CN214181863U - 一种半导体材料结晶炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体材料结晶炉，包括箱体，所述箱体的底部固定安装有结晶箱，所述箱体的顶部内壁转动连接有搅拌杆，所述箱体的顶部固定安装有箱盖，所述箱盖的顶部一侧固定连接有进料仓，且进料仓与箱体内部连通。该一种半导体材料结晶炉，本实用使用时将原料放置在筛选箱内，启动电机，电机带动转轴转动，进而使得凸轮转动，进而带动支撑板滑动，支撑板的滑动使得筛选箱向左移动，支撑板在对固定板靠近时，使得弹簧处于压缩状态，之后支撑板会在弹簧作用下复位使得筛选箱向右移动，从而使筛选箱产生晃动，使原料从筛选箱内掉落，使得筛选后的材料颗粒更加的细小，加快了筛选速度，提高了筛选效率。

Description

一种半导体材料结晶炉

技术领域

本实用新型涉及半导体材料结晶领域，具体是一种半导体材料结晶炉。

背景技术

半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，是一种导电性可控，范围从绝缘体到导体之间的材料，从科学技术和经济发展的角度 来看，半导体影响着人们的日常工作生活，直到20世纪30年代这一材料才被学界所认可。

但是，现在的半导体材料的结晶炉在对原料进行熔融结晶时不能很好的对原料的大小颗粒进行筛选，使得熔融速率较慢，进而使得从熔融到结晶的用时较长，影响半导体材料的品质，使得材料的性能较差，为此，我们提供了一种半导体材料结晶炉。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体材料结晶炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体材料结晶炉，包括箱体，所述箱体的底部固定安装有结晶箱，所述箱体的顶部内壁转动连接有搅拌杆，所述箱体的顶部固定安装有箱盖，所述箱盖的顶部一侧固定连接有进料仓，且进料仓与箱体内部连通，所述进料仓两侧均设置有与箱盖固定安装的滑轨，所述进料仓的上方设置有筛选箱，所述筛选箱的两侧均焊接有与滑轨滑动连接的支撑板，且支撑板的形状为L形，所述箱盖顶部一侧固定连接有固定板，所述固定板靠近支撑板的一侧焊接有横轴，且横轴的外壁与支撑板滑动连接，所述横轴远离固定板的一端固定连接有竖板，所述横轴的外壁套接有弹簧，且弹簧位于固定板与支撑板之间。

作为本实用新型进一步的方案：所述筛选箱远离固定板的一侧设有与支撑板底部固定连接的撞击块，所述撞击块远离筛选箱的一侧设置与箱盖顶部固定安装的电机，所述电机的驱动端固定连接有转轴，所述转轴的外壁固定套接有凸轮，且凸轮与撞击块抵接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述筛选箱的内壁设置有等距分布的三组筛网，且筛网的筛孔自下向上依次增大。

作为本实用新型再进一步的方案：所述转轴伸出凸轮的一端外壁固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮的一侧啮合有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮内壁固定套接有连杆，所述连杆伸出第二锥齿轮的一端外壁固定套接有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮的一侧啮合有第四锥齿轮，所述搅拌杆伸出箱盖顶部的一端外壁与第四锥齿轮固定套接，所述第二锥齿轮与第三锥齿轮之间设有与箱盖顶部固定连接的固定座，且固定座与连杆转动连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述搅拌杆的外壁固定安装有若干搅拌叶，所述箱体的内壁固定安装有加热板，所述箱体底部内壁固定连接有横杆，且横杆与搅拌杆转动连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述结晶箱的外壁开设有呈螺旋分布的安装槽，所述安装槽内部固定安装有冷凝管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用使用时将半导体原料放置在筛选箱内，启动电机，电机带动转轴转动，进而使得凸轮转动，凸轮的转动会带动撞击块移动，进而带动支撑板滑动，支撑板的滑动使得筛选箱向左移动，支撑板在对固定板靠近时，使得弹簧处于压缩状态，当凸轮远离撞击块时，支撑板会在弹簧作用下复位使得筛选箱向右移动，从而使筛选箱产生晃动，进而使筛选箱内部的半导体材料顺着筛网依次筛选掉落，使得筛选后的材料颗粒更加的细小，加快了筛选速度，提高了筛选效率；

2、即上述操作之后，筛选后的材料从筛选箱底部掉落，进入进料仓，进而顺着进料仓掉落到箱体内部，此时加热板对箱体内部加热，使得箱体内部的温度升高，进而加快了半导体材料的融化，便于后续结晶，转轴带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮的转动使得第二锥齿轮转动，第二锥齿轮的转动带动连杆转动，进而使得第三锥齿轮转动，第三锥齿轮的转动带动第四锥齿轮转动，第四锥齿轮的转动带动搅拌杆转动，进而使得搅拌叶绕着搅拌杆转动，对箱体内部的材料进行搅拌处理，加快熔融速率，节省熔融时间，之后熔融后的材料流入结晶箱中，对结晶箱外部的冷凝管中持续通入冷凝液对结晶箱内部进行降温处理，使得熔融材料在结晶箱内部结晶，使半导体材料结晶析出，提高结晶速率，保障结晶的快速有效进行。

附图说明

图1为一种半导体材料结晶炉的结构示意图；

图2为一种半导体材料结晶炉的俯视图；

图3为一种半导体材料结晶炉中结晶箱结构示意图。

图中：结晶箱1、冷凝管2、箱体3、加热板4、箱盖5、固定板6、竖板7、支撑板8、筛选箱9、进料仓10、撞击块11、凸轮12、转轴13、滑轨14、搅拌杆15、搅拌叶16、第一锥齿轮17、第二锥齿轮18、连杆19、第三锥齿轮20、第四锥齿轮21。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种半导体材料结晶炉，包括箱体3，箱体3的底部固定安装有结晶箱1，箱体3的顶部内壁转动连接有搅拌杆15，箱体3的顶部固定安装有箱盖5，箱盖5的顶部一侧固定连接有进料仓10，且进料仓10与箱体3内部连通，进料仓10两侧均设置有与箱盖5固定安装的滑轨14，进料仓10的上方设置有筛选箱9，筛选箱9的两侧均焊接有与滑轨14滑动连接的支撑板8，且支撑板8的形状为L形，箱盖5顶部一侧固定连接有固定板6，固定板6靠近支撑板8的一侧焊接有横轴，且横轴的外壁与支撑板8滑动连接，横轴远离固定板6的一端固定连接有竖板7，横轴的外壁套接有弹簧，且弹簧位于固定板6与支撑板8之间，筛选箱9远离固定板6的一侧设有与支撑板8底部固定连接的撞击块11，撞击块11远离筛选箱9的一侧设置与箱盖5顶部固定安装的电机，电机的驱动端固定连接有转轴13，转轴13的外壁固定套接有凸轮12，且凸轮12与撞击块11抵接，筛选箱9的内壁设置有等距分布的三组筛网，且筛网的筛孔自下向上依次增大，转轴13伸出凸轮12的一端外壁固定连接有第一锥齿轮17，第一锥齿轮17的一侧啮合有第二锥齿轮18，第二锥齿轮18内壁固定套接有连杆19，连杆19伸出第二锥齿轮18的一端外壁固定套接有第三锥齿轮20，第三锥齿轮20的一侧啮合有第四锥齿轮21，搅拌杆15伸出箱盖5顶部的一端外壁与第四锥齿轮21固定套接，第二锥齿轮18与第三锥齿轮20之间设有与箱盖5顶部固定连接的固定座，且固定座与连杆19转动连接，搅拌杆15的外壁固定安装有若干搅拌叶16，箱体3的内壁固定安装有加热板4，箱体3底部内壁固定连接有横杆，且横杆与搅拌杆15转动连接，结晶箱1的外壁开设有呈螺旋分布的安装槽，安装槽内部固定安装有冷凝管2。

本实用新型的工作原理是：

使用时将半导体原料放置在筛选箱9内，启动电机，电机带动转轴13转动，进而使得凸轮12转动，凸轮12的转动会带动撞击块11移动，进而带动支撑板8滑动，支撑板8的滑动使得筛选箱9向左移动，支撑板8在对固定板6靠近时，使得弹簧处于压缩状态，当凸轮12远离撞击块11时，支撑板8会在弹簧作用下复位使得筛选箱9向右移动，从而使筛选箱9产生晃动，进而使筛选箱9内部的半导体材料顺着筛网依次筛选掉落，使得筛选后的材料颗粒更加的细小，加快了筛选速度，提高了筛选效率；

即上述操作之后，筛选后的材料从筛选箱9底部掉落，进入进料仓10，进而顺着进料仓10掉落到箱体3内部，此时加热板4对箱体3内部加热，使得箱体3内部的温度升高，进而加快了半导体材料的融化，便于后续结晶，转轴13带动第一锥齿轮17转动，第一锥齿轮17的转动使得第二锥齿轮18转动，第二锥齿轮18的转动带动连杆19转动，进而使得第三锥齿轮20转动，第三锥齿轮20的转动带动第四锥齿轮21转动，第四锥齿轮21的转动带动搅拌杆15转动，进而使得搅拌叶16绕着搅拌杆15转动，对箱体3内部的材料进行搅拌处理，加快熔融速率，节省熔融时间，之后熔融后的材料流入结晶箱1中，对结晶箱1外部的冷凝管2中持续通入冷凝液对结晶箱1内部进行降温处理，使得熔融材料在结晶箱1内部结晶，使半导体材料结晶析出，提高结晶速率，保障结晶的快速有效进行。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体材料结晶炉，包括箱体（3），其特征在于：所述箱体（3）的底部固定安装有结晶箱（1），所述箱体（3）的顶部内壁转动连接有搅拌杆（15），所述箱体（3）的顶部固定安装有箱盖（5），所述箱盖（5）的顶部一侧固定连接有进料仓（10），且进料仓（10）与箱体（3）内部连通，所述进料仓（10）两侧均设置有与箱盖（5）固定安装的滑轨（14），所述进料仓（10）的上方设置有筛选箱（9），所述筛选箱（9）的两侧均焊接有与滑轨（14）滑动连接的支撑板（8），且支撑板（8）的形状为L形，所述箱盖（5）顶部一侧固定连接有固定板（6），所述固定板（6）靠近支撑板（8）的一侧焊接有横轴，且横轴的外壁与支撑板（8）滑动连接，所述横轴远离固定板（6）的一端固定连接有竖板（7），所述横轴的外壁套接有弹簧，且弹簧位于固定板（6）与支撑板（8）之间。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述筛选箱（9）远离固定板（6）的一侧设有与支撑板（8）底部固定连接的撞击块（11），所述撞击块（11）远离筛选箱（9）的一侧设置与箱盖（5）顶部固定安装的电机，所述电机的驱动端固定连接有转轴（13），所述转轴（13）的外壁固定套接有凸轮（12），且凸轮（12）与撞击块（11）抵接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述筛选箱（9）的内壁设置有等距分布的三组筛网，且筛网的筛孔自下向上依次增大。

4.根据权利要求2所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述转轴（13）伸出凸轮（12）的一端外壁固定连接有第一锥齿轮（17），所述第一锥齿轮（17）的一侧啮合有第二锥齿轮（18），所述第二锥齿轮（18）内壁固定套接有连杆（19），所述连杆（19）伸出第二锥齿轮（18）的一端外壁固定套接有第三锥齿轮（20），所述第三锥齿轮（20）的一侧啮合有第四锥齿轮（21），所述搅拌杆（15）伸出箱盖（5）顶部的一端外壁与第四锥齿轮（21）固定套接，所述第二锥齿轮（18）与第三锥齿轮（20）之间设有与箱盖（5）顶部固定连接的固定座，且固定座与连杆（19）转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述搅拌杆（15）的外壁固定安装有若干搅拌叶（16），所述箱体（3）的内壁固定安装有加热板（4），所述箱体（3）底部内壁固定连接有横杆，且横杆与搅拌杆（15）转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述结晶箱（1）的外壁开设有呈螺旋分布的安装槽，所述安装槽内部固定安装有冷凝管（2）。

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