CN214567118U - Pecvd用石墨舟移送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及石墨舟运输设备技术领域，尤其是涉及一种PECVD用石墨舟移送装置，包括箱体以及设置在箱体内缓存架和两个移送机构，所述缓存架用于暂存石墨舟，所述缓存架位于两个移送机构之间，所述移送机构上设置有用于承载石墨舟的载料板，所述移送机构用于驱动载料板，将石墨舟移送至缓存架上，通过移送机构和缓存架的设计，实现石墨舟的更换和运输，无需操作人员等待，实现石墨舟生产加工的连续化，提高了生产的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及石墨舟运输设备技术领域，尤其是涉及一种PECVD用石墨舟移送装置。
背景技术
PECVD是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。现有的PECVD加工设备仅包括炉子以及和炉子对应的上料机构，实际生产过程中，石墨舟加工完成后需要等待操作人员将已加工完成的石墨舟从上料机构上取下，再将待加工石墨舟运输至上料机构上并运输至炉子内，导致石墨舟的输送效率低，且炉子闲置时间长生产效率降低。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中PECVD用石墨舟装卸运输效率低以及炉子闲置生产效率低的问题，提供一种PECVD用石墨舟移送装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种PECVD用石墨舟移送装置，包括箱体以及设置在箱体内缓存架和两个移送机构，所述缓存架用于暂存石墨舟，所述缓存架位于两个移送机构之间，所述移送机构上设置有用于承载石墨舟的载料板，所述移送机构用于驱动载料板，将石墨舟移送至缓存架上，通过移送机构和缓存架的设计，实现石墨舟的更换和运输，无需操作人员等待，实现石墨舟生产加工的连续化，提高了生产的效率。
为了解决移送机构结构强度的问题，进一步包括两个所述移送机构之间设置有支撑杆，通过支撑杆连接两个移送机构一方面能够增加其结构强度，另一方面能够保证两个移送机构的同步性，利于石墨舟的稳定运输。
为了解决石墨舟运输的问题，进一步包括所述移送机构包括升降组件和平移组件，所述升降组件包括第一滑轨和滑动安装在第一滑轨上的第一滑块，所述第一滑轨沿竖直方向安装在箱体内，所述平移组件包括第二滑轨和滑动安装在第二滑轨上的第二滑块，所述第二滑轨和第一滑块固定连接，且所述第二滑轨向箱体内延伸，所述第二滑块和载料板固定连接。
为了解决石墨舟放置的问题，进一步包括所述箱体内设置有用于存放石墨舟的放置台，所述放置台位于两个移送机构之间，且所述放置台位于缓存架下方，放置台的设计能够进一步增加石墨舟的过度，便于移送机构持续工作，提高效率。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种PECVD用石墨舟移送装置，通过移送机构和缓存架的设计，在空闲时将待加工的石墨舟放置在缓存架上，在石墨舟加工完成后将其取下并更换缓存架上，提供了过度阶段从而减少了等待时间，实现石墨舟生产加工的连续化，提高了生产的效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型A-A处无石墨舟状态的剖视结构示意图。
图中：1、箱体，2、移送机构，21、升降组件，211、第一滑轨，212、第一滑块，22、平移组件，221、第二滑轨，222、第二滑块，3、缓存架，4、石墨舟，5、载料板，6、支撑杆，7、放置台。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1是本实用新型的结构示意图，一种PECVD用石墨舟移送装置，包括箱体1以及设置在箱体1内两个移送机构2和缓存架3，所述缓存架3用于暂存石墨舟4，所述缓存架3位于两个移送机构2之间，所述移送机构2上设置有用于承载石墨舟4的载料板5，所述移送机构2用于驱动载料板5，将石墨舟4移送至缓存架3上，通过移送机构2和缓存架3的设计，在空闲时将待加工的石墨舟4放置在缓存架3上，在石墨舟4加工完成后将其取下并更换缓存架3上，提供了过度阶段从而减少了等待时间，实现石墨舟4生产加工的连续化，提高了生产的效率。
如图1所示，两个所述移送机构2之间设置有支撑杆6，通过支撑杆6连接两个移送机构2一方面能够增加其结构强度，另一方面能够保证两个移送机构2的同步性，利于石墨舟4的稳定运输。
如图2所示，所述移送机构2包括升降组件21和平移组件22，所述升降组件21包括第一滑轨211和滑动安装在第一滑轨211上的第一滑块212，所述第一滑轨211沿竖直方向安装在箱体1内，所述平移组件22包括第二滑轨221和滑动安装在第二滑轨221上的第二滑块222，所述第二滑轨221和第一滑块212固定连接，且所述第二滑轨221向箱体1内延伸，所述第二滑块222和载料板5固定连接。
如图1和图2所示，所述箱体1内设置有用于存放石墨舟4的放置台7，所述放置台7位于两个移送机构2之间，且所述放置台7位于缓存架3下方，放置台7的设计能够进一步增加石墨舟4的过度，便于移送机构持续工作，提高效率。
使用时，操作人员将待加工石墨舟4放置在放置台7后，移送机构2将两个载料板5分别移动至石墨舟4的一侧槽口处从而将其托起，通过升降组件21中第一滑轨211和第一滑块212的配合，改变石墨舟4的高度位置，通过平移组件22中第二滑轨221和第二滑块222的配合，改变石墨舟4的水平位置，从而将石墨舟4移送至缓存架3上，将石墨舟4移动至缓存架3的放置区上方，然后第一滑块212下移直至石墨舟4接触到缓存架3的放置区，继续下移一端使得载料板5和石墨舟4脱离接触，第二滑块222后移将载料板5移出，第一滑块212下降开始下一个移送工序。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (4)
1.一种PECVD用石墨舟移送装置，其特征是，包括箱体(1)以及设置在箱体(1)内缓存架(3)和两个移送机构(2)，所述缓存架(3)用于暂存石墨舟(4)，所述缓存架(3)位于两个移送机构(2)之间，所述移送机构(2)上设置有用于承载石墨舟(4)的载料板(5)，所述移送机构(2)用于驱动载料板(5)，将石墨舟(4)移送至缓存架(3)上。
2.如权利要求1所述的PECVD用石墨舟移送装置，其特征在于：两个所述移送机构(2)之间设置有支撑杆(6)。
3.如权利要求1所述的PECVD用石墨舟移送装置，其特征在于：所述移送机构(2)包括升降组件(21)和平移组件(22)，所述升降组件(21)包括第一滑轨(211)和滑动安装在第一滑轨(211)上的第一滑块(212)，所述第一滑轨(211)沿竖直方向安装在箱体(1)内，所述平移组件(22)包括第二滑轨(221)和滑动安装在第二滑轨(221)上的第二滑块(222)，所述第二滑轨(221)和第一滑块(212)固定连接，且所述第二滑轨(221)向箱体(1)内延伸，所述第二滑块(222)和载料板(5)固定连接。
4.如权利要求1所述的PECVD用石墨舟移送装置，其特征在于：所述箱体(1)内设置有用于存放石墨舟(4)的放置台(7)，所述放置台(7)位于两个移送机构(2)之间，且所述放置台(7)位于缓存架(3)下方。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120806650.0U CN214567118U (zh) | 2021-04-19 | 2021-04-19 | Pecvd用石墨舟移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120806650.0U CN214567118U (zh) | 2021-04-19 | 2021-04-19 | Pecvd用石墨舟移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214567118U true CN214567118U (zh) | 2021-11-02 |
Family
ID=78326370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120806650.0U Active CN214567118U (zh) | 2021-04-19 | 2021-04-19 | Pecvd用石墨舟移送装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN214567118U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115947617A (zh) * | 2023-01-05 | 2023-04-11 | 通威太阳能(眉山)有限公司 | 一种石墨舟的洗烘镀方法及系统 |
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2021
- 2021-04-19 CN CN202120806650.0U patent/CN214567118U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115947617A (zh) * | 2023-01-05 | 2023-04-11 | 通威太阳能(眉山)有限公司 | 一种石墨舟的洗烘镀方法及系统 |
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