CN214222752U - 大宗特殊气体供应系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了大宗特殊气体供应系统，涉及特殊气体供应技术领域，包括深度吹扫箱组和主供应柜，所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于连接气体储存设备。这样的设计增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力，同时精简构造，减少气体泄露发生的几率。

Description

大宗特殊气体供应系统

技术领域

本实用新型涉及特殊气体供应技术领域，具体涉及一种大宗特殊气体供应系统。

背景技术

随着半导体产技术的不断更新换代，各芯片制造工厂和液晶面板厂的产能也逐渐增大，同时各工厂对特殊气体的需求量亦随之增加。依据特殊气体的安全存储管理规定，存储量较大的特殊气体需在生产厂房之外单独建立特殊气体站，且特殊气体站与生产厂房及人员密集区应保持一定的安全距离。目前大宗特殊气体供应系统由气体存储设备、瓶头接口箱、深度吹扫箱、主供应柜四个主要功能模块组成，并由气体管道顺次连接；气体存储设备采用1+1 形式的Y型钢瓶(水容积为440L的钢瓶)供应，频繁更换气瓶导致连续供气能力不能满足生产需要，还增加操作者的工作量和危险性。

实用新型内容

1、实用新型要解决的技术问题

针对频繁更换气瓶导致连续供气能力不能满足生产需要的技术问题，本实用新型提供了一种大宗特殊气体供应系统，它增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力。

2、技术方案

为解决上述问题，本实用新型提供的技术方案为：包括深度吹扫箱组和主供应柜，所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于连接气体储存设备。

可选的，所述主供应柜包括至少三个并联设置的供应单元。

可选的，所述深度吹扫箱为密闭箱体，所述深度吹扫箱包括吹扫管道和气体供应管道，所述气体供应管道设有气动高压三通隔膜阀；所述吹扫管道上依次设有气动高压隔膜阀、气动高压四通隔膜阀、手动高压隔膜阀，所述吹扫管道和气体供应管道之间通过气动高压三通隔膜阀、气动高压四通隔膜阀连接控制；气动高压四通隔膜阀延伸连接由真空发生器、气动滴流隔膜阀、逆止阀组成的文丘里管，所述深度吹扫箱的箱体设有排气接口，以保证箱体内处于负压状态。

可选的，所述气体供应管道上还设有压力传感器。

可选的，所述主供应柜为一外置密闭箱体，所述供应单元包括有吹扫管道和气体供气管道，所述吹扫管道和气体供气管道分别与深度吹扫箱内相应管道连通，所述气体供气管道顺次设有前端过滤器、调压阀、气动低压隔膜阀、手动低压隔膜阀；所述真空发生器、气动滴流隔膜阀、逆止阀组成氮气文丘里管，其文丘里管出口处的真空发生器还连通安装有气动低压隔膜阀、逆止阀组成的管道；所述吹扫管道入口处安装有气动滴流隔膜阀、逆止阀，并由此与深度吹扫箱相应的吹扫管道连接；所述主供应柜的箱体上留有排气接口，以保证箱体内处于负压状态。

可选的，所述气体供气管道还设有后端过滤器。

可选的，所述气体供气管道还设有压力传感器。

可选的，所述气体供气管道还设有过流量开关。

可选的，所述主供应柜内安装有喷淋头。

可选的，所述主供应柜内安装有紫/红外感知器。

3、有益效果

采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：

(1)本申请实施例提出的大宗特殊气体供应系统，设计增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力。

(2)本申请实施例提出的大宗特殊气体供应系统，精简构造，减少气体泄露发生的几率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提出的大宗特殊气体供应系统的结构示意图。

图2为本实用新型实施例提出的大宗特殊气体供应系统的主供应柜的结构示意图。

图3为本实用新型实施例提出的大宗特殊气体供应系统的其中一套深度吹扫箱组的结构示意图。

图4为本实用新型实施例提出的大宗特殊气体供应系统的另外一套深度吹扫箱组的结构示意图。

具体实施方式

为进一步了解本实用新型的内容，结合附图及实施例对本实用新型作详细描述。

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。本实用新型中所述的第一、第二等词语，是为了描述本实用新型的技术方案方便而设置，并没有特定的限定作用，均为泛指，对本实用新型的技术方案不构成限定作用。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。同一实施例中的多个技术方案，以及不同实施例的多个技术方案之间，可进行排列组合形成新的不存在矛盾或冲突的技术方案，均在本实用新型要求保护的范围内。

实施例1

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，包括深度吹扫箱组2和主供应柜1，所述深度吹扫箱组2和主供应柜1通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组2为两套，所述每套深度吹扫箱组2包括至少两个并联设置的深度吹扫箱21，所述每个深度吹扫箱21设有瓶头接口201，所述瓶头接口201用于连接气体储存设备。本实施例的大宗特殊气体供应系统将瓶头接口箱和深度吹扫箱2进行合并，将瓶头接口201设置在深度吹扫箱21内部，精简构造，减少气体泄露发生的几率；本实施例的气体管道为不锈钢材质，深度吹扫箱组2为两套，每套各设有三个深度吹扫箱21，每个瓶头接口201与气体储存设备一一对应，这样的设计增加了存储设备的数量，提高持续供气的能力。于其他实施例中，每套深度吹扫箱组2 包括两个、四个或者其他更多的深度吹扫箱21。

实施例2

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1的技术方案相比，可改进如下：所述主供应柜1包括至少三个并联设置的供应单元11。本实施例的供应单元11为三个，三个供应单元11实行轮换供应，提供持续供气。

实施例3

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1或2的技术方案相比，可改进如下：所述深度吹扫箱11为密闭箱体，所述深度吹扫箱11包括吹扫管道和气体供应管道，所述气体供应管道设有气动高压隔膜阀31、气动高压三通隔膜阀42；所述吹扫管道上依次设有气动高压三通隔膜阀41、气动高压四通隔膜阀43、手动高压隔膜阀51，气动高压隔膜阀32，所述吹扫管道和气体供应管道之间通过气动高压三通隔膜阀41、气动高压四通隔膜阀43连接控制；气动高压四通隔膜阀43延伸连接由真空发生器61、气动滴流隔膜阀71、逆止阀91组成的文丘里管，所述深度吹扫箱的箱体设有排气接口104，以保证箱体内处于负压状态。正常供应特殊气体时，深度吹扫箱11内的气动高压隔膜阀31、气动高压三通隔膜阀41、气动高压三通隔膜阀42分别开启状态下(气动高压三通隔膜阀41、气动高压三通隔膜阀42的开启方向为瓶头接口2至主供应柜方向)，其他阀门均处于关闭状态，气体出深度深度吹扫箱；进行氮气充气时，气动高压三通隔膜阀41、气动高压四通隔膜阀43、气动高压隔膜阀31、气动高压隔膜阀32分别开启状态下(气动高压三通隔膜阀41、气动高压三通隔膜阀43的开启方向为氮气管道至瓶头接口201方向)，其他阀门均处于关闭状态；进行尾气排放时，气动高压三通隔膜阀41、气动高压四通隔膜阀43、气动高压隔膜阀31、气动滴流隔膜阀71分别开启状态下(气动高压三通隔膜阀41、气动高压三通隔膜阀43的开启方向为瓶头接口201至真空发生器61方向)，其他阀门均处于关闭状态。尾气排放的原理为一般氮气高速触发真空发生器动作产生负压，将与负压段连接的管道内的气体抽空。

实施例4

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-3任一项技术方案相比，可改进如下：所述气体供应管道上还设有压力传感器81。压力传感器81用于采集深度深度吹扫箱内气体压力信息。

实施例5

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-4任一项技术方案相比，可改进如下：所述主供应柜1为一外置密闭箱体，所述供应单元11包括有吹扫管道和气体供气管道，所述吹扫管道和气体供气管道分别与深度吹扫箱21内相应管道连通，所述气体供气管道顺次设有前端过滤器101、调压阀13、气动低压隔膜阀33、手动低压隔膜阀36、手动高压隔膜阀53；所述吹扫管道入口处安装有气动低压隔膜阀34、逆止阀92、真空发生器62、气动滴流隔膜阀72、逆止阀93、气动滴流隔膜阀73、逆止阀94，并由此与深度吹扫箱21相应的吹扫管道连接，所述真空发生器62、气动滴流隔膜阀72、逆止阀92组成氮气文丘里管，其文丘里管出口处的真空发生器62还连通安装有气动低压隔膜阀33、逆止阀92组成的管道；所述主供应柜的箱体上留有排气接口104，以保证箱体内处于负压状态。三个供应单元除气动低压隔膜阀36外，所有的气动阀及手动阀均处于开启状态(暨三个供应单元均处于准备供应状态)，通过PLC控制气动高压隔膜阀36实行轮换供应(暨开启一个阀门，关闭两个阀门)；此密闭箱体上留有排气接口，以保证箱体内处于负压状态。气体进入主供应柜后，在气体输送管道上依次设置有气动高压隔膜阀36、手动高压隔膜阀53、前端过滤器101、调压阀13、气动低压隔膜阀33、手动低压隔膜阀52，并最终制成气体输出。

实施例6

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-5任一项技术方案相比，可改进如下：所述气体供气管道还设有后端过滤器102。前段过滤器101和后端过滤器102 实现了主供应柜内前后两段的两级过滤，提高了气体纯度。

实施例7

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-6任一项技术方案相比，可改进如下：所述气体供气管道还设有压力传感器82。压力传感器82采集主供应柜内压力提供于控制器103。

实施例8

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-7任一项技术方案相比，可改进如下：所述气体供气管道还设有过流量开关12。过流量开关12执行控制器103的命令限制气体流量。

实施例9

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-8任一项技术方案相比，可改进如下：所述主供应柜内安装有喷淋头105。当主供应柜有火焰时，控制器103控制喷淋头105出水进行灭火。

实施例10

结合附图1-4，本实施例的大宗特殊气体供应系统，与实施例1-9任一项技术方案相比，可改进如下：所述主供应柜内安装有紫/红外感知器106。当紫/红外感知器106感知火焰发生时，将信息传递给控制器103。

以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种大宗特殊气体供应系统，其特征在于，包括深度吹扫箱组和主供应柜，所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于连接气体储存设备。

2.根据权利要求1所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述主供应柜包括至少三个并联设置的供应单元。

3.根据权利要求2所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述深度吹扫箱为密闭箱体，所述深度吹扫箱包括吹扫管道和气体供应管道，所述气体供应管道设有气动高压三通隔膜阀；所述吹扫管道上依次设有气动高压隔膜阀、气动高压四通隔膜阀、手动高压隔膜阀，所述吹扫管道和气体供应管道之间通过气动高压三通隔膜阀、气动高压四通隔膜阀连接控制；气动高压四通隔膜阀延伸连接由真空发生器、气动滴流隔膜阀、逆止阀组成的文丘里管，所述深度吹扫箱的箱体设有排气接口，以保证箱体内处于负压状态。

4.根据权利要求3所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述气体供应管道上还设有压力传感器。

5.根据权利要求3所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述主供应柜为一外置密闭箱体，所述供应单元包括有吹扫管道和气体供气管道，所述吹扫管道和气体供气管道分别与深度吹扫箱内相应管道连通，所述气体供气管道顺次设有前端过滤器、调压阀、气动低压隔膜阀、手动低压隔膜阀；所述真空发生器、气动滴流隔膜阀、逆止阀组成氮气文丘里管，其文丘里管出口处的真空发生器还连通安装有气动低压隔膜阀、逆止阀组成的管道；所述吹扫管道入口处安装有气动滴流隔膜阀、逆止阀，并由此与深度吹扫箱相应的吹扫管道连接；所述主供应柜的箱体上留有排气接口，以保证箱体内处于负压状态。

6.根据权利要求5所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述气体供气管道还设有后端过滤器。

7.根据权利要求5所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述气体供气管道还设有压力传感器。

8.根据权利要求5所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述气体供气管道还设有过流量开关。

9.根据权利要求1所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述主供应柜内安装有喷淋头。

10.根据权利要求1所述的大宗特殊气体供应系统，其特征在于，所述主供应柜内安装有紫/红外感知器。

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