CN214569067U - 全自动大气等离子处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于等离子处理领域，提供了一种全自动大气等离子处理系统。包括机体、搬运区域、加工组件和传送板；其中，所述搬运区域包括入料区、入料传送区、等离子处理区、出料传送区和出料区。本实用新型的优点在于：可通过机械臂实现在清洗时自动取放隔板，不需要操作人员抽取隔板和放置隔板，提高了工作效率。

Description

全自动大气等离子处理系统

技术领域

本实用新型属于等离子处理领域，尤其涉及一种全自动大气等离子处理系统。

背景技术

等离子处理是一种高科技技术，也叫等离子表面处理仪，利用等离子体对板材表面进行加工处理，通常应用于线路板、手机触摸屏和玻璃等行业。等离子体的“活性”组分包括离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等，等离子处理就是通过利用这些活性组分的性质来处理基片表面，从而实现在板材表面改性，增加表面张力，提高达因值。现有技术中的大气等离子处理机中，通常使用人工的方式来进行取走和放置隔板，这样大大降低了清洗效率，并且等离子加工组件在运行时还会产生臭氧等气体，长时间暴露于此种环境会对工人的健康产生影响。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种全自动大气等离子处理系统，旨在解决现有技术中需要人工拿取和放置隔板的问题。

本实用新型实施例是这样实现的，一种全自动大气等离子处理系统，包括机体、搬运区域、加工组件和传送板；其中，所述搬运区域包括入料区、入料传送区、等离子处理区、出料传送区和出料区；所述加工组件包括入料装置、入料机械臂、等离子处理装置、出料机械臂、出料装置和隔板机械臂。

进一步地，所述入料区和所述入料传送区通过所述入料机械臂连接，所述入料传送区、所述等离子处理区和所述出料传送区通过所述传送板连接，所述出料传送区和所述出料区通过所述出料机械臂连接，所述入料区和所述出料区通过所述隔板机械臂连接。

进一步地，所述入料装置包括自动升降机械臂、支撑板、滑轨和定位柱。

进一步地，所述机械臂包括机械手、安装结构、滑轨结构和传送带结构。

进一步地，所述机械手包括真空吸嘴和滑轨，所述真空吸嘴上安装有弹簧。

进一步地，加工材料与隔板交错放置堆叠。

进一步地，所述隔板为软质材料。

进一步地，所述传送板包括等离子加工区域和非等离子加工区域，所述非等离子加工区域传送板传送速度大于所述等离子加工区域传送板传送速度。

进一步地，所述机体还包括可视窗、操作按钮、通风窗、操作界面、警报灯和万向轮。

本实用新型的优点在于：可通过机械臂实现在清洗时自动取放隔板，不需要操作人员抽取隔板和放置隔板，提高了工作效率。另外，在样品板表面垫放隔板可防止板面表面划伤。

附图说明

图1是本实用新型提供的全自动大气等离子处理系统的结构示意图；

图2是本实用新型提供的全自动大气等离子处理系统的第二结构示意图；

图3是全自动大气等离子处理系统的搬运区域结构示意图；

图4是全自动大气等离子处理系统的加工组件结构示意图；

图5是全自动大气等离子处理系统的加工组件第二结构示意图；

图6是全自动大气等离子处理系统的加工组件主视图；

图7是全自动大气等离子处理系统的加工组件后视图；

图8是全自动大气等离子处理系统的入料机械臂结构示意图；

图9是全自动大气等离子处理系统的入料机械手结构示意图；

图10是全自动大气等离子处理系统的隔板机械臂结构示意图；

图11是全自动大气等离子处理系统的隔板吸取手结构示意图；

图12是全自动大气等离子处理系统的传送板结构示意图；

图13是全自动大气等离子处理系统的传送板俯视图。

具体实施方式

为了使本实用新型要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型提供了一种全自动大气等离子处理系统，如图1-4所示，包括机体1、入料口2、出料口3、搬运区域4和加工组件5。其中，机体1包括观察窗11、操作界面12、操作按钮13、通风窗14，报警灯15。入料口2位于机体1一侧，出料口3位于机体1与入料口2相对的一侧。观察窗口11位于机体1侧表面，具体地，观察窗口11位于操作界面12的左右两侧以及入料口2和出料口3的旁边，操作界面12位于机体1表面，操作按钮13位于操作界面12下方，通风窗14位于机体1上表面，报警灯15设置于机体1的顶角处。本说明中的方位词“上”、“下”、“左”、“右”等并不用于限定零部件位置，仅用于描述说明。

进一步地，机体1形状为矩形，内部空心，通过在钢结构机架周围焊接钢片封闭机体，入料口2和出料口3处的钢片可上下移动或左右移动，将入料口2和出料口3封闭。

进一步地，观察窗11数目不少于一个，通过设置观察窗可以方便操作人员随时观察设备运行情况，当设备运行出现故障时及时暂停设备，减小损失。

进一步地，观察窗11可设置成多个并排的小窗口，也可将多个小窗口合成一个大窗口。

进一步地，操作界面12为触摸屏结构，通过设置操作界面12和操作按钮13可以使用户方便地操作该设备。

进一步地，通风窗14数目不少两个，在本实施例中数目为四个，通风扇14表面有可拆卸式面盖，通过设置通风窗可使设备内产生的臭氧和热量及时排出，防止设备内部过热，造成设备故障。

进一步地，报警灯15有三种颜色光源，分别为红光、黄光和绿光。当设备运行异常时，报警灯15发出红光，并发出警报声；当设备正常运行时，报警灯15发出绿光；当设备处于待机状态时，报警灯发出黄光。

进一步地，机体1内部结构如图3-7所示，包括搬运区域4和加工组件5，其中，搬运区域4包括入料区41、入料传送区42、等离子处理区43、出料传送区44和出料区45；加工组件5包括入料装置51、入料机械臂52、等离子处理装置53、出料机械臂54、出料装置55、隔板机械臂56、电池组件57和收纳仓58。

进一步地，入料区41和入料传送区42通过入料机械臂52连接，入料传送区42、等离子处理区43和出料传送区44通过传送板6(图12)连接，出料传送区44和出料区45通过出料机械臂54连接。

进一步地，入料装置51位于入料区2下方，包括自动升降机械臂、支撑板、滑轨和定位柱，自动升降机械臂底部与机柜1连接，顶部与支撑板连接，通过设置自动升降机械臂，可使顶部的支撑板根据需要上下移动。

进一步地，自动升降机械臂安装有重力传感器，可根据顶部的支撑板上所放的样品板重量来自动调节升降高度。

进一步地，支撑板内有多条水平缝隙，缝隙宽度略宽于定位柱。

进一步地，滑轨位于支撑板下部，滑轨与定位柱连接，通过设置滑轨和缝隙，可使定位柱沿缝隙移动。

通过在入料装置51处设置定位柱和支撑板，可使放置在支撑板上的样品板位置固定，使得入料机械臂52可准确吸附住样品板，避免入料机械臂52吸附位置偏移，造成样品板在机械臂运输途中脱落。

需要说明的是，操作人员在设备运行前放入入料装置51上的支撑板的物品包括隔板和待处理样品板，隔板和样品板交错放置，叠成一摞。即，第一层为隔板，第二层为样品板，第三层为隔板，第四层为样品板，以此循环。

进一步地，隔板为软质材料，优选胶垫，可防止隔板将待处理样品板刮花。

进一步地，入料机械臂52位于入料区2和入料传送区42上方，如图8和图9所示，包括入料机械手521、第一安装结构522、第一滑轨结构523、第一传送带结构524、第一理线槽525、第一理线槽支架526和第一电机527；其中，入料机械手521包括入料真空吸嘴5211、入料滑轨5212和入料箱体。

进一步地，入料真空吸嘴5211数目不少于两个，真空吸嘴上安装有传感器，用于检测样品板是否处于预定位置，吸嘴与滑轨通过连接板连接，可沿滑轨运动轨迹移动。

进一步地，真空吸嘴上缠绕有弹簧，通过在吸嘴上缠绕弹簧，可使吸嘴上下抖动，抖落堆叠在一起的样品板，保证每次吸附的样品板数目为一块。

进一步地，滑轨组5212数目为三个，包括一组平行滑轨和一条与平行滑轨垂直的滑轨，一组平行滑轨与吸嘴连接，与之垂直的滑轨与平行滑轨连接，通过三条滑轨配合，可使入料真空吸嘴5211在水平面内移动。

进一步地，入料箱5213位于滑轨组5212上方，入料箱5213底部设置有可上下伸缩的气缸，气缸与滑轨组5121最上方的滑轨连接，带动滑轨组5212做竖直方向上的移动，进而使吸嘴5211带动样品板上下移动。通过入料箱5213与滑轨组5212的配合，可使得样品板在X,Y,Z轴三个方向上移动。

进一步地，入料机械手521通过第一安装结构522安装于第一滑轨结构523上，第一滑轨结构523中间设置有第一传送带结构524，第一滑轨结构523一侧设置有第一理线槽支架526，第一理线槽525安装于第一理线槽526内，通过设置第一理线槽525，可使得设备中的电线更有条理，不易打结；第一电机527与第一传送带结构524连接，通过设置第一电机527，可为入料机械臂52提供动力。

通过设置入料机械臂52，可将位于入料装置51的支撑板上的样品板传送到入料传送区42，位于入料传送区42的样品板被传送板6(图12)传送至等离子处理区域43，进行等离子处理。

进一步地，等离子处理装置53的数目为两组，等离子处理装置53位于等离子处理区，具体位于传送板6(图12)中间区域的上方和下方。

进一步地，位于传送板6(图12)中间区域上方的等离子处理器喷头朝下，位于传送板6(图12)中间区域下方的等离子处理器喷头朝上，工作时两组等离子处理装置53同时工作，使得样品板上下两面被均匀处理。样品板经过充分等离子处理后，被传送板6(图12)传送至出料传送区44。

进一步地，出料机械臂54位于出料传送区44和出料区45上方，连接出料传送区44和出料区45，出料机械臂结构与入料机械臂52相同，在此不再赘述。

出料机械臂54负责将等离子处理好的样品板吸起，传送至出料区45，并放置在出料装置55的支撑板上。

进一步地，出料装置55结构与入料装置51相似，不同之处在于出料装置55取消了滑轨及滑轨上的定位柱，出料装置55上的支撑板为完整板，待设备运行结束后，操作人员可将支撑板上的样品板统一收集。

进一步地，隔板机械臂56位于入料区41和出料区45上方，连接入料区41和出料区45。如图10和图11所示，隔板机械臂56包括隔板吸取手561、第二安装结构562、第二滑轨结构563、第二传送带结构564、第二理线槽565、第二理线槽支架566和第二电机567；其中，隔板吸取手561包括隔板真空吸嘴5611，第二滑轨组5612，安装支架5613。

进一步地，隔板真空吸嘴5611旁设置有传感器，用于识别隔板；隔板真空吸嘴5611安装于第二滑轨组5612底部，安装支架5613内安装有气缸，可进行上下运动，气缸底部连接第二滑轨组5612，与入料机械臂52和出料机械臂54类似，隔板真空吸嘴5611可X,Y,Z轴方向上运动。

通过设置隔板机械臂56，可以识别并将位于入料装置51的支撑板上方的隔板直接传送到出料装置55的支撑板上，实现隔板和样品板的分离和自动传送。

进一步地，电池组件57位于整个机柜1内部的下方，一共有八个电池组件，八个电池组件平均分为两组，左右对称设置在下方的等离子处理器53两侧。

进一步地，两侧的电池组件57分别通过分隔板与入料装置51和出料装置55分隔开(分隔板图中未显示)。

进一步地，收纳仓58形状为矩形仓体，位于下方的等离子处理装置53后方，可将设备的电器元件收纳与收纳仓58，方便维护。

进一步地，如图12和13所示，传送板6包括单排滚轮61、双排滚轮62和单排管63，其中，单排滚轮61位于入料传送区42，双排滚轮62位于等离子处理区43，单排管63位于出料传送区44。

进一步地，单排滚轮61和单排管63的传送速度高于双排滚轮62，通过设置不同的速度，可以缩短样品板在上料和出料的时间，又保证样品板被充分的处理。

运行时，操作人员将隔板和待处理样品板对准定位柱，放置于入料装置的支撑板上，通过操作按钮和操作面板选择合适的处理模式，打开开关即可。隔板机械臂和入料机械臂会对位于最上方的板进行识别，如果是隔板，隔板机械臂通过隔板真空吸嘴吸起隔板，并抖动几秒，防止两块板卡合，然后将隔板直接传送至出料装置的支撑板上，放下，隔板机械臂回到原位；如果是待处理样品板，入料机械臂通过入料真空吸嘴吸起样品板，并抖动几秒，防止两块板卡合，然后将样品板传送至传送板的单排滚轮处，放下，入料机械臂回到原位，样品板被传送板传送至等离子处理区，经过等离子处理后传送至出料传送区，被出料机械臂吸起，传送至出料装置的支撑板上。需要注意的是，由于入料机械臂、出料机械臂和隔板机械臂每次上升或下降的距离已经设置好参数固定，因此每次吸取样品板或隔板后，入料装置的自动升降机械臂会自动上升一定距离，保证最上方材料每次位于同一高度，以便机械臂吸取，同理，出料装置也会在每次被放置隔板或样品板后下降一定距离。另一需要注意的是，入料机械臂、出料机械臂、传送板和隔板机械臂同步运行，但隔板机械臂运行两个来回，即将隔板从入料装置传送到出料装置并回到原位的时间等于入料机械臂、传送板、出料机械臂运行一次，即将一块样品板从入料装置运输到传送板、经过处理、再传送至出料装置的时间，这样设置可保证在出料装置的支撑板上的隔板和样品板也是交错放置，叠成一摞。

本实用新型的优点在于：可通过机械臂实现在清洗时自动取放隔板，不需要操作人员抽取隔板和放置隔板，提高了工作效率。另外，在样品板表面垫放隔板可防止板面表面划伤。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种全自动大气等离子处理系统，其特征在于，包括机体、搬运区域、加工组件和传送板；其中，所述搬运区域包括入料区、入料传送区、等离子处理区、出料传送区和出料区；所述加工组件包括入料装置、入料机械臂、等离子处理装置、出料机械臂、出料装置和隔板机械臂。

2.如权利要求1所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述入料区和所述入料传送区通过所述入料机械臂连接，所述入料传送区、所述等离子处理区和所述出料传送区通过所述传送板连接，所述出料传送区和所述出料区通过所述出料机械臂连接，所述入料区和所述出料区通过所述隔板机械臂连接。

3.如权利要求1所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述入料装置包括自动升降机械臂、支撑板、滑轨和定位柱。

4.如权利要求1所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述机械臂包括机械手、安装结构、滑轨结构和传送带结构。

5.如权利要求4所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述机械手包括真空吸嘴和滑轨，所述真空吸嘴上安装有弹簧。

6.如权利要求1所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，加工材料与隔板交错放置堆叠。

7.如权利要求6所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述隔板为软质材料。

8.如权利要求1所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述传送板包括等离子加工区域和非等离子加工区域，所述非等离子加工区域传送板传送速度大于所述等离子加工区域传送板传送速度。

9.如权利要求1-8中任一项所述的全自动大气等离子处理系统，其特征在于，所述机体还包括可视窗、操作按钮、通风窗、操作界面、警报灯和万向轮。

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