CN214361657U - 一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，所述夹具包括：两个平行设置的滑轨，所述滑轨的两端设置有长条孔；两个把条装夹基座，所述把条装夹基座设置的两端设置有螺孔，设置有固定螺丝穿过所述长条孔固定连接在所述螺孔中，所述把条装夹基座固定在两个所述滑轨之间，两个所述把条装夹基座之间距离略大于把条的长度；两层玻璃挡片；两个盖片。本实用新型本提出的镀膜夹具的设计方案是由可拆分的框架和滑块共同组成把条装叠框架，把条的位置在对准条的配合下形成的把条镀膜夹具。这个夹具具有把条装叠简单，把条的条长兼容性好，利于激光器芯片的大批量端面镀膜生产的需求。

Description

一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具

技术领域

本实用新型属于半导体激光器制造领域，具体涉及一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具。

背景技术

半导体激光器具有体积小、重量轻、运转可靠、效率高等特点。由于其可采用简单的电流注入的方式来实现光电转换，其工作电流和电压与集成电路兼容，因而可以与之单片集成。并且还可以在高达GHz的频率下直接进行电流调制从而获得高速调制的激光信号输出。由于这些优点，半导体激光器在激光通信、光存储、光陀螺、激光打印、测距以及雷达等领域得到了广泛的应用。

在半导体激光器的制造过程中，当激光器晶圆在完成了表面结构的半导体工艺后，会解理成激光器把条。解理的激光器把条需要在其解理的两个暴露的激光器端面尽量减少在操作中的空气暴露时间，尽快进行具有特定反射率的单层和多层介质膜镀膜，以实现优化的端面输出光功率，和提高激光器的使用寿命。

激光器把条的端面镀膜采用把把条堆叠在镀膜夹具里，镀膜夹具夹紧把条后装置在介质膜蒸镀设备中，在高真空环境下在把条暴露的端面上形成所需介质膜镀膜。目前普遍采用的把条镀膜夹具采用两种设计方案。

第一种方案是把把条堆叠放在一个光滑的平面内，把条堆叠两侧用机械方式夹紧，形成把条镀膜夹具。这种方案，由于把条的一个暴露的端面接触夹具内的安装平面，容易造成端面的污染和损坏，进一步影响激光器的性能和成品率。

第二种方案是把把条在固定的框架内堆叠，把条的两侧再施加机械夹紧方式，形成把条镀膜夹具。这种方案，需要把条必须解理切割成固定的条长，才能装叠在现有的夹具里，降低了工艺的兼容性和批量生产的易操作性。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，本实用新型部分实施例能够可以方便的装夹激光器芯片把条，防止在激光器芯片把条的装夹过程中对激光器芯片端面的污染和破坏，并且可以对激光器把条的两个端面连续的完成激光器的端面介质膜镀膜，减少激光器把条的暴露时间，以提高激光器产品的稳定性和可靠性。同时激光器把条夹具可以适应不同批次时，激光器把条可以有不同的把条长度，提高夹具的工艺兼容性，利于激光器把条的大批量镀膜工艺生产。并且激光器把条夹具还可以有效的降低夹具表面对镀膜介质材料的二次散射进入激光器芯片的镀膜端面，而产生的端面厚度的偏差和不均匀性。从而提高端面厚度的均匀性和可控性。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，所述夹具包括：两个平行设置的滑轨，所述滑轨的两端设置有长条孔；两个把条装夹基座，所述把条装夹基座设置的两端设置有螺孔，设置有固定螺丝穿过所述长条孔固定连接在所述螺孔中，所述把条装夹基座固定在两个所述滑轨之间，两个所述把条装夹基座之间距离略大于把条的长度，两个所述把条装夹基座相邻的一侧设置有相对设置的沟槽；两层玻璃挡片，所述玻璃挡片的两端设置在所述沟槽中，两层所述玻璃挡片之间夹设把条堆叠；两个盖片，分别固定在两个所述把条装夹基座的上方，所述盖片具有用来抵接所述玻璃挡片的边沿。

优选地，所述把条装夹基座与所述盖片上设置有相对应的螺孔，设置有固定螺丝将所述盖片固定在所述把条装夹基座上。

优选地，所述把条装夹基座与所述盖片上设置有相对应的通孔，设置有圆柱或者圆柱壳状的定位条将所述盖片定位在所述把条装夹基座上。

优选地，两个所述把条夹持基座在装夹把条的一侧呈30-60度的倾斜的斜角。

优选地，两个滑轨的中间段有一个朝向镀膜方向的缺口。

优选地，所述沟槽宽0.5-1.0mm，深0.1-0.5mm。

优选地，所述盖片上设置有便于镊子夹取的移动杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：本专利提出的镀膜夹具的设计方案是由可拆分的框架和滑块共同组成把条装叠框架，把条的位置在对准条的配合下形成的把条镀膜夹具。这个夹具具有把条装叠简单，把条的条长兼容性好，利于激光器芯片的大批量端面镀膜生产的需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型专利的一个实例装配体图。

图2为把条条长控制组件中的滑轨结构图。

图3为把条条长控制组件中的把条装夹基座结构图。

图4为把条夹持组件中的把条夹持盖片结构图。

图5为把条夹持组件中的把条夹持盖片移动杆结构图。

图6为在把条条长控制组件和把条夹持组件上，装夹玻璃挡片和把条堆叠后的示意图。

图7为整个把条夹具，在装夹把条的工艺中，各个部件相互组装的结构爆炸示意图。

1-盖片；2-移动杆；3-把条装夹基座；4-滑轨；5-固定螺丝；6-定位条；7-玻璃挡片；8-把条堆叠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-7所示，一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，包括把条条长控制组件、把条夹持组件和把条镀膜防止遮蔽结构。

其中把条条长控制组件由两个滑轨和两个把条装夹基座组成。把条装夹基座通过两侧突出的部分和滑轨的开槽相吻合，进而可以放置和移动把条装夹基座到滑轨上所需的位置。两个把条装夹基座相对的边缘间距离在调节到和所需装夹的激光器把条长度一致时，就可以把把条装夹基座通过匹配螺丝固定在滑轨上。

其中把条夹持组件由把条夹持基座、把条夹持盖片、定位条、盖片移动杆、以及固定螺丝组成。把条装夹基座的边缘处加工成一个宽0.5-1.0mm，深0.1-0.5mm的沟槽，可以放置把条的两端在这个沟槽里。两个把条装夹基座有沟槽的一边互相相对的插入滑轨中，在把条装夹基座在滑轨上固定之后，把需装夹的激光器把条和前后端分别的挡片有序地堆叠在两个相对的把条装夹基座之间。然后把把条夹持盖片放置在把条堆叠上。把条夹持盖片可以通过盖片上的移动杆来移动位置，以及盖片的放置和取下。盖片的位置由穿过把条夹持基座和盖片的定位条决定，然后用固定螺丝固定盖片在把条夹持基座上。这样可以快速准确的固定把条堆叠在把条夹持盖片和把条装夹基座之间，并且可以防止把条端面镀膜时，把条夹持盖片受震动的影响而滑动位置，进而导致把条堆叠松散和脱落。

其中把条镀膜防止遮蔽结构，是对上述构造进行的进一步的改进。在把条装夹基座的装夹把条一侧在把条装夹的沟槽下方有一个30-60度倾斜的倾角。同时在滑轨的中间段靠近把条堆叠处有一个朝向镀膜方向的缺口。这些位置和把条堆叠很接近，减少这些位置材料的空间占据，可以有效地减少激光器把条镀膜时这些位置带来对镀膜材料的遮挡。同时在镀膜时镀膜材料溅射到这些位置上后，会有部分镀膜材料再次散射到把条镀膜表面，因此减少这些位置材料的空间占据，可以有效地提高激光器把条镀膜层厚度的均匀性和准确性。

对此激光器把条装夹夹具，可以先对把条条长控制组件进行调制和安装。首先把两个把条装夹基座都插入到滑轨的开槽中，两个把条装夹基座的沟槽一侧都朝向滑轨的内侧。用固定螺丝固定一个把条装夹基座在两个滑轨的一端，在确定了需要装夹的把条长度后，用固定螺丝固定另一个把条装夹基座在滑轨的另一端，把条装夹基座的沟槽内边缘的间距比把条长度长0.1-0.2mm，利于接下来把条在把条装夹基座上的顺利堆叠。

进行把条的装夹和堆叠，步骤如下：

1.把固定了的由把条装夹基座和滑轨组成的把条条长控制组件放置在观察用显微镜下，在组件的远离操作人员一侧下部用一个垫片垫高，形成大约10度的倾斜面，利于接下来的把条的堆叠。

2.根据把条的长度和宽度，切割两个玻璃挡片。挡片的长度和把条长度相同，挡片的厚度选择在比把条的宽度厚0.05-0.1mm，挡片的宽度在2-3mm之间。

3.把其中一个玻璃挡片首先放置在把条装夹基座的沟槽内靠操作人员一侧，然后在显微镜的观察之下，顺序地把把条堆叠在玻璃挡片的后面。完成所有把条堆叠后，把另一个玻璃挡片放置在最后一个把条的后面。

4.用镊子抓住盖片上的移动杆小心地把盖片放置在把条堆叠和玻璃挡片之上。盖片的位置由穿过把条夹持基座和盖片的定位条决定。这时用一个棉签棒从远侧的玻璃挡片后面轻轻推一下把条堆叠，确保把条堆叠夹紧。

5.然后用固定螺丝在把条夹持基座上固定盖片。

6.把条夹具装载完成，可以转移和装载在介质膜蒸镀设备内进行端面镀膜工艺。

在完成激光器把条的端面镀膜工艺后，进行把条的拆卸，步骤如下：

1.把激光器把条夹具放置在观察用显微镜下，小心地松开夹具表面盖片上的四个固定螺丝。用镊子夹着盖片上的移动杆，把盖片从夹具上移开放下。

2.用镊子夹着移走把条堆叠后侧的玻璃挡片。用镊子小心地夹着把条堆叠的尾部没有镀膜的对方，把把条堆叠转移到旁边干净的滤纸上。然后用镊子把把条一个个夹入到收集把条的工作盒内。

3.移走完所有把条后，用镊子把剩下的另一个玻璃挡片从夹具上取下。把这两个玻璃挡片回收到挡片的工作盒内，以供下一次装夹把条时使用。

4.松开把条装夹基座和滑轨间固定的螺丝。这样把条夹具的所有部件都已拆分开来。把夹具的使用部件用酒精布擦拭干净，氮气吹干，以备下一次装夹把条时使用。

通过以上具体实例操作，对激光器把条夹具的功能和调制做了进一步的详细介绍。对此夹具，可以看出其有非常容易操作，易于维护，利于反复使用的特点。并且夹具的可调节性可以满足对把条的不同条长的兼容性。以及夹具上独特的防遮挡结构可以有效地提高镀膜厚度的均匀性和重复性。这些都非常利于激光器把条的大规模端面镀膜的应用。

尽管上述实施例已对本实用新型作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本实用新型的精神以及范围之内基于本实用新型公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本实用新型的精神以及范围之内。

Claims (7)

1.一种应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，所述夹具包括：

两个平行设置的滑轨，所述滑轨的两端设置有长条孔；

两个把条装夹基座，所述把条装夹基座设置的两端设置有螺孔，设置有固定螺丝穿过所述长条孔固定连接在所述螺孔中，所述把条装夹基座固定在两个所述滑轨之间，两个所述把条装夹基座之间距离略大于把条的长度，两个所述把条装夹基座相邻的一侧设置有相对设置的沟槽；

两层玻璃挡片，所述玻璃挡片的两端设置在所述沟槽中，两层所述玻璃挡片之间夹设把条堆叠；

两个盖片，分别固定在两个所述把条装夹基座的上方，所述盖片具有用来抵接所述玻璃挡片的边沿。

2.根据权利要求1所述的应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，所述把条装夹基座与所述盖片上设置有相对应的螺孔，设置有固定螺丝将所述盖片固定在所述把条装夹基座上。

3.根据权利要求2所述的应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，所述把条装夹基座与所述盖片上设置有相对应的通孔，设置有圆柱或者圆柱壳状的定位条将所述盖片定位在所述把条装夹基座上。

4.根据权利要求1所述的应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，两个所述把条夹持基座在装夹把条的一侧呈30-60度的倾斜的斜角。

5.根据权利要求4所述的应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，两个滑轨的中间段有一个朝向镀膜方向的缺口。

6.根据权利要求1所述的应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，所述沟槽宽0.5-1.0mm，深0.1-0.5mm。

7.根据权利要求1所述的应用于端面镀膜的半导体激光器把条装夹夹具，其特征在于，所述盖片上设置有便于镊子夹取的移动杆。

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