CN214088638U - 一种真空涂层设备用真空室的冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，包括真空室、循环泵、换热装置、冷却装置、与真空室相连通的惰性气体瓶；真空室的上端和下端均开设有一个标准法兰口，两个标准法兰口上均焊接有密封法兰，真空室与循环泵通过第一管道和第二管道相连通，第一管道的出口端与循环泵的进口端相连通，第一管道的进口端与真空室上的其中一个密封法兰固定连接，第二管道的出口端与真空室上的另外一个密封法兰固定连接，第二管道的进口端与循环泵的出口端相连通；换热装置固定设于第一管道上，冷却装置与换热装置相互连通，换热装置外部设有箱体，换热装置固定设于箱体内，第一管道与箱体相互连通。本实用新型具有节能环保、提高生产效率的优点。

Description

一种真空涂层设备用真空室的冷却装置

技术领域

本实用新型涉及真空涂层设备冷却领域，特别涉及一种真空涂层设备用真空室的冷却装置。

背景技术

真空涂层设备的涂层温度为450-470摄氏度，产品涂层结束后，需要冷却到150摄氏度左右才可以打开真空室，若未降温到150摄氏度打开真空室，则涂层的产品容易氧化，进而造成涂层失效，但是从450摄氏度冷却到150摄氏度，大概需要1.5-2小时，浪费了大量的时间，也降低了设备的生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，具有节能环保、提高生产效率的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，其特征在于：包括位于真空涂层设备中的真空室、循环泵、换热装置、冷却装置、惰性气体瓶；

所述惰性气体瓶与真空室相连通；

所述真空室的上端和下端均开设有一个标准法兰口，两个所述标准法兰口上均焊接有密封法兰，所述真空室与循环泵通过第一管道和第二管道相连通，所述第一管道的出口端与循环泵的进口端相连通，所述第一管道的进口端与真空室上的其中一个密封法兰固定连接，所述第二管道的出口端与真空室上的另外一个密封法兰固定连接，所述第二管道的进口端与循环泵的出口端相连通；

所述换热装置固定设于第一管道上，所述冷却装置与换热装置相互连通，所述换热装置外部设有箱体，所述换热装置固定设于箱体内，所述第一管道与箱体相互连通。

其中优选方案如下：

优选的：所述惰性气体瓶上设有惰性气体输送管道，所述惰性气体输送管与真空室相连通，所述惰性气体输送管道位于真空室的顶部。惰性气体储存在惰性气体瓶中，使用时从惰性气体通过惰性气体输送管道从惰性气体瓶进入到真空室中，当冷却完成后，打开真空室，惰性气体释放于大气中。

优选的：所述惰性气体为氩气。氩气属于惰性气体，是一种稳定的不燃气体，因此可以用于给真空室降温。

优选的：所述换热装置由若干排呈S状的水管首尾依次相连而成，所述冷却装置为冷水机，所述冷水机的出口端与换热装置的水管尾部的进口端相连通，所述冷水机的进口端与换热装置的水管头部的出口端相连通。利用水管形成换热装置，用来给惰性气体进行降温。

优选的：所述惰性气体输送管道与真空室的连通处设有球阀，所述真空室上装有真空计，通过真空计观察真空室内的真空度,进而控制惰性气体进入真空室的流量，当真空室内的真空度达到设定值100Pa-1000Pa时，工作人员关闭球阀，惰性气体停止进入真空室。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

通过循环泵的设置，能够起到惰性气体在真空室中加速流动的效果；通过冷却装置与换热装置的设置，能够起到对惰性气体进行降温的效果。本实用新型具有节能环保、提高生产效率的优点。

附图说明

图1是实施例的整体结构示意图；

图2是实施例的换热装置的结构示意图。

图中，1、真空室；2、循环泵；3、换热装置；4、冷却装置；5、惰性气体瓶；6、真空计；111、密封法兰；112、第一管道；113、第二管道；114、球阀； 311、箱体；312、水管；511、惰性气体输送管道。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

如图1-2所示，一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，包括位于真空涂层设备中的真空室1、循环泵2、换热装置3、冷却装置4、惰性气体瓶5，在真空室1上开设有两个标准法兰口，在标准法兰口上焊接有密封法兰111，在真空室1与循环泵2之间分别设有第一管道112与第二管道113，第一管道112的出口端与循环泵2的进口端相连通，第一管道112的进口端与真空室1上的其中一个密封法兰111固定连接，第二管道113的出口端与真空室1上的另外一个密封法兰111固定连接，第二管道113的进口端与循环泵2的出口端相连通，在第一管道112上设置有换热装置3，换热装置3位于一个方形的箱体311中，该箱体311与第一管道112相互连通，位于第一管道112与第二管道113上的循环泵2通过第一管道112将真空室1内的惰性气体抽出，经过第一管道112 时，将惰性气体进行冷却，经过循环泵2后再经过第二管道113，再进入真空室 1中，由于我们惰性气体使用的是氩气，氩气的密度大于空气，相对密度(空气＝1)1.38，因此氩气会往下沉，所以，我们将第一管道112设于真空室1的下端，将第二管道113设于真空室1的上端，方便对氩气进行冷却，若使用密度小于空气的惰性气体，则将第一管道112与第二管道113的位置兑换，第一管道112 的出口端仍与循环泵2的进口端相连通，第二管道113的进口端仍与循环泵2 的出口端相连通。

换热装置3由若干排呈S状的水管312首尾依次相连而成，冷却装置4为冷水机，冷水机的出口端与换热装置3的水管312尾部的进口端相连通，冷水机的进口端与换热装置3的水管312头部的出口端相连通。冷水机往换热装置3 中输送水，对需要冷却的氩气进行冷却，水一直保持流动，从水管312的进口端到水管的出口端，再进入冷水机中，利用冷水机对被氩气加热后的水进行冷却，往复循环，进而达到对氩气的冷却效果。

惰性气体瓶5上设有惰性气体输送管道511，惰性气体输送管511与真空室 1相连通，同样由于氩气的密度问题，惰性气体输送管道511位于真空室1的顶部，惰性气体输送管道511与真空室1的连通处设有球阀114，球阀114控制惰性气体进入真空室1，通过惰性气体输送管道511，在真空室1的上安装有真空计6，通过真空计6观察真空室1内的真空度,来控制惰性气体进入真空室1的流量，当真空室内的真空度达到设定值100Pa-1000Pa时，工作人员关闭球阀114，惰性气体停止进入真空室1。

具体实施过程：

当真空涂层设备工作完后，真空室1内的温度达到450-470摄氏度，此时，打开惰性气体输送管道511上的球阀114，将位于惰性气体瓶5中的氩气抽入到真空室1内，由于氩气的密度问题，氩气会向下沉，当氩气被抽到真空室1后，对真空室1内进行冷却，当真空室真空度达到100-1000Pa时，关闭位于惰性气体输送管道511上的球阀114，启动冷水机，利用冷水机和换热装置3进行冷却，再启动位于第一管道112和第二管道113上的循环泵，将位于真空室1底部的氩气抽到第一管道112中，在箱体311中与水管312进行热交换后再通过位于第一管道112和第二管道113上的循环泵2进入到第二管道113中，最后进入到真空室1的内部上方，进行循环，当温度达到150摄氏度后，关闭位于第一管道112和第二管道113上的循环泵2和冷水机，打开真空室1，取出涂层完工件，在室内进行冷却，同时，开始下一批工件的涂层。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (5)

1.一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，其特征在于：包括位于真空涂层设备中的真空室(1)、循环泵(2)、换热装置(3)、冷却装置(4)、惰性气体瓶(5)；

所述惰性气体瓶(5)与真空室(1)相连通；

所述真空室(1)的上端和下端均开设有一个标准法兰口，两个所述标准法兰口上均焊接有密封法兰(111)，所述真空室(1)与循环泵(2)通过第一管道(112)和第二管道(113)相连通，所述第一管道(112)的出口端与循环泵(2)的进口端相连通，所述第一管道(112)的进口端与真空室(1)上的其中一个密封法兰(111)固定连接，所述第二管道(113)的出口端与真空室(1)上的另外一个密封法兰(111)固定连接，所述第二管道(113)的进口端与循环泵(2)的出口端相连通；

所述换热装置(3)固定设于第一管道(112)上，所述冷却装置(4)与换热装置(3)相互连通，所述换热装置(3)外部设有箱体(311)，所述换热装置(3)设于箱体(311)内，所述第一管道(112)与箱体(311)相互连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，其特征在于：所述惰性气体瓶(5)上设有惰性气体输送管道(511)，所述惰性气体输送管道(511)与真空室(1)相连通，所述惰性气体输送管道(511)位于真空室(1)的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，其特征在于：所述惰性气体为氩气。

4.根据权利要求1所述的一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，其特征在于：所述换热装置(3)由若干排呈S状的水管(312)首尾依次固定相连通而成，所述冷却装置(4)为冷水机，所述冷水机的出口端与换热装置(3)的水管(312)尾部的进口端相连通，所述冷水机的进口端与换热装置(3)的水管(312)头部的出口端相连通。

5.根据权利要求2所述的一种真空涂层设备用真空室的冷却装置，其特征在于：所述惰性气体输送管道(511)与真空室(1)的连通处设有球阀(114)，所述真空室(1)上装有真空计(6)。

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