)还包括海绵块(36)，所述海绵块(36)设于所述折流分离装置(34)与所述冷凝回流装置(35)的连通通道处。
9.根据权利要求1所述的药液回收系统，其特征在于，所述车间(1)具有负压排出口，所述气体排出口(32)连通于所述车间(1)的所述负压排出口。
10.根据权利要求1所述的药液回收系统，其特征在于，所述气液分离设备(3)包括抽气机，所述抽气机连接于所述气液分离设备(3)的所述吸入口(31)，所述抽气机能够经由所述吸入口(31)将所述药液水汽抽入所述气液分离设备(3)内。
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2022
- 2022-07-04 CN CN202210781526.2A patent/CN114984671B/zh active Active
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