CN214359989U - 一种硅棒加工用室内转移设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅棒加工技术领域，且公开了一种硅棒加工用室内转移设备，包括底板，所述底板的底部固定连接有万向轮，所述底板的顶部固定连接有固定板，所述固定板的左侧固定连接有盛放台。该硅棒加工用室内转移设备，通过底板、万向轮、固定板、盛放台、转动管、电机、转轴、升降块、齿条板、转动轴、把手、收缩齿轮、连杆、固定管、第一弧形块和第二弧形块之间的相互配合，可以先通过电机带动升降块移动至所需位置后，再转动把手，使收缩齿轮旋转，从而令齿条板移动，进而将存放的硅棒转移至盛放台上，达到了防止硅棒在转移时发生碰撞的效果，解决了现有的硅棒吊装装置在使用过程中可能会发生碰撞，从而导致硅棒表面受损的问题。

Description

一种硅棒加工用室内转移设备

技术领域

本实用新型涉及硅棒加工技术领域，具体为一种硅棒加工用室内转移设备。

背景技术

硅棒又被称为单晶硅棒，它是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒，可以通过机械加工制成硅片，是一种良好的半导材料，从生成硅棒到制作成硅片中间还有多个步骤，当硅棒在炉膛中提拉成型后，要将其取出存放，之后在需要切割时，才会将存放的硅棒取出并送至加工区域。

现有的硅棒因体积较大，重量较重，通常采用吊装的方式进行转移，但硅棒本身较脆，在吊装的过程中，一旦吊装链条发生晃动，就有可能使硅棒发生摩擦碰撞，使硅棒表面出现擦痕缺陷，从而影响硅棒的使用性能，无法满足使用者安全运输的需求。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅棒加工用室内转移设备，具备防止硅棒在转移时发生碰撞的优点，解决了现有的硅棒吊装装置在使用过程中可能会发生碰撞，从而导致硅棒表面受损的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅棒加工用室内转移设备，包括底板，所述底板的底部固定连接有万向轮，所述底板的顶部固定连接有固定板，所述固定板的左侧固定连接有盛放台，所述底板的顶部固定连接有固定柱和固定轴承，所述固定柱的侧表面活动套接有转动管，所述转动管的侧表面与固定轴承的内部固定连接，所述转动管的侧表面固定套接有从齿轮，所述底板的顶部固定连接有第一防护箱和第二防护箱，所述转动管的侧表面与第一防护箱的内部活动连接，所述第一防护箱和第二防护箱的内部活动连接有转轴，所述转轴的侧表面固定套接有传动齿轮和固定齿轮，所述传动齿轮的侧表面与从齿轮的侧表面啮合。

所述第二防护箱的顶部固定安装有电机，所述电机转动轴的底端固定连接有连接轴，所述连接轴的底端与第二防护箱的内底壁活动连接，所述连接轴的侧表面固定套接有主齿轮，所述主齿轮的侧表面与固定齿轮的侧表面啮合，所述转动管的侧表面螺纹连接有升降块，所述升降块的侧面固定连接有连杆，所述升降块的内部活动连接有齿条板，所述升降块的内部活动连接有转动轴，所述转动轴的侧表面固定套接有把手和收缩齿轮，所述收缩齿轮的侧表面与齿条板的底部啮合，所述齿条板的顶部开设有弧形槽，所述盛放台的顶部通过固定管连接有第一弧形块，所述第一弧形块的顶部铰接有第二弧形块。

优选的，所述第一防护箱的内顶壁开设有第一通孔，所述转动管的侧表面与第一通孔的内部活动连接。

优选的，所述第二防护箱的内底壁与内顶壁均固定连接有第一轴承，所述连接轴的侧表面与第一轴承的内部固定连接，所述第二防护箱的内顶壁开设有第二通孔，所述连接轴的侧表面与第二通孔的内部活动连接。

优选的，所述第二防护箱前后两侧的内壁均开设有第三通孔，所述第三通孔的内部固定连接有第二轴承，所述转轴的侧表面与第二轴承的内部固定连。

优选的，所述固定管的内底壁固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶端固定连接有限位柱，所述限位柱的侧表面与固定管的内部活动连接，所述限位柱的顶端与第一弧形块的底部固定连接。

优选的，所述第一弧形块的顶部与第二弧形块的底部均固定连接有缓冲海绵，所述第一弧形块与第二弧形块的内部活动连接有拉紧螺栓，所述拉紧螺栓的侧表面螺纹连接有锁紧螺母。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅棒加工用室内转移设备，具备以下有益效果：

1、该硅棒加工用室内转移设备，通过底板、万向轮、固定板、盛放台、转动管、电机、转轴、升降块、齿条板、转动轴、把手、收缩齿轮、连杆、固定管、第一弧形块和第二弧形块之间的相互配合，可以先通过电机带动升降块移动至所需位置后，再转动把手，使收缩齿轮旋转，从而令齿条板移动，进而将存放的硅棒转移至盛放台上，达到了防止硅棒在转移时发生碰撞的效果，解决了现有的硅棒吊装装置在使用过程中可能会发生碰撞，从而导致硅棒表面受损的问题。

2、该硅棒加工用室内转移设备，通过盛放台、固定管、缓冲弹簧、限位柱、第一弧形块、第二弧形块、拉紧螺栓和锁紧螺母之间的相互配合，可以通过拉紧螺栓和锁紧螺母将硅棒固定在第一弧形块与第二弧形块所组成的凹槽内，然后在移动时可以通过缓冲弹簧和限位柱来减小硅棒受到的晃动冲击，达到了减小硅棒受到晃动冲击的效果，解决了当硅棒转移过程发生较大的晃动时，可能导致会硅棒内部出现裂纹损伤的问题。

附图说明

图1为本实用新型正剖视图；

图2为本实用新型图1中A处放大图；

图3为本实用新型侧剖视图；

图4为本实用新型侧视图；

图5为本实用新型第二弧形块结构示意图。

其中：1、底板；2、万向轮；3、固定板；4、盛放台；5、固定柱；6、固定轴承；7、转动管；8、从齿轮；9、第一防护箱；10、第二防护箱；11、电机；12、连接轴；13、主齿轮；14、转轴；15、固定齿轮；16、升降块；17、齿条板；18、转动轴；19、收缩齿轮；20、连杆；21、固定管；22、缓冲弹簧；23、限位柱；24、第一弧形块；25、第二弧形块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种硅棒加工用室内转移设备，包括底板1，底板1的底部固定连接有万向轮2，底板1的顶部固定连接有固定板3，固定板3的左侧固定连接有盛放台4，盛放台4的顶部固定连接有连板，连板远离盛放台4的一侧与固定板3的左侧固定连接，底板1的顶部固定连接有固定柱5和固定轴承6，固定柱5位于固定轴承6的内部，固定柱5的侧表面活动套接有转动管7，转动管7的侧表面与固定轴承6的内部固定连接，转动管7的侧表面固定套接有从齿轮8，底板1的顶部固定连接有第一防护箱9和第二防护箱10，第一防护箱9与第二防护箱10可以减少灰尘杂物进入齿轮的齿缝，并防止在使用该装置时，使用者被齿轮夹伤，固定轴承6和从齿轮8均位于第一防护箱9内，转动管7的侧表面与第一防护箱9的内部活动连接，第一防护箱9的内顶壁开设有第一通孔，转动管7的侧表面与第一通孔的内部活动连接，第一防护箱9和第二防护箱10的内部均活动连接有转轴14，第一防护箱9远离固定柱5一侧的内壁开设有通槽，转轴14的侧表面与通槽的内部活动连接，通槽与第三通孔同心同轴，第二防护箱10前后两侧的内壁均开设有第三通孔，第三通孔的内部固定连接有第二轴承，转轴14的侧表面与第二轴承的内部固定连接，转轴14的侧表面固定套接有传动齿轮和固定齿轮15，传动齿轮的侧表面与从齿轮8的侧表面啮合。

第二防护箱10的顶部固定安装有电机11，电机11转动轴的底端固定连接有连接轴12，连接轴12的底端与第二防护箱10的内底壁活动连接，第二防护箱10的内底壁与内顶壁均固定连接有第一轴承，连接轴12的侧表面与第一轴承的内部固定连接，第二防护箱10的内顶壁开设有第二通孔，连接轴12的侧表面与第二通孔的内部活动连接，第二通孔位于上侧第一轴承的正上方，连接轴12的侧表面固定套接有主齿轮13，主齿轮13的侧表面与固定齿轮15的侧表面啮合，转动管7的侧表面螺纹连接有升降块16，升降块16的侧面固定连接有连杆20，升降块16的数量为两个，且分别以底板1的横向中心线为对称轴对称分布，连杆20的前端与前侧升降块16的后侧固定连接，连杆20的后端与后侧升降块16的前侧固定连接，升降块16的内部活动连接有齿条板17，升降块16的内部活动连接有转动轴18，转动轴18的侧表面固定套接有把手和收缩齿轮19，收缩齿轮19位于升降块16的内部，转动轴18贯穿前后两侧的升降块16，通过把手带动转动轴18转动，就可以使两个升降块16内的收缩齿轮同时旋转，从而使前后两个齿条板17同时移动，收缩齿轮19的侧表面与齿条板17的底部啮合，齿条板17的顶部开设有弧形槽，弧形槽的半径大小与所需转移的单晶硅柱的半径大小相匹配，盛放台4的顶部通过固定管21连接有第一弧形块24，固定管21的内底壁固定连接有缓冲弹簧22，缓冲弹簧22的顶端固定连接有限位柱23，限位柱23的侧表面与固定管21的内部活动连接，限位柱23的顶端与第一弧形块24的底部固定连接。

第一弧形块24的顶部铰接有第二弧形块25，通过底板1、万向轮2、固定板3、盛放台4、固定柱5、固定轴承6、转动管7、从齿轮8、电机11、连接轴12、主齿轮13、转轴14、固定齿轮15、升降块16、齿条板17、转动轴18、把手、收缩齿轮19、连杆20、固定管21、第一弧形块24和第二弧形块25之间的相互配合，可以先用电机11带动升降块16移动，使升降块16移动至所需位置后，转动把手，令收缩齿轮19旋转，从而使齿条板17移动，进而将硅棒转移至盛放台4上，达到了防止硅棒在转移时发生碰撞的效果，解决了现有的硅棒吊装装置在使用过程中可能会发生碰撞，从而导致硅棒表面受损的问题，第一弧形块24的顶部与第二弧形块25的底部均固定连接有缓冲海绵，缓冲海绵可以防止硅棒发生摩擦损伤，第一弧形块24与第二弧形块25的内部活动连接有拉紧螺栓，拉紧螺栓的侧表面螺纹连接有锁紧螺母，锁紧螺母的底部与第二弧形块25的顶部抵持，通过盛放台4、固定管21、缓冲弹簧22、限位柱23、第一弧形块24、第二弧形块25、拉紧螺栓和锁紧螺母之间的相互配合，可以通过拉紧螺栓和锁紧螺母将硅棒固定在第一弧形块24与第二弧形块25所组成的凹槽内，然后在移动时可以通过缓冲弹簧22和限位柱23来减小硅棒受到的晃动冲击，达到了减小硅棒受到晃动冲击的效果，解决了当硅棒转移过程发生较大的晃动时，可能会导致硅棒内部出现裂纹损伤的问题。

在使用时，先将该设备推至硅棒存放架前，然后打开电机11开关，带动主齿轮13旋转，并通过固定齿轮15迫使转轴14转动，当转轴14发生转动后，与传动齿轮啮合的从齿轮8也将发生旋转，从而带动转动管7转动，进而令升降块16发生位移，接着将升降块16移动至所需位置后，转动把手，使齿条板17伸长，将齿条板17顶部的弧形槽移至硅棒正下方，然后控制升降块上升，从而使硅棒进入弧形槽内，当硅棒卡在弧形槽内后，继续上升的升降块会使硅棒与硅棒存放架分离，接下来转动把手看，将齿条板17收回，令硅棒移动至第一弧形块24的正上方，控制升降块16下移，硅棒进入第一弧形块24顶部的固定槽内，升降块16继续下降会使齿条板17与硅棒分离，最后翻转第二弧形块25，通过拉紧螺栓和锁紧螺母将硅棒固定在盛放台4上，并将该设备推至硅棒加工处，便完成了硅棒的转运工作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种硅棒加工用室内转移设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的底部固定连接有万向轮(2)，所述底板(1)的顶部固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)的左侧固定连接有盛放台(4)，所述底板(1)的顶部固定连接有固定柱(5)和固定轴承(6)，所述固定柱(5)的侧表面活动套接有转动管(7)，所述转动管(7)的侧表面与固定轴承(6)的内部固定连接，所述转动管(7)的侧表面固定套接有从齿轮(8)，所述底板(1)的顶部固定连接有第一防护箱(9)和第二防护箱(10)，所述转动管(7)的侧表面与第一防护箱(9)的内部活动连接，所述第一防护箱(9)和第二防护箱(10)的内部活动连接有转轴(14)，所述转轴(14)的侧表面固定套接有传动齿轮和固定齿轮(15)，所述传动齿轮的侧表面与从齿轮(8)的侧表面啮合；

所述第二防护箱(10)的顶部固定安装有电机(11)，所述电机(11)转动轴的底端固定连接有连接轴(12)，所述连接轴(12)的底端与第二防护箱(10)的内底壁活动连接，所述连接轴(12)的侧表面固定套接有主齿轮(13)，所述主齿轮(13)的侧表面与固定齿轮(15)的侧表面啮合，所述转动管(7)的侧表面螺纹连接有升降块(16)，所述升降块(16)的侧面固定连接有连杆(20)，所述升降块(16)的内部活动连接有齿条板(17)，所述升降块(16)的内部活动连接有转动轴(18)，所述转动轴(18)的侧表面固定套接有把手和收缩齿轮(19)，所述收缩齿轮(19)的侧表面与齿条板(17)的底部啮合，所述齿条板(17)的顶部开设有弧形槽，所述盛放台(4)的顶部通过固定管(21)连接有第一弧形块(24)，所述第一弧形块(24)的顶部铰接有第二弧形块(25)。

2.根据权利要求1所述的一种硅棒加工用室内转移设备，其特征在于：所述第一防护箱(9)的内顶壁开设有第一通孔，所述转动管(7)的侧表面与第一通孔的内部活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅棒加工用室内转移设备，其特征在于：所述第二防护箱(10)的内底壁与内顶壁均固定连接有第一轴承，所述连接轴(12)的侧表面与第一轴承的内部固定连接，所述第二防护箱(10)的内顶壁开设有第二通孔，所述连接轴(12)的侧表面与第二通孔的内部活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅棒加工用室内转移设备，其特征在于：所述第二防护箱(10)前后两侧的内壁均开设有第三通孔，所述第三通孔的内部固定连接有第二轴承，所述转轴(14)的侧表面与第二轴承的内部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅棒加工用室内转移设备，其特征在于：所述固定管(21)的内底壁固定连接有缓冲弹簧(22)，所述缓冲弹簧(22)的顶端固定连接有限位柱(23)，所述限位柱(23)的侧表面与固定管(21)的内部活动连接，所述限位柱(23)的顶端与第一弧形块(24)的底部固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅棒加工用室内转移设备，其特征在于：所述第一弧形块(24)的顶部与第二弧形块(25)的底部均固定连接有缓冲海绵，所述第一弧形块(24)与第二弧形块(25)的内部活动连接有拉紧螺栓，所述拉紧螺栓的侧表面螺纹连接有锁紧螺母。

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