CN214313159U - 一种提篮装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体处理设备的技术领域，具体为一种提篮装置，包括顶板、底板和两侧板，两侧板的上端分别与顶板下表面的两侧连接，两侧板的下端分别与底板上表面的两侧连接，两侧板相对的一侧均设有若干横向的夹持块，两侧板相邻的夹持块分别夹持托盘的两端，两侧板的入口端均设有导向面，两侧板上的导向面形成扩口；还包括用于遮挡托盘的挡板，挡板的两端分别与两侧板连接；夹持块的入口端均设有导向部，导向部的上下表面均设有斜面，相邻两夹持块相对的斜面形成另一扩口。采用本方案能够解决现有技术中颗粒物容易下落至提篮装置最上层的晶圆上，以及托盘边缘与侧板的棱边接触容易产生颗粒物的技术问题。

Description

一种提篮装置

技术领域

本实用新型涉及半导体处理设备的技术领域，具体为一种提篮装置。

背景技术

提篮装置主要用于放置晶圆，在半导体制造的划片、粘片等工序中实现晶圆的周转和存储。现有的提篮装置包括顶板、底板和两侧板，两侧板的上端分别与顶板下表面的两侧连接，两侧板的下端分别与底板上表面的两侧连接，两侧板相对的一侧均开设卡槽，两侧板相对位置的卡槽插接有托盘，托盘用于放置晶圆。

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，由普通硅砂提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得高纯度的多晶硅，多晶硅经熔融、掺入单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片形成硅晶圆片，即晶圆。在晶圆制造和加工过程中，外来物、灰尘粒子、金属离子等极易破坏晶圆的表面结构和电子特性，从而对晶圆加工后的质量和性能造成非常大的影响，因此在晶圆制造过程中有严格的洁净度要求。

在现有技术下，无法保证晶圆制造环境100％无尘，因此在减少晶圆制造环境中的颗粒物的同时，减少环境中的颗粒物与晶圆接触。由于空气中的颗粒物在没有外力作用下时呈下落趋势，因此在存储晶圆时，发现提篮装置中最上层晶圆的表面容易附着有颗粒物，使得最上层晶圆容易受损。同时，在向提篮装置中放入托盘时，托盘的边缘容易与侧板的棱边相接触，而侧板和托盘均为金属材质，两者接触容易产生磨损，一是降低两者的使用寿命，二是磨损容易产生金属碎屑，增加环境中的颗粒物。

实用新型内容

本实用新型意在提供一种提篮装置，以解决现有技术中颗粒物容易下落至提篮装置最上层的晶圆上，以及托盘边缘与侧板的棱边接触容易产生颗粒物的技术问题。

本实用新型提供如下基础方案：

一种提篮装置，包括顶板、底板和两侧板，两侧板的上端分别与顶板下表面的两侧连接，两侧板的下端分别与底板上表面的两侧连接，两侧板相对的一侧均设有若干横向的夹持块，两侧板相邻的夹持块分别夹持托盘的两端，两侧板的入口端均设有导向面，两侧板上的导向面形成扩口；还包括用于遮挡托盘的挡板，挡板的两端分别与两侧板连接。

基础方案的有益效果：相邻两夹持块用于夹持托盘，实现对托盘的固定和存放。两侧板的入口端指托盘放入提篮装置时，先经过侧板的一端。在入口端设置导向面，在放置托盘时，托盘边缘与导向面接触，与侧板的棱边接触相比，降低磨损，从而减少磨损产生的金属碎屑，降低环境中的颗粒物。同时导向面形成扩口，扩口的设置，便于快速放入托盘，减少放置托盘的等待时间。

挡板的设置，对提篮装置中的托盘进行遮挡，空气中的颗粒物在下落时，被挡板所遮挡，从而避免下落的颗粒物下落至晶圆上，影响晶圆加工质量。

进一步，夹持块的入口端均设有导向部，导向部的上下表面均设有斜面，相邻两夹持块相对的斜面形成另一扩口。

有益效果：斜面的设置，避免夹持块的棱边与托盘接触，产生磨损。斜面形成的扩口，便于快速放入托盘，减少放置托盘的等待时间。

进一步，导向面为弧面，弧面朝向所在侧板。

有益效果：弧面的设置，与斜面相比，导向效果更好。同时与斜面相比，弧面没有棱边，与托盘接触时，磨损更小。

进一步，两侧板相对一侧的上端均开设有横向的卡接槽，挡板的两端与卡接槽卡接。

有益效果：通过卡接的方式安装挡板，便于拆装，使用方便。

进一步，两侧板相对的一侧均设有限位块，限位块与托盘相抵。

有益效果：限位块的设置，对放入提篮装置的托盘进行限位，避免托盘从提篮装置中脱出。

进一步，限位块朝向托盘的一侧开设有与托盘位置匹配的限位槽。

有益效果：限位槽的设置，实现对托盘的限位，同时与限位块限位相比，避免托盘边缘与限位块的棱边接触，减少磨损情况的发生。

进一步，顶板的上表面连接有把手，把手的数量为两个。

有益效果：两个把手的设置，更加平稳的实现对提篮装置的周转。

进一步，还包括盖板，两侧板相背的一侧均开设有竖向的插槽，盖板为U型板，U型板的自由端相向延伸形成插板，插板与插槽卡接。

有益效果：盖板的设置，对提篮装置的前后侧进行遮挡，避免空气中的颗粒物飘至提篮装置内，影响晶片的性能。插板和插槽采用卡接的方式，能够快速对盖板进行拆装。

进一步，U型板的上端连接有挡尘板。

有益效果：挡尘板的设置，用于对U型板与挡板之间的间隙进行遮挡，进一步避免空气中的颗粒物飘至提篮装置内。

进一步，插槽的上端扩张形成另一扩口。

有益效果：插槽的扩口设置，便于快速安装插板，同时降低磨损情况发生的概率。

附图说明

图1为本实用新型一种提篮装置实施例一的结构示意图；

图2为本实用新型一种提篮装置图1中的A处放大示意图；

图3为本实用新型一种提篮装置实施例二的右视图；

图4为本实用新型一种提篮装置实施例二插板的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细说明：

说明书附图中的附图标记包括：顶板1、挡板2、底板3、侧板4、把手5、导向面6、夹持块7、限位块8、限位槽9、插槽10、盖板11、插板12、挡尘板13。

实施例一

一种提篮装置，如附图1所示，包括顶板1、挡板2、底板3和两侧板4，两侧板4的上端分别与顶板1下表面的两侧连接，两侧板4的下端分别与底板3上表面的两侧连接，在本实施例中，顶板1、底板3和侧板4一体成型。为便于说明，以放入托盘的视角，将两侧板4分别定义为左侧板和右侧板。顶板1的上表面连接有把手5，把手5的数量为两个。

如附图2所示，两侧板4的入口端均设有导向面6，两侧板4的入口端为托盘放入提篮装置时，先经过侧板4的一端。两侧板4上的导向面6形成扩口，在本实施例中，导向面6为斜面，导向面6形成的扩口沿托盘放入提篮装置的方向逐渐缩小，在其他实施例中，导向面6为弧面，弧面朝向所在侧板4，即左侧板上的弧面朝向左侧板，右侧板上的弧面朝向右侧板。

挡板2用于遮挡托盘，挡板2的两端分别与两侧板4连接，在本实施例中，两侧板4相对一侧的上端均开设有横向的卡接槽，卡接槽的槽向与托盘的放入方向平行，挡板2的两端与卡接槽卡接，具体的，左侧板右侧的上端开设有横向的卡接槽，右侧板左侧的上端开设有另一卡接槽，两卡接槽相对设置，挡板2的两端分别与两卡接槽卡接。在其他实施例中，挡板2的两端与两侧板4粘接。

两侧板4相对的一侧均设有若干横向的夹持块7，即左侧板的右侧和右侧板的左侧均设有若干横向的夹持块7，夹持块7的长度方向与托盘的放入方向平行。两侧板4相邻的夹持块7分别夹持托盘的两端，即左侧板上相邻的夹持块7夹持托盘的左端，右侧板上相邻的夹持块7夹持托盘的右端。在本实施例中，夹持块7与侧板4一体成型。夹持块7的入口端均设有导向部，夹持块7的入口端为托盘放入提篮装置时，先经过夹持块7的一端，导向部的上下表面均设有斜面，相邻两夹持块7相对的斜面形成另一扩口。

两侧板4相对的一侧均设有限位块8，即左侧板的右侧和右侧板的左侧均设有限位块8。限位块8与托盘相抵，具体的，限位块8朝向托盘的一侧开设有与托盘位置匹配的限位槽9，即限位槽9与相邻两夹持块7形成的空隙位置匹配。

使用时，挡板2卡接于卡接槽内，对提篮装置内的托盘进行遮挡，对空气中下落的颗粒物进行遮挡，从而避免下落的颗粒物下落至晶圆上。将放置晶圆的托盘从入口端放入提篮装置内，实现对晶圆的周转和存储。

实施例二

本实施例与实施例一的不同之处在于：还包括盖板11。

如附图3所示，两侧板4相背的一侧均开设有竖向的插槽10，即左侧板的左侧和右侧板的右侧均开设有竖向的插槽10。插槽10的上端扩张形成另一扩口。

如附图4所示，盖板11为U型板，U型板的自由端相向延伸形成插板12，即U型板的一自由端向另一自由端方向延伸形成插板12。两插板12分别与两插槽10卡接。U型板的上端连接有挡尘板13，挡尘板13用于对U型板与挡板2之间的间隙进行遮挡。

使用时，放置晶片后，将盖板11上的插板12插接于插槽10内，盖板11对提篮装置的前后两侧进行遮挡，避免空气中的颗粒物飘至提篮装置内。

以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前实用新型所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

Claims (10)

1.一种提篮装置，包括顶板、底板和两侧板，两侧板的上端分别与顶板下表面的两侧连接，两侧板的下端分别与底板上表面的两侧连接，两侧板相对的一侧均设有若干横向的夹持块，其特征在于：两侧板相邻的夹持块分别夹持托盘的两端，两侧板的入口端均设有导向面，两侧板上的导向面形成扩口；还包括用于遮挡托盘的挡板，挡板的两端分别与两侧板连接。

2.根据权利要求1所述的一种提篮装置，其特征在于：夹持块的入口端均设有导向部，导向部的上下表面均设有斜面，相邻两夹持块相对的斜面形成另一扩口。

3.根据权利要求1所述的一种提篮装置，其特征在于：导向面为弧面，弧面朝向所在侧板。

4.根据权利要求1所述的一种提篮装置，其特征在于：两侧板相对一侧的上端均开设有横向的卡接槽，挡板的两端与卡接槽卡接。

5.根据权利要求1所述的一种提篮装置，其特征在于：两侧板相对的一侧均设有限位块，限位块与托盘相抵。

6.根据权利要求5所述的一种提篮装置，其特征在于：限位块朝向托盘的一侧开设有与托盘位置匹配的限位槽。

7.根据权利要求1所述的一种提篮装置，其特征在于：顶板的上表面连接有把手，把手的数量为两个。

8.根据权利要求1所述的一种提篮装置，其特征在于：还包括盖板，两侧板相背的一侧均开设有竖向的插槽，盖板为U型板，U型板的自由端相向延伸形成插板，插板与插槽卡接。

9.根据权利要求8所述的一种提篮装置，其特征在于：U型板的上端连接有挡尘板。

10.根据权利要求8所述的一种提篮装置，其特征在于：插槽的上端扩张形成另一扩口。

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