CN214602469U - 一种高速全自动真空封焊机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高速全自动真空封焊机，包括机架，所述机架上沿X方向依次设置为前置缓存室机构、后密封门机构、料盘缓存及移载机构、倒手机构、预焊机构、长边封焊机构、左缓存室机构、短边封焊机构、右缓存室机构和收纳机构。本实用新型根据各机构间的精确配合，可顺利实现产品缓存、LID供料、LID横移、LID归正、视觉定位、预焊和长边封焊、短边封焊、产品传送、成品收纳等功能，并可以稳定的实现上述工艺的全部要求，本结构预焊精度高，封焊盘和LID供料效率高，更换封焊盘时不用停机，视觉定位使产品的性能稳定，良品率高，因此整个设备生产效率和可靠性极高。

Description

一种高速全自动真空封焊机

技术领域

本实用新型属于微电子器件生产装备技术领域，具体涉及一种高速全自动真空封焊机。

背景技术

当今科学技术进入了数码时代，数码电子产品的迅猛发展，直接带动了电子器件制造的快速发展，同时也对电子器件制造提出了越来越高的要求，封焊机是电子器件制造厂应用较多的核心设备之一，其性能直接影响到电子器件的品质，传统的封焊机生产效率低，封焊精度差，生产小尺寸产品时性能不稳定，为了改变上述情况，迫切需要研发一款成本低、品质高、性能稳定的自动化设备，即高速全自动真空封焊机。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种高速全自动真空封焊机。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高速全自动真空封焊机，包括机架，所述机架上设置有前置缓存室机构，所述前置缓存室机构的一侧设置有后密封门机构，所述后密封门机构的一侧设置有料盘缓存及移载机构，所述料盘缓存及移载机构的一侧设置有倒手机构，所述倒手机构的一侧设置有预焊机构，所述预焊机构的一侧设置有长边封焊机构，所述长边封焊机构的一侧设置有左缓存室机构，所述左缓存室机构的一侧设置有短边封焊机构，所述短边封焊机构的一侧设置有右缓存室机构，所述右缓存室机构的一侧设置有收纳机构。

优选的，所述前置缓存室机构包括真空缓存室单元和缓存室弹匣单元，缓存室弹匣单元安装在真空缓存室单元内，缓存室弹匣单元为双弹匣机构。

优选的，所述后密封门机构包括防掉落单元、密封门上下移动单元、密封门压紧单元和前置立板单元，防掉落单元和密封门上下移动单元安装在所述前置立板单元上，密封门压紧单元安装在密封门上下移动单元上，防掉落单元为气缸结构，密封门上下移动单元为无杆气缸结构，密封门压紧单元为气缸结构。

优选的，所述料盘缓存及移载机构包括缓存弹匣单元、第一拉盘单元、Z 向移载单元、Y向移载单元和X向移载单元，Y向移载单元和缓存弹匣单元安装在X向移载单元上，Z向移载单元安装在Y向移载单元，第一拉盘单元安装在Z向移载单元上，缓存弹匣单元为双弹匣结构，Z向移载单元、Y向移载单元和X向移载单元为电机直线模组结构。

优选的，所述倒手机构包括一级倒手单元、二级倒手单元、三级倒手单元和四级倒手单元，倒手单元为电机、同步带轮和同步带结构。

优选的，所述预焊机构包括料斗单元、归正单元、下CCD单元、预焊载盘单元、上CCD单元、点焊单元、移载单元和横移单元，点焊单元和上CCD 单元安装在移载单元上方，归正单元为电机凸轮结构，预焊载盘单元为电机直线模组和轴承结构，移载单元为直线电机结构，点焊单元为负压吸嘴结构和恒重加压结构，横移单元为电机直线模组、齿轮齿条和中空电机结构。

优选的，所述长边封焊机构包括电极移载单元、移载支撑单元、第一封焊电极单元、封焊载盘单元和载盘支撑单元，封焊电极单元安装在电极移载单元上，电极移载单元安装在移载支撑单元上，封焊载盘单元安装在载盘支撑单元上，电极移载单元为电机直线模组结构，封焊电极单元为凸轮和恒重加压结构，封焊载盘单元为电机直线模组和气缸结构。

优选的，所述左缓存室机构包括连接板单元、推盘单元和左低真空室单元，连接板单元安装在左低真空室单元侧面，推盘单元安装在左低真空室单元内，推盘单元为电机、同步带轮、同步带和气缸结构。

优选的，所述短边封焊机构包括封焊电极单元、XY向料盘移载单元、高真空室单元和真空室支撑单元，XY向料盘移载单元和封焊电极单元安装在高真空室单元内，高真空室单元安装在真空室支撑单元上，封焊电极单元为凸轮和恒重加压结构，XY向料盘移载单元为电机直线模组和凸轮结构，高真空室单元为分子泵和机械泵结构。

优选的，所述右缓存室机构包括右低真空室单元、第二拉盘单元，第二拉盘单元安装在右低真空室单元内，第二拉盘单元为电机、同步带轮、同步带和气缸结构；收纳机构包括收纳弹匣单元、滚轮单元和顶升单元，滚轮单元和收纳弹匣单元安装在所述顶升单元上，滚轮单元为电机驱动同步带轮和同步带结构，顶升单元为电机丝母丝杠结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型根据各机构间的精确配合，可顺利实现产品缓存、LID供料、LID横移、LID归正、视觉定位、预焊和长边封焊、短边封焊、产品传送、成品收纳等功能，并可以稳定的实现上述工艺的全部要求，本结构预焊精度高，封焊盘和LID供料效率高，更换封焊盘时不用停机，视觉定位使产品的性能稳定，良品率高，因此整个设备生产效率和可靠性极高；

2、结构紧凑、性价比高，可兼容不同的机种、封焊盘，目前此款设备适合不同尺寸产品，最小可做至1612(1.6mmX1.2mm)，此设备技术的开发可应用在电子行业的其它产品上；

3、工位切换采用直线传递设计，供收料采用弹匣设计，预焊和封焊采用恒重加压结构，并采用高精度视觉判断系统，增加了本实用新型的精度和可靠性，本实用新型包含前置缓存室机构、后密封门机构、料盘缓存及移载机构、倒手机构、预焊机构、长边封焊机构、缓存室机构、短边封焊机构、收纳机构等功能性装置。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是一种高速全自动真空封焊机俯视的结构示意图；

图2是一种高速全自动真空封焊机整体视图；

图3是一种高速全自动真空封焊机中机架机构的结构示意图；

图4是一种高速全自动真空封焊机中前置缓存室机构的结构示意图；

图5是一种高速全自动真空封焊机中后密封门机构的结构示意图；

图6是一种高速全自动真空封焊机中料盘缓存及移载机构的结构示意图；

图7是一种高速全自动真空封焊机中倒手机构的结构示意图；

图8是一种高速全自动真空封焊机中料斗单元的结构示意图；

图9是一种高速全自动真空封焊机中归正单元的结构示意图；

图10是一种高速全自动真空封焊机中下CCD单元的结构示意图；

图11是一种高速全自动真空封焊机中预焊载盘单元的结构示意图；

图12是一种高速全自动真空封焊机中点焊单元的安装结构示意图；

图13是一种高速全自动真空封焊机中横移单元的结构示意图；

图14是一种高速全自动真空封焊机中长边封焊机构的结构示意图；

图15一种高速全自动真空封焊机中左缓存室机构的结构示意图；

图16一种高速全自动真空封焊机中短边封焊机构的结构示意图；

图17一种高速全自动真空封焊机中右缓存室机构的结构示意图；

图18一种高速全自动真空封焊机中收纳机构的结构示意图。

图中：

1001、前置缓存室机构；1002、后密封门机构；1003、料盘缓存及移载机构；1004、倒手机构；1005、预焊机构；1006、长边封焊机构；1007、左缓存室机构；1008、短边封焊机构；1009、右缓存室机构；1010、收纳机构； 3001、下机架机构；3002、上机架机构；4001、真空缓存室单元；4002、缓存室弹匣单元；5001、防掉落单元；5002、密封门上下移动单元；5003、密封门压紧单元；5004、前置立板单元；6001、缓存弹匣单元；6002、第一拉盘单元；6003、Z向移载单元；6004、Y向移载单元；6005、X向移载单元； 7001、一级倒手单元；7002、二级倒手单元；7003、三级倒手单元；7004、四级倒手单元；8001、料斗单元；8002、归正单元；8003、下CCD单元；8004、预焊载盘单元；8005、上CCD单元；8006、点焊单元；8007、移载单元；8008、横移单元；9001、电极移载单元；9002移载支撑单元；9003、第一封焊电极单元；9004、封焊载盘单元；9005、载盘支撑单元；10001、连接板单元；10002、推盘单元；10003、左低真空室单元；11001、第二封焊电极单元；11002、XY 向料盘移载单元；11003、高真空室单元；11004、真空室支撑单元；12001、右低真空室单元；12002、第二拉盘单元；13001、收纳弹匣单元；13002、滚轮单元；13003、顶升单元。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-18，本实用新型提供以下技术方案：一种高速全自动真空封焊机，包括机架，机架上沿X方向依次设置为前置缓存室机构1001，后密封门机构1002、料盘缓存及移载机构1003、倒手机构1004、预焊机构1005、长边封焊机构1006、左缓存室机构1007、短边封焊机构1008，右缓存室机构 1009，收纳机构1010。

在图4中，前置缓存室机构1001包括真空缓存室单元4001和缓存室弹匣单元4002，缓存室弹匣单元4002安装在真空缓存室单元4001内，缓存室弹匣单元4002为双弹匣机构。

在图5中，后密封门机构1002包括防掉落单元5001、密封门上下移动单元5002、密封门压紧单元5003和前置立板单元5004，防掉落单元5001和密封门上下移动单元5002安装在前置立板单元5004上，密封门压紧单元5003 安装在密封门上下移动单元5002上，防掉落单元5001为气缸结构，密封门上下移动单元5002为无杆气缸结构，密封门压紧单元5003为气缸结构。

在图6中，料盘缓存及移载机构1003包括缓存弹匣单元6001、第一拉盘单元6002、Z向移载单元6003、Y向移载单元6004和X向移载单元6005，Y 向移载单元6004和缓存弹匣单元6001安装在X向移载单元6005上，Z向移载单元6003安装在Y向移载单元6004，第一拉盘单元6002安装在Z向移载单元6003上，缓存弹匣单元6001为双弹匣结构，Z向移载单元6003、Y向移载单元6004和X向移载单元6005为电机直线模组结构。

在图7中，倒手机构1004包括一级倒手单元7001、二级倒手单元7002、三级倒手单元7003和四级倒手单元7004，倒手单元为电机、同步带轮和同步带结构。

在图8-13中，预焊机构1005包括料斗单元8001、归正单元8002、下CCD 单元8003、预焊载盘单元8004、上CCD单元8005、点焊单元8006、移载单元8007和横移单元8008，点焊单元8006和上CCD单元8005安装在移载单元 8007上方，归正单元8002为电机凸轮结构，预焊载盘单元8004为电机直线模组和轴承结构，移载单元8007为直线电机结构，点焊单元8006为负压吸嘴结构和恒重加压结构，横移单元8008为电机直线模组、齿轮齿条和中空电机结构。

在图14中，长边封焊机构1006包括电极移载单元9001、移载支撑单元 9002、第一封焊电极单元9003、封焊载盘单元9004和载盘支撑单元9005，第一封焊电极单元9003安装在电极移载单元9001上，电极移载单元9001安装在移载支撑单元9002上，封焊载盘单元9004安装在载盘支撑单元9005上，电极移载单元9001为电机直线模组结构，第一封焊电极单元9003为凸轮和恒重加压结构，封焊载盘单元9004为电机直线模组和气缸结构。

在图15中，左缓存室机构1007包括连接板单元10001、推盘单元10002 和左低真空室单元10003，连接板单元10001安装在左低真空室单元10003侧面，推盘单元10002安装在左低真空室单元10003内，推盘单元10002为电机、同步带轮、同步带和气缸结构。

在图16中，短边封焊机构1008包括第二封焊电极单元11001、XY向料盘移载单元11002、高真空室单元11003和真空室支撑单元11004，XY向料盘移载单元11002和第二封焊电极单元11001安装在高真空室单元11003内，高真空室单元11003安装在真空室支撑单元11004上，第二封焊电极单元 11001为凸轮和恒重加压结构，XY向料盘移载单元11002为电机直线模组和凸轮结构，高真空室单元11003为分子泵和机械泵结构。

在图17中，右缓存室机构1009包括右低真空室单元12001、第二拉盘单元12002，第二拉盘单元12002安装在右低真空室单元12001内，第二拉盘单元12002为电机、同步带轮、同步带和气缸结构。

在图18中，收纳机构1010包括收纳弹匣单元13001、滚轮单元13002和顶升单元13003，滚轮单元13002和收纳弹匣单元13001安装在顶升单元上，滚轮单元13002为电机驱动同步带轮和同步带结构，顶升单元13003为电机丝母丝杠结构。

实施例中，前置缓存室机构1001包括真空缓存室单元4001和缓存室弹匣单元4002，缓存室弹匣单元4002安装在真空缓存室单元4001内，真空缓存室单元4001关闭后抽取真空达到数值后，充入氮气。

后密封门机构1002包括防掉落单元5001、密封门上下移动单元5002、密封门压紧单元5003和前置立板单元5004，防掉落单元5001和密封门上下移动单元5002安装在前置立板单元5004上，密封门压紧单元5003安装在密封门上下移动单元5002上，后密封门由气缸提供动力实现开合功能，密封门压紧单元5003在密封门上下移动单元5002带动下实现上下移动，密封门压紧单元5003移动到上位后，防掉落单元5001由气缸提供动力顶出支柱，防止密封门压紧单元5003掉落。

料盘缓存及移载机构1003包括缓存弹匣单元6001、第一拉盘单元6002、 Z向移载单元6003、Y向移载单元6004和X向移载单元6005，Y向移载单元 6004和缓存弹匣单元6001安装在X向移载单元6005上，Z向移载单元6003 安装在Y向移载单元6004，第一拉盘单元6002安装在Z向移载单元6003上，第一拉盘单元6002由电机提供动力拉出缓存弹匣单元6001内的料盘，Z向移载单元6003由电机驱动模组提供动力，实现上下方向升降配合第一拉盘单元 6002逐层拉出料盘，Y向移载单元6004由电机驱动模组提供动力，实现前后方向位置切换，X向移载单元6005由电机驱动模组提供动力，实现左右方向位置定位。

倒手机构1004包括一级倒手单元7001、二级倒手单元7002、三级倒手单元7003和四级倒手单元7004，倒手单元为电机带动同步带轮和同步带，将动力传递给拨杆，推动料盘平稳进入下一工位。

预焊机构1005包括料斗单元8001、归正单元8002、下CCD单元8003、预焊载盘单元8004、上CCD单元8005、点焊单元8006、移载单元8007和横移单元8008，点焊单元8006和上CCD单元8005安装在移载单元8007上方，横移单元8008上的吸嘴吸取料斗单元8001上的产品后，横移单元8008上的齿轮齿条实现吸嘴上下位移后，横移单元8008由电机驱动模组提供动力，实现横移吸嘴左右位移，将产品放入归正单元8002的归正平台同时下方负压吸附产品，归正单元8002由电机驱动凸轮提供动力，带动定位夹爪实现产品的精确定位，点焊单元8006上的吸嘴负压吸取归正单元8002归正平台上的产品，在移载单元8007带动下，快速移动到预焊载盘单元8004对应产品上方，点焊单元8006由电机驱动模组提供动力，下降到预焊载盘单元8004上方实现点焊，在点焊单元8006经过下CCD单元8003时，下方相机快速准确的将点焊吸嘴上的产品采集到的图像进行视觉取像，并进行偏差值的输出，在此过程中上CCD单元8005配合预焊载盘单元8004进行视觉取像，采用光源和视觉系统对基座进行视觉定位，位置出现偏差时，自动计算出偏差值并提供给预焊载盘单元8004，对基座进行视觉定位，实现了对基座的准确取像，并进行偏差值的输出。

长边封焊机构1006包括电极移载单元9001、移载支撑单元9002、第一封焊电极单元9003、封焊载盘单元9004和载盘支撑单元9005，第一封焊电极单元9003安装在电极移载单元9001上，电极移载单元9001安装在移载支撑单元9002上，封焊载盘单元9004安装在载盘支撑单元9005上，封焊载盘单元9004带动料盘到达工作位置，电极移载单元9001带动第一封焊电极单元9003到达产品上方，第一封焊电极单元9003上的电极在凸轮带动下接触产品，封焊载盘单元9004配合第一封焊电极单元9003实现滚焊运动。

左缓存室机构1007包括连接板单元10001、推盘单元10002和左低真空室单元10003，连接板单元10001安装在左低真空室单元10003侧面，推盘单元10002安装在左低真空室单元10003内，左低真空室单元10003左侧密封门打开，左低真空室单元10003上的滚轮启动将料盘运送到工作位置，左侧密封门关闭，机械泵启动抽取真空到达设定值，平衡阀打开平衡压力后，右侧密封门打开，推盘单元10002上的推杆推动料盘进入下一工位。

短边封焊机构1008包括第二封焊电极单元11001、XY向料盘移载单元 11002、高真空室单元11003和真空室支撑单元11004，XY向料盘移载单元 11002和第二封焊电极单元11001安装在高真空室单元11003内，高真空室单元11003安装在真空室支撑单元11004上，料盘到达XY向料盘移载单元11002 的轨道后，XY向料盘移载单元11002的X轴向右移动同时轨道沿凸轮轨道向下移动压紧料盘，X轴到达工作位，第二封焊电极单元11001上的电极在凸轮带动下接触产品，XY向料盘移载单元11002的Y轴配合第一封焊电极单元9003 实现滚焊运动。

右缓存室机构1009包括右低真空室单元12001、第二拉盘单元12002，第二拉盘单元12002安装在右低真空室单元12001内，右低真空室单元12001 左侧密封门打开，第二拉盘单元12002的拉杆拉动料盘进入右缓存室，右低真空室单元12001左侧密封门关闭，放气阀启动充入氮气到达设定值后，右侧密封门打开，右低真空室单元12001上的滚轮启动将料盘运送出右缓存室。

收纳机构1010包括收纳弹匣单元13001、滚轮单元13002和顶升单元 13003，滚轮单元13002和收纳弹匣单元13001安装在顶升单元上，由滚轮单元13002提供动力，带动料盘进入收纳弹匣单元13001，顶升单元13003由电机带动丝杆实现收纳弹匣单元13001快速升降，完成收纳弹匣单元13001每一层的切换，由滚轮单元13002上的传感器检测料盘的到位信息，为了实现快速准确收料，并将料盘放入收纳弹匣，由电机提供动力，实现成品收纳弹匣的快速升降，利用接近传感器快速感应的方式，实现成品托盘的准确定位，快速逐层升降料盘进行产品收料，实现料盘的快速逐层升降和成品托盘的到位检测。

在实际操作的过程中，前置缓存室机构1001将产品抽真空充氮气后，后密封门机构1002打开密封门，料盘缓存及移载机构1003将料盘从前置缓存室机构1001拉出，料盘全部拉出后密封门机构1002关闭密封门，倒手机构 1004的一级倒手单元将料盘从料盘缓存及移载机构1003轨道上推送到预焊机构1005的预焊载盘单元上，由预焊机构1005的料斗供料、横移单元转运、归正单元进行归正、上方相机和下方相机进行位置判定后，点焊单元对产品实现精确的点焊，2套预焊机构1005分别完成半盘产品的点焊，二级倒手单元负责2套预焊机构1005之间料盘的传递，点焊完成后，三级倒手单元将料盘从预焊机构1005的轨道上推送到长边封焊机构1006的封焊载盘单元上，封焊载盘单元带动料盘到达工作位置，电极移载单元带动第一封焊电极单元到达产品上方，第一封焊电极单元上的电极下降接触产品，封焊载盘单元配合第一封焊电极单元完成滚焊运动，滚焊完成后，左缓存室机构1007的左侧密封门打开，四级倒手单元将料盘从长边封焊机构1006的轨道上推送到左缓存室机构1007的滚轮上，滚轮在电机带动下旋转将料盘运送到工作位置，左侧密封门关闭，机械泵启动抽取真空到达设定值，平衡阀打开平衡压力后，右侧密封门打开，推盘单元10002的推杆推动料盘进入短边封焊机构1008 的XY向料盘移载单元，推盘到位后左缓存室机构1007的右侧密封门关闭， XY向料盘移载单元的X轴向右移动同时轨道沿凸轮轨道向下移动压紧并定位料盘，X轴到达工作位，第二封焊电极单元的电极下降，XY向料盘移载单元的Y轴配合第一封焊电极单元完成滚焊运动，滚焊完成后，XY向料盘移载单元带动料盘移动到右位，右缓存室机构1009的左侧密封门打开，第二拉盘单元12002的拉杆拉动料盘进入右缓存室，右缓存室机构1009的左侧密封门关闭，放气阀启动充入氮气到达设定值后，右侧密封门打开，滚轮在电机带动下旋转将料盘运送出右缓存室，料盘送出后右侧密封门关闭，收纳机构1010的滚轮承接传送从右缓存室机构1009送出的料盘，到达收纳弹匣内，传感器检测料盘的到位信息，确认料盘到位后，顶升单元由电机带动丝杆实现收纳弹匣快速上升，切换到收纳弹匣下一层。

本实用新型采用画像处理系统，对LID的外形和PKG的可阀环进行识别、自动调整位置后，搭载LID，除添加料盘、从收纳装置取出完成品托盘和定期添加上盖到喂料器以外，其他所有动作(搬送、焊接及异常处理)都是全自动运行，预焊和X边焊接均在氮气环境中进行,Y边焊接在真空封焊室内进行，封装后的产品在专用托盘装载状态下进入弹匣内。对预焊接和封焊电流进行测量及判定，当电流值超出指定范围时会发出警报通知。可阀环发现异常(大的灰尘附着或大的划伤等)，将被视为画像不良，不进行上盖搭载。预焊、封焊的电源使用专用电源，提高了封装性能和焊接监控性能,有焊接电流升高、降低的缓坡功能，使封效果更加良好。

最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高速全自动真空封焊机，包括机架，其特征在于：所述机架上设置有前置缓存室机构，所述前置缓存室机构的一侧设置有后密封门机构，所述后密封门机构的一侧设置有料盘缓存及移载机构，所述料盘缓存及移载机构的一侧设置有倒手机构，所述倒手机构的一侧设置有预焊机构，所述预焊机构的一侧设置有长边封焊机构，所述长边封焊机构的一侧设置有左缓存室机构，所述左缓存室机构的一侧设置有短边封焊机构，所述短边封焊机构的一侧设置有右缓存室机构，所述右缓存室机构的一侧设置有收纳机构。

2.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述前置缓存室机构包括真空缓存室单元和缓存室弹匣单元，缓存室弹匣单元安装在真空缓存室单元内，缓存室弹匣单元为双弹匣机构。

3.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述后密封门机构包括防掉落单元、密封门上下移动单元、密封门压紧单元和前置立板单元，防掉落单元和密封门上下移动单元安装在所述前置立板单元上，密封门压紧单元安装在密封门上下移动单元上，防掉落单元为气缸结构，密封门上下移动单元为无杆气缸结构，密封门压紧单元为气缸结构。

4.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述料盘缓存及移载机构包括缓存弹匣单元、第一拉盘单元、Z向移载单元、Y向移载单元和X向移载单元，Y向移载单元和缓存弹匣单元安装在X向移载单元上，Z向移载单元安装在Y向移载单元，第一拉盘单元安装在Z向移载单元上，缓存弹匣单元为双弹匣结构，Z向移载单元、Y向移载单元和X向移载单元为电机直线模组结构。

5.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述倒手机构包括一级倒手单元、二级倒手单元、三级倒手单元和四级倒手单元，倒手单元为电机、同步带轮和同步带结构。

6.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述预焊机构包括料斗单元、归正单元、下CCD单元、预焊载盘单元、上CCD单元、点焊单元、移载单元和横移单元，点焊单元和上CCD单元安装在移载单元上方，归正单元为电机凸轮结构，预焊载盘单元为电机直线模组和轴承结构，移载单元为直线电机结构，点焊单元为负压吸嘴结构和恒重加压结构，横移单元为电机直线模组、齿轮齿条和中空电机结构。

7.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述长边封焊机构包括电极移载单元、移载支撑单元、第一封焊电极单元、封焊载盘单元和载盘支撑单元，封焊电极单元安装在电极移载单元上，电极移载单元安装在移载支撑单元上，封焊载盘单元安装在载盘支撑单元上，电极移载单元为电机直线模组结构，封焊电极单元为凸轮和恒重加压结构，封焊载盘单元为电机直线模组和气缸结构。

8.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述左缓存室机构包括连接板单元、推盘单元和左低真空室单元，连接板单元安装在左低真空室单元侧面，推盘单元安装在左低真空室单元内，推盘单元为电机、同步带轮、同步带和气缸结构。

9.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述短边封焊机构包括封焊电极单元、XY向料盘移载单元、高真空室单元和真空室支撑单元，XY向料盘移载单元和封焊电极单元安装在高真空室单元内，高真空室单元安装在真空室支撑单元上，封焊电极单元为凸轮和恒重加压结构，XY向料盘移载单元为电机直线模组和凸轮结构，高真空室单元为分子泵和机械泵结构。

10.根据权利要求1所述的一种高速全自动真空封焊机，其特征在于：所述右缓存室机构包括右低真空室单元、第二拉盘单元，第二拉盘单元安装在右低真空室单元内，第二拉盘单元为电机、同步带轮、同步带和气缸结构；收纳机构包括收纳弹匣单元、滚轮单元和顶升单元，滚轮单元和收纳弹匣单元安装在所述顶升单元上，滚轮单元为电机驱动同步带轮和同步带结构，顶升单元为电机丝母丝杠结构。

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