CN214249154U - 一种共用气路的设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型为一种共用气路的设备，包括进气管路以及炉管；进气管路包括总进气管路以及分支进气管路；分支进气管路包括共用分支进气管路；一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通；一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接；一个炉管组包括两个及两个以上的炉管；通过设置共用分支进气管路实现多管使用同一条进气管道，以及同一组管道上的检测设备，能够减少气路器件，降低硬件成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体及太阳能光伏电池制造领域，特别是涉及一种共用气路的设备。
背景技术
目前的光伏电池制造设备大多采用单管单控的方式，即每个设备的管道有独立控制的气路和电路，不同的管道之间相互不产生影响，这样的好处是当存在管道异常时，其他设备依然能够继续运转。但是随着技术的发展，软件和硬件的稳定性都已经十分成熟，故障率极低，因此目前生产过程中更需要考虑成本的问题。在传统的管道结构中，部分工艺气体的在炉管内反应的使用时间占比极小，大部分时间都是存储在管道中，比如磷扩散的通源气路，需要质量流量计、手动隔膜阀、气动隔膜阀、单向阀、压差控制器、源瓶、恒温槽、接头、管道、压力检测器等多种设备，而每次磷扩散的工艺时间大约90分钟，但是通源时间约为10分钟，占比1/9左右。在传统的管道结构中单管单控，而且单管对应单炉管，这样的结构造成了极高的硬件成本，增加了生产投入，因此需要一种能够降低硬件成本的共用气路设备。
发明内容
本实用新型的目的是解决现有技术的不足，提供一种共用气路的设备，结构简单，使用方便。
一种共用气路的设备，包括进气管路以及炉管；进气管路包括总进气管路以及分支进气管路；分支进气管路包括共用分支进气管路；一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通；一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接；一个炉管组包括两个及两个以上的炉管。
进一步的，所述共用分支进气管路包括单一进气管路以及组合进气管路；单一进气管路的进气端与一条总进气管路连通；组合进气管路的进气端与两条及以上的总进气管路连通。
进一步的，所述单一进气管路包括管道，管道上设置有手阀、流量计以及气动阀。
进一步的，所述组合进气管路包括独立部与混合部；独立部与总进气管路对应设置；独立部包括管道，管道设置于总进气管路与混合部之间，在独立部的管道上设置有手阀和流量计。
进一步的，所述混合部设置于两个独立部之间或者独立部与混合部之间。
进一步的，所述混合部包括管路一、管路二以及管路三；管路一、管路二以及管路三的进气端串联，并且与这两个独立部或者独立部与混合部的出气端连接；管路二和管路三的出气端通过气体混合装置连接，气体混合装置的出气端与管道一的出气端通过压差控制器连接。
进一步的，所述管路一、管路二以及管路三上都设置有气动阀，在管路二和管路三的进气端之间还设置有气动阀。
进一步的，所述分支进气管路还包括独立分支进气管路，独立分支进气管路的两端分别连接一条总进气管路以及一个炉管。
本实用新型的有益效果为：
通过设置共用分支进气管路实现多管使用同一条进气管道，以及同一组管道上的检测设备，能够减少通源气路器件，降低硬件成本；
通过在共用分支进气管路的进气端连接两条及以上的总进气管道，实现气体的混合通气，进一步减少通源气路器件，降低硬件成本；
通过设置独立分支进气管道，满足特殊气体的单独进气要求。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的六炉管的结构示意图；
图2为本实用新型实施例一的单一进气管路示意图；
图3为本实用新型实施例一的组合进气管路示意图。
附图标识说明：总进气管路1、共用分支进气管路2、单一进气管路21、手阀211、流量计212、气动阀213、组合进气管路22、独立部221、混合部222、管路一223、管路二224、管路三225、气体混合装置226、压差控制器227、炉管3、独立分支进气管路4。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
实施例一：
如图1所示，一种共用气路的设备，包括进气管路以及炉管3。进气管路包括总进气管路1以及分支进气管路，分支进气管路包括共用分支进气管路2。一条共用分支进气管路2的进气端与至少一条总进气管路1连通；一条共用分支进气管路2的出气端与一个炉管组连接；一个炉管组包括两个及两个以上的炉管3。
如图2、3所示，所述共用分支进气管路2包括单一进气管路21以及组合进气管路22。其中单一进气管路21的进气端与一条总进气管路1连通，单一进气管路21包括管道，管道上设置有手阀211、流量计212以及气动阀213，其中流量计212设置于手阀211和气动阀213之间。设置手阀211和气动阀213是为了双重保险，通过人工结合自动化的形式共同实现通气。组合进气管路22的进气端与两条及以上的总进气管路1连通，组合进气管路22包括独立部221与混合部222。独立部221与总进气管路1对应设置；独立部221包括管道，管道设置于总进气管路1与混合部222之间，在独立部221的管道上设置有手阀211和流量计212，其中手阀211设置于总进气管路1与流量计212之间。混合部222设置于两个独立部221之间；混合部222包括管路一223、管路二224以及管路三225，其中管路一223、管路二224以及管路三225的进气端串联，并且与这两个独立部221的出气端连接。管路一223、管路二224以及管路三225上都设置有气动阀213，在管路二224和管路三225的进气端之间还设置有气动阀213。管路二224和管路三225的出气端通过气体混合装置226连接，气体混合装置226的出气端与管道一的出气端通过压差控制器227连接。需要说明的是混合部222还可以设置于独立部221与混合部222之间，这样能够实现三个及以上的总进气管路1的连通。
所述分支进气管路还包括独立分支进气管路4，独立分支进气管路4的两端分别连接一条总进气管路1以及一个炉管3。独立分支进气管路4为传统的进气管路。
在本实施例中共有六个炉管3，其中两个炉管3构成一个炉管组，炉管3一和炉管3二为一组，炉管3三和炉管3四为一组，炉管3五和炉管3六为一组，共三个炉管组。同时每条共用分支进气管路2连接两条总进气管路1。为了保证每个炉管3的通源充足，因此在使用共用分支进气管路2为炉管3通源时，需要错开每个炉管组的通源时间，所以在每个共用分支进气管路2与单个炉管3之间设置有开关阀。
在实施的过程中，通过共用分支进气管路2实现多管使用同一条进气管道，以及同一组管道上的检测设备，能够减少通源气路器件，降低硬件成本；通过设置独立分支进气管道，满足特殊气体的单独进气要求；通过在共用分支进气管路2的进气端连接两条及以上的总进气管道，实现气体的混合通气，进一步减少通源气路器件，降低硬件成本。
以上描述仅是本实用新型的一个具体实例，不构成对本实用新型的任何限制。显然对于本领域的专业人员来说，在了解了本实用新型内容和原理后，都可能在不背离本实用新型原理、结构的情况下，进行形式和细节上的各种修改和改变，但是这些基于本实用新型思想的修正和改变仍在本实用新型的权利要求保护范围之内。
Claims (8)
1.一种共用气路的设备，其特征在于，包括进气管路以及炉管；进气管路包括总进气管路以及分支进气管路；分支进气管路包括共用分支进气管路；一条共用分支进气管路的进气端与至少一条总进气管路连通；一条共用分支进气管路的出气端与一个炉管组连接；一个炉管组包括两个及两个以上的炉管。
2.根据权利要求1所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述共用分支进气管路包括单一进气管路以及组合进气管路；单一进气管路的进气端与一条总进气管路连通；组合进气管路的进气端与两条及以上的总进气管路连通。
3.根据权利要求2所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述单一进气管路包括管道，管道上设置有手阀、流量计以及气动阀。
4.根据权利要求2所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述组合进气管路包括独立部与混合部；独立部与总进气管路对应设置；独立部包括管道，管道设置于总进气管路与混合部之间，在独立部的管道上设置有手阀和流量计。
5.根据权利要求4所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述混合部设置于两个独立部之间或者独立部与混合部之间。
6.根据权利要求5所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述混合部包括管路一、管路二以及管路三；管路一、管路二以及管路三的进气端串联，并且与这两个独立部或者独立部与混合部的出气端连接；管路二和管路三的出气端通过气体混合装置连接，气体混合装置的出气端与管道一的出气端通过压差控制器连接。
7.根据权利要求6所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述管路一、管路二以及管路三上都设置有气动阀，在管路二和管路三的进气端之间还设置有气动阀。
8.根据权利要求1所述的一种共用气路的设备，其特征在于，所述分支进气管路还包括独立分支进气管路，独立分支进气管路的两端分别连接一条总进气管路以及一个炉管。
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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| CN202023316436.1U Active CN214249154U (zh) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 一种共用气路的设备 |
Country Status (1)
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2020
- 2020-12-31 CN CN202023316436.1U patent/CN214249154U/zh active Active
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