CN214068702U - 一种适用于湿法设备的ffu系统联动循环结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其技术方案要点是包括外壳，通过在外壳内设置分隔组件，使得气流空间分隔成第一空间和第二空间，通过在第三隔板上设置两个通气组件，使得工艺槽体区域和排气区域相互连通，通过在第三隔板上设置容纳组件，以防止酸气回流，通过在第二隔板上设置阻挡组件，以防止凝结液进入通气组件，通过在排气管内设置调节组件，以调节排气管开口的大小，通过在气流空间上设置导流组件，以加快气流空间内气体的流速，通过在外壳上设置隐蔽组件，以收纳FFU壳体的电线，通过在FFU壳体和走线壳体之间设置嵌合组件，使得FFU壳体与走线壳体相互贯通，通过在外壳上设置定位组件，以定位FFU壳体。

Description

一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构

技术领域

本实用新型涉及湿法设备技术领域，更具体的说是涉及一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构。

背景技术

湿法设备包括外壳，外壳内包括气流空间、机器手臂区域、工艺槽体区域和抽气区域，工艺槽体区域位于机器手臂区域和抽气区域之间，抽气区域外侧设置有抽气设备，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，机器手臂区域和工艺槽体区域之间设置有第一隔板，工艺槽体区域内设置有第二隔板，工艺槽体区域和排气区域之间设置有第三隔板，外壳顶面上设置有FFU系统，FFU系统包括FFU壳体；

工艺槽体区域中会进行湿法化学反应，化学反应会产生酸气，一部分酸气会向上挥发至气流空间，酸气会对湿法设备内的机器造成腐蚀，从而影响机器的使用寿命，因此需要对酸气进行处理，通常使用抽气设备将酸气抽出至设备外部，抽气设备工作时，工艺槽体区域内的压力和温度会发生变化，使得湿法化学反应过程中产生的液体形成凝结液，酸气抽出的同时通过FFU系统向外壳内部注入新鲜的气流；

第三隔板上通常设置有开口，抽气区域内通常设置有管道，抽气设备工作时，工艺槽体区域中的酸气从开口进入管道，然后通过管道排出至外壳外部，当管道内的酸气过多使得酸气无法及时排出时，会导致酸气回流至开口处，然后回流至工艺槽体区域，酸气在外壳内部来回流动，造成气体的不良循环，且会对外壳内的机器造成腐蚀。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，用于防止酸气回流。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，包括外壳，所述外壳内设置有分隔组件，所述分隔组件用以将气流空间分隔成第一空间和第二空间，第三隔板上设置有两个通气组件，所述通气组件用以将工艺槽体区域和排气区域相互连通，第三隔板远离工艺槽体区域的一侧设置有容纳组件，所述容纳组件用以防止酸气回流，所述容纳组件包括容纳盒，所述容纳盒内开设有容纳槽，第二隔板上设置有阻挡组件，所述阻挡组件包括挡板，所述挡板用以防止凝结液进入所述通气组件，排气区域内设置有排气管，所述排气管内设置有调节组件，所述调节组件用以调节所述排气管开口的大小，当抽气设备工作时，酸气依次通过所述通气组件、所述容纳组件和所述排气管；

所述气流空间上设置有导流组件，所述导流组件包括第一导流板和第二导流板，所述第一导流板和所述第二导流板的一端均与外壳顶壁固定连接，所述第一导流板和所述第二导流板均倾斜设置，且所述第一导流板和所述第二导流板靠近外壳顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板和所述第二导流板远离所述外壳顶面的一端之间的距离，所述外壳上设置有隐蔽组件，所述隐蔽组件包括走线壳体，所述走线壳体上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳FFU壳体的电线，所述走线壳体侧面开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通，FFU壳体与所述走线壳体之间设置有嵌合组件，所述嵌合组件包括连接件，所述连接件与所述走线壳体之间设置有嵌合部，所述嵌合部包括弹压键，所述弹压键与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键的一部分位于所述走线槽内，电线穿过所述连接件和所述弹压键进入所述走线槽内，所述外壳上设置有定位组件，所述定位组件包括两个第一定位部，两个所述第一定位部之间形成有容纳空间，所述容纳空间用以容纳FFU壳体，所述第一定位部包括第一定位板和两个第二定位板，两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成，其中一个所述第一定位板位于FFU壳体与所述走线壳体之间，且开设有第二通孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述分隔组件包括第一分隔板和第二分隔板，所述第一分隔板与第一隔板顶面可拆卸连接，所述第二分隔板与所述外壳顶壁可拆卸连接，所述第二分隔板位于所述第一分隔板上方，所述第一分隔板和所述第二分隔板之间留有间隙。

作为本实用新型的进一步改进，第二隔板上开设有两个连通孔，所述通气组件包括连接板，所述连接板与所述连通孔相适配且一一对应，所述连接板上设置有若干组通气部，所述通气部包括若干个并列设置的通气孔，所述连通孔上均设置有过滤网，所述通气孔用以酸气流通。

作为本实用新型的进一步改进，所述挡板上设置有若干阻挡件，所述阻挡件用以防止凝结液下落。

作为本实用新型的进一步改进，所述调节组件包括调节板和调节杆，所述调节杆与所述排气管内壁转动连接，所述调节杆与所述调节板可拆卸连接，所述调节板上设置有气压传感器，所述气压传感器用以检测排气管内的气压，以便于根据气压对排气管的开口大小进行调节。

作为本实用新型的进一步改进，所述排气管的内径沿靠近所述连通孔至远离所述连通孔逐渐减小，所述排气管内壁上设置有保护层，使得酸气的流速加快。

作为本实用新型的进一步改进，两个所述连通孔均与所述容纳槽相互贯通，所述容纳盒的长度与第三隔板的长度相同，所述容纳盒的高度大于所述连接板的高度，所述容纳盒的宽度小于所述排气管长度的四分之一，且大于所述排气管长度的五分之一，所述容纳盒用以防止酸气回流。

作为本实用新型的进一步改进，外壳上设置有气氛部，气氛部包括第一气氛导流孔和第二气氛导流孔，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔均开设于外壳顶面，所述第一气氛导流孔与所述第一空间相互贯通，所述第二气氛导流孔与所述第二空间相互贯通，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔之间形成有连接段，所述第二分隔板与所述连接段可拆卸连接，所述第一导流板位于所述第一空间内，所述第二导流板位于所述第二空间内，FFU系统通过所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔向所述外壳内部注入气流，使得气流可以进入第一空间和第二空间。

作为本实用新型的进一步改进，两个所述第一定位部之间设置有两个第二定位部，所述第一定位部与所述第二定位部一一对应，所述第二定位部包括第三定位板，所述第三定位板与相对应的所述第一定位板相互平行，且所述第三定位板与相对应的所述第一定位板之间设置有若干弹性件，通过弹性件使得FFU壳体在外壳上方保持稳定。

作为本实用新型的进一步改进，所述外壳底部设置有若干万向轮，所述万向轮便于外壳移动至其他位置。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过在外壳内设置分隔组件，使得气流空间分隔成第一空间和第二空间，通过在第三隔板上设置两个通气组件，使得工艺槽体区域和排气区域相互连通，通过在第三隔板上设置容纳组件，以防止酸气回流，通过在第二隔板上设置阻挡组件，以防止凝结液进入通气组件，通过在排气管内设置调节组件，以调节排气管开口的大小，通过在气流空间上设置导流组件，以加快气流空间内气体的流速，通过在外壳上设置隐蔽组件，以收纳FFU壳体的电线，通过在FFU壳体和走线壳体之间设置嵌合组件，使得FFU壳体与走线壳体相互贯通，通过在外壳上设置定位组件，以定位FFU壳体。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型图1中A处的放大结构示意图；

图3是本实用新型的主视结构示意图；

图4是本实用新型图3中B处的放大结构示意图；

图5是本实用新型的俯视结构示意图。

附图标记：1、分隔组件；11、第一分隔板；12、第二分隔板；2、通气组件；21、连接板；22、通气部；3、容纳组件；31、容纳盒；4、阻挡组件；41、挡板；5、调节组件；51、调节板；52、调节杆；6、导流组件；61、第一导流板；62、第二导流板；7、隐蔽组件；71、走线壳体；8、嵌合组件；81、连接件；82、嵌合部；83、弹压键；9、定位组件；91、第一定位板；92、第二定位板；10、排气管；13、气氛部；131、第一气氛导流孔；132、第二气氛导流孔；133、连接段；14、万向轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

参照图1至图5所示，本实施例的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，包括外壳，外壳内设置有分隔组件1，分隔组件1用以将气流空间分隔成第一空间和第二空间，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，第一空间位于机器手臂区域上方，第二空间位于工艺槽体区域上方，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，酸气一般会往上挥发，工艺槽体一侧设置有抽气区域，可以将部分酸气抽至外壳外部进行排放处理，但仍有少部分酸气会继续往上挥发，进入第二空间，分隔组件1包括第一分隔板11和第二分隔板12，通过第一分隔板11和第二分隔板12将机器手臂区域和工艺槽体区域相互贯通的空间减小，使得从第二空间流通至第一空间的酸气减少，防止酸气对机器手臂区域的器械造成腐蚀，第一分隔板11与第一隔板顶面可拆卸连接，第二分隔板12与外壳顶壁可拆卸连接，第一分隔板11和第二分隔板12通过螺栓分别与第一隔板和外壳可拆卸连接，当第一分隔板11和第二分隔板12受到酸气腐蚀而损坏时，便于快速进行替换，第二分隔板12位于第一分隔板11上方，第一分隔板11和第二分隔板12之间留有间隙，使得第一空间和第二空间相互贯通，便于形成良好的循环。

第三隔板上设置有两个通气组件2，通气组件2用以将工艺槽体区域和排气区域相互连通，使得酸气可以从工艺槽体区域流至排气区域，从而对酸气进行排出，并通过调节组件5控制酸气排出的量，以维持气体环境的稳定，第二隔板上开设有两个连通孔，通常直接在第二隔板上开设一个较大范围的开口，抽气设备直接通过开口对酸气进行抽取，酸气抽出的效率不高，设置两个连通孔，使得酸气抽出的效率相比开设一个开口高，通气组件2包括连接板21，连接板21与连通孔相适配且一一对应，连接板21可以将连通孔覆盖，使得酸气通过通气孔向排气区域流通，从而对酸气进行排出，并通过调节组件5控制酸气排出的量，以维持气体环境的稳定，连接板21上设置有若干组通气部22，通气部22包括若干个并列设置的通气孔，通气孔的横截面积较小，工艺槽体区域的空间较大，当抽气设备工作时，酸气从工艺槽体区域流向通气孔，使得靠近通气孔的酸气的流速大于远离通气孔的酸气的流速，酸气流速加快，使得酸气抽出的效率提高，防止了酸气腐蚀机器，连通孔上均设置有过滤网，防止其他杂物被吸入排气管10，将排气管10堵塞。

第三隔板远离工艺槽体区域的一侧设置有容纳组件3，容纳组件3用以防止酸气回流，当排气管10内的酸气过多使得酸气无法及时排出时，会导致酸气回流至通气孔，然后回流至工艺槽体区域，酸气在外壳内部来回流动，造成气体的不良循环，且会对外壳内的机器造成腐蚀，因此需要在连接板21和排气管10之间设置容纳组件3，通过通纳组件防止酸气回流，容纳组件3包括容纳盒31，容纳盒31内开设有容纳槽，两个连通孔均与容纳槽相互贯通，容纳盒31的长度与第三隔板的长度相同，容纳盒31的高度大于连接板21的高度，容纳盒31的宽度小于排气管10长度的四分之一，且大于排气管10长度的五分之一，当抽气设备工作时，酸气从工艺槽体区域通过通气组件2，然后进入容纳槽内，容纳盒31内的空间较大，防止酸气流速过快时，容纳盒31被酸气充满，酸气回流至工艺槽体区域，对机器造成腐蚀。

第二隔板上设置有阻挡组件4，抽气设备工作时，工艺槽体区域内的压力和温度会发生变化，使得湿法化学反应过程中产生的液体形成凝结液，阻挡组件4用以防止凝结液进入通气组件2，阻挡组件4包括挡板41，挡板41用以防止凝结液进入通气组件2，当抽气设备工作时，凝结液在抽气设备的带动下向通气组件2流动，在到达通气组件2所在处之前，先到达挡板41处，因此会附着在挡板41上，避免了凝结液到达通气组件2所在处并附着在通气组件2上，不影响酸气的正常流通。挡板41上设置有若干阻挡件(图中未示出)，阻挡件用以防止凝结液下落，阻挡件为四个阻挡板41，阻挡板41并列固定在挡板41上，凝结液附着在挡板41上时，可能会向下滑落，通过挡板41将滑落的凝结液收集在挡板41上，防止凝结液向下滴落污染机器。

排气区域内设置有排气管10，排气管10的一端与容纳槽相互贯通，排气管10的另一端与抽气设备连通，当抽气设备工作时，酸气从工艺槽体区域通过通气组件2，进入容纳槽内，然后通过排气管10被排出至外壳外部，有效的排出酸气，使得酸气无法对机器造成腐蚀，当抽气设备工作时，酸气依次通过通气组件2、容纳组件3和排气管10，排气管10内设置有调节组件5，调节组件5用以调节排气管10开口的大小，当外壳内气体过多时，通过调节组件5将排气管10的开口调大，使得抽气设备向外壳外部抽出的气体增多，当外壳内气体不多时，通过调节组件5将排气管10的开口调小，使得抽气设备向外壳外部抽出的气体减少，从而维持外壳内部气体环境的相对稳定，调节组件5包括调节板51和调节杆52，当外壳内的气体过多时，通过调节杆52在排气管10内部转动，带动调节板51在排气管10内部转动，使得调节板51的顶部和底部与排气管10内壁的间距变大，使得排气管10的开口增大，抽气设备向外壳外部抽出的气体增多，当外壳内的气体过少时，通过调节杆52在排气管10内部转动，带动调节板51在排气管10内部转动，使得调节板51的顶部和底部与排气管10内壁的间距变小，使得排气管10的开口增小，抽气设备向外壳外部抽出的气体减少，从而维持外壳内部气体环境的相对稳定，调节杆52与排气管10内壁转动连接，调节杆52与调节板51可拆卸连接，调节板51上设置有气压传感器。通过气压传感器对外壳内气体的多少进行检测，当气压传感器检测到外壳内的气体压强过大时，表示外壳内部气体过多，通过调节杆52在排气管10内部转动，带动调节板51在排气管10内部转动，使得调节板51的顶部和底部与排气管10内壁的间距变大，使得排气管10的开口增大，抽气设备向外壳外部抽出的气体增多，当气压传感器检测到外壳内的气体压强过小时，表示外壳内部气体过少，通过调节杆52在排气管10内部转动，带动调节板51在排气管10内部转动，使得调节板51的顶部和底部与排气管10内壁的间距变小，抽气设备向外壳外部抽出的气体减少，使得气体环境保持相对稳定。排气管10的内径沿靠近连通孔至远离连通孔逐渐减小，酸气经过排气管10时，酸气可以流通的空间逐渐减小，使得酸气的流速增大，加快了酸气排出的速度，排气管10内壁上设置有保护层，所述防护层的材料为三聚乙烯，保护层用以保护排气管10，防止长时间酸气经过排气管10导致排气管10被腐蚀。

参照图1至图5所示，外壳上设置有气氛部13，外壳顶面设置有FFU系统，FFU系统包括FFU壳体，FFU系统通过第一气氛导流孔131和第二气氛导流孔132向外壳内部注入新鲜的气体，在新鲜气体的流动作用下将酸气带回至工艺槽体区域，通过抽气设备进行排出，气氛部13包括第一气氛导流孔131和第二气氛导流孔132，第一气氛导流孔131和第二气氛导流孔132均开设于外壳顶面，第一气氛导流孔131与第一空间相互贯通，第二气氛导流孔132与第二空间相互贯通，FFU系统位于外壳上方，FFU系统通过第一气氛导流孔131和第二气氛导流孔132与外壳内部相互贯通，FFU系统通过第一气氛导流孔131向第一空间内通气，通过第二气氛导流孔132向第二空间内通气，以使酸气无法在第一空间和第二空间停留，保护器械不受损伤，第一气氛导流孔131和第二气氛导流孔132之间形成有连接段133，第二分隔板12与连接段133可拆卸连接，第二分隔板12通过螺栓与连接段133可拆卸连接，当第二分隔板12受到酸气腐蚀而损坏时，便于快速进行替换。

气流空间上设置有导流组件6，通过设置导流组件6，可以加快FFU系统向第一空间和第二空间内注入的气流的流速，使得酸气在流速较快的气体的作用下，流回工艺槽体区域上方，进而通过抽气区域进行抽离，导流组件6包括第一导流板61和第二导流板62，第一导流板61和第二导流板62的一端均与外壳顶壁固定连接，第一导流板61和第二导流板62均倾斜设置，且第一导流板61和第二导流板62靠近外壳顶面的一端之间的距离大于第一导流板61和第二导流板62远离外壳顶面的一端之间的距离，第一导流板61位于第一空间内，第一导流板61倾斜设置，第一导流板61与第二分隔板12之间的距离沿外壳顶部至外壳底部越来越小，当FFU系统的气体从上往下经过第一导流板61时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第一空间处的气体流速快，而第一分隔板11与第二分隔板12之间的间隙处的酸气的流速缓慢，因此酸气无法通过第一分隔板11与第二分隔板12之间的间隙进入第一空间，无法腐蚀机器手臂区域内的器械，第二导流板62位于第二空间内，第二导流板62倾斜设置，第二导流板62与第二分隔板12之间的距离沿外壳顶部至外壳底部越来越小，当FFU系统的气体从上往下经过第二导流板62时，气流流通的空间越来越小，因此气流的流速会变快，第二空间处的气体流速较快，而第二空间内的酸气的流速较为缓慢，因此第二空间内的酸气可以在第二空间的气体的流动下一起远离第二空间，然后通过抽气设备进行抽除。

外壳上设置有隐蔽组件7，隐蔽组件7包括走线壳体71，FFU系统需要布线，电线长时间裸露在空气中会使得电线上堆积大量的灰尘，从而加快电线老化的速度，增加安全隐患，通过设置走线壳体71使得FFU系统的电线可以被收纳在走线槽内，以防止电线老化，走线壳体71上开设有走线槽，走线槽用以收纳FFU壳体的电线，防止电线沾灰，走线壳体71侧面开设有第一通孔，第一通孔与走线槽相互贯通，第一通孔用以连接弹压键83，弹压键83与第一通孔相互卡合，使得通过弹压键83进入第一通孔的电线不会因为弹压键83与第一通孔相互脱离而遭到损坏。

FFU壳体与走线壳体71之间设置有嵌合组件8，通过设置嵌合组件8，使得FFU壳体与走线壳体71之间的电线可以相互贯通，使得电线可以被收纳，嵌合组件8包括连接件81，连接件81与走线壳体71之间设置有嵌合部82，嵌合部82使得连接件81与走线壳体71相互连接，不会脱离，防止通过连接件81进入走线壳体71的电线因为连接件81与走线壳体71相互脱离而遭到损坏，嵌合部82包括弹压键83，弹压键83与第一通孔相适配，以使弹压键83的一部分位于走线槽内，电线穿过连接件81和弹压键83进入走线槽内，当需要将弹压键83和第一通孔连接时，操作人员将弹压键83塞入第一通孔内，以使弹压键83与第一通孔相互卡合，使得弹压键83无法从第一通孔脱离，弹压键83的一部分位于走线槽内，此时电线可以穿过连接件81和弹压键83进入走线槽内。

外壳上设置有定位组件9，通过设置定位组件9使得FFU壳体能有效安装，使得FFU壳体在外壳上方保持稳定，防止FFU系统的气流直接通过FFU壳体与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证装置的气密性，定位组件9包括两个第一定位部，两个第一定位部之间形成有容纳空间，容纳空间用以容纳FFU壳体，第一定位部包括第一定位板91和两个第二定位板92，两个第二定位板92通过第一定位板91一体形成，其中一个第一定位板91位于FFU壳体与走线壳体71之间，且开设有第二通孔，连通孔用以穿过连接件81，以使连接件81的一端可以与FFU壳体连接，使得FFU系统的电线可以通过连接件81进入走线壳体71内进行收纳，两个第一定位部之间设置有两个第二定位部(图中未示出)，第一定位部与第二定位部一一对应，第二定位部包括第三定位板，第三定位板与相对应的第一定位板91相互平行，且第三定位板与相对应的第一定位板91之间设置有若干弹性件，所述弹性件为弹簧，所述弹簧的数量为四个，当需要固定FFU壳体时，操作人员将FFU壳体塞入两个第三定位板之间的空间，通过FFU壳体向外挤压相对设置的两块第三定位板，使得第一定位板91和第三定位板之间的压缩弹簧受力压缩，FFU壳体进入两个第三定位板之间的空间，通过压缩弹簧的回复力使得FFU壳体在两个第三定位板之间被固定，防止FFU系统的气流直接通过FFU壳体与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证装置的气密性。外壳底部设置有若干万向轮14，所述万向轮14的数量为四个，当需要在其他地方进行湿法实验时，不需要操作人员费力搬动外壳，通过万向轮14便于将外壳移动至需要进行实验的地方进行湿法实验。

工作原理：当需要固定FFU壳体时，操作人员将FFU壳体塞入两个第三定位板之间的空间，通过FFU壳体向外挤压相对设置的两块第三定位板，使得第一定位板91和第三定位板之间的压缩弹簧受力压缩，FFU壳体进入两个第三定位板之间的空间，通过压缩弹簧的回复力使得FFU壳体在两个第三定位板之间被固定，防止FFU系统的气流直接通过FFU壳体与外壳顶面之间的间隙向外壳外部流通，保证装置的气密性。连接件81的一端与FFU壳体连接，连接件81的另一端连接有弹压键83，当需要将弹压键83和走线壳体71连接时，操作人员将弹压键83塞入第一通孔内，以使弹压键83与第一通孔相互卡合，使得弹压键83无法从第一通孔脱离，弹压键83的一部分位于走线槽内，此时FFU系统的电线可以穿过连接件81和弹压键83收纳在走线槽内。

FFU系统通过第一气氛导流孔131向第一空间内通气，通过第二气氛导流孔132向第二空间内通气，第一空间内的气流通过第一空间后向机器手臂区域流通，第二空间内的气流通过第二空间后向工艺槽体区域流通，工艺槽体区域内进行化学反应之后，酸气向上挥发至第二空间，通过第一分隔板11和第二分隔板12使得酸气难以进入第一空间，使得机器手臂区域的器械不受腐蚀，第一导流板61倾斜设置，气流从上往下流经第一导流板61后，气流的速度变快，从而防止第二空间中的酸气进入第一空间，腐蚀机器手臂区域内的器械，第二导流板62倾斜设置，气流从上往下流经第二导流板62后，气流的速度变快，第二空间处的气体流速较快，而第二空间内的酸气的流速较为缓慢，因此第二空间内的酸气可以在第二空间的气体的带动下一起远离第二空间，之后通过抽气设备进行抽除。

当抽气设备工作时，工艺槽体区域内的压力和温度会发生变化，使得湿法化学反应过程中产生的液体形成凝结液，凝结液在抽气设备的带动下向通气组件2流动，在到达通气组件2所在处之前，先到达挡板41处，因此会附着在挡板41上，避免了凝结液到达通气组件2所在处并附着在通气组件2上，不影响酸气的正常流通。当气体经过通气组件2的通气孔时，由于通气孔的横截面积较小，工艺槽体区域的空间较大，酸气从工艺槽体区域流向通气孔，使得靠近通气孔的酸气的流速大于远离通气孔的酸气的流速，酸气流速加快，使得酸气抽出的效率提高，防止了酸气腐蚀机器。当气体经过容纳组件3的容纳槽时，由于容纳盒31内的空间较大，防止了酸气流速过快时，容纳盒31被酸气充满，酸气回流至工艺槽体区域，对机器造成腐蚀，当气体流经排气管10时，通过排气管10内的调节组件5对气体流出量进行调节，当气压传感器检测到外壳内的气体压强过大时，表示外壳内部气体过多，通过调节杆52在排气管10内部转动，带动调节板51在排气管10内部转动，使得调节板51的顶部和底部与排气管10内壁的间距变大，使得排气管10的开口增大，抽气设备向外壳外部抽出的气体增多，当气压传感器检测到外壳内的气体压强过小时，表示外壳内部气体过少，通过调节杆52在排气管10内部转动，带动调节板51在排气管10内部转动，使得调节板51的顶部和底部与排气管10内壁的间距变小，抽气设备向外壳外部抽出的气体减少，使得气体环境保持相对稳定。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，包括外壳，其特征在于：所述外壳内设置有分隔组件(1)，所述分隔组件(1)用以将气流空间分隔成第一空间和第二空间，第三隔板上设置有两个通气组件(2)，所述通气组件(2)用以将工艺槽体区域和排气区域相互连通，第三隔板远离工艺槽体区域的一侧设置有容纳组件(3)，所述容纳组件(3)用以防止酸气回流，所述容纳组件(3)包括容纳盒(31)，所述容纳盒(31)内开设有容纳槽，第二隔板上设置有阻挡组件(4)，所述阻挡组件(4)包括挡板(41)，所述挡板(41)用以防止凝结液进入所述通气组件(2)，排气区域内设置有排气管(10)，所述排气管(10)内设置有调节组件(5)，所述调节组件(5)用以调节所述排气管(10)开口的大小，当抽气设备工作时，酸气依次通过所述通气组件(2)、所述容纳组件(3)和所述排气管(10)；

所述气流空间上设置有导流组件(6)，所述导流组件(6)包括第一导流板(61)和第二导流板(62)，所述第一导流板(61)和所述第二导流板(62)的一端均与外壳顶壁固定连接，所述第一导流板(61)和所述第二导流板(62)均倾斜设置，且所述第一导流板(61)和所述第二导流板(62)靠近外壳顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板(61)和所述第二导流板(62)远离所述外壳顶面的一端之间的距离，所述外壳上设置有隐蔽组件(7)，所述隐蔽组件(7)包括走线壳体(71)，所述走线壳体(71)上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳FFU壳体的电线，所述走线壳体(71)侧面开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通，FFU壳体与所述走线壳体(71)之间设置有嵌合组件(8)，所述嵌合组件(8)包括连接件(81)，所述连接件(81)与所述走线壳体(71)之间设置有嵌合部(82)，所述嵌合部(82)包括弹压键(83)，所述弹压键(83)与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键(83)的一部分位于所述走线槽内，电线穿过所述连接件(81)和所述弹压键(83)进入所述走线槽内，所述外壳上设置有定位组件(9)，所述定位组件(9) 包括两个第一定位部，两个所述第一定位部之间形成有容纳空间，所述容纳空间用以容纳FFU壳体，所述第一定位部包括第一定位板(91)和两个第二定位板(92)，两个所述第二定位板(92)通过所述第一定位板(91)一体形成，其中一个所述第一定位板(91)位于FFU壳体与所述走线壳体(71)之间，且开设有第二通孔。

2.根据权利要求1所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：所述分隔组件(1)包括第一分隔板(11)和第二分隔板(12)，所述第一分隔板(11)与第一隔板顶面可拆卸连接，所述第二分隔板(12)与所述外壳顶壁可拆卸连接，所述第二分隔板(12)位于所述第一分隔板(11)上方，所述第一分隔板(11)和所述第二分隔板(12)之间留有间隙。

3.根据权利要求2所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：第二隔板上开设有两个连通孔，所述通气组件(2)包括连接板(21)，所述连接板(21)与所述连通孔相适配且一一对应，所述连接板(21)上设置有若干组通气部(22)，所述通气部(22)包括若干个并列设置的通气孔，所述连通孔上均设置有过滤网。

4.根据权利要求3所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：所述挡板(41)上设置有若干阻挡件，所述阻挡件用以防止凝结液下落。

5.根据权利要求4所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：所述调节组件(5)包括调节板(51)和调节杆(52)，所述调节杆(52)与所述排气管(10)内壁转动连接，所述调节杆(52)与所述调节板(51)可拆卸连接，所述调节板(51)上设置有气压传感器。

6.根据权利要求5所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：所述排气管(10)的内径沿靠近所述连通孔至远离所述连通孔逐渐减小，所述排气管(10)内壁上设置有保护层。

7.根据权利要求6所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：两个所述连通孔均与所述容纳槽相互贯通，所述容纳盒(31)的长度与第三隔板的长度相同，所述容纳盒(31)的高度大于所述连接板(21)的高度，所述容纳盒(31)的宽度小于所述排气管(10)长度的四分之一，且大于所述排气管(10)长度的五分之一。

8.根据权利要求2所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：外壳上设置有气氛部(13)，气氛部(13)包括第一气氛导流孔(131)和第二气氛导流孔(132)，所述第一气氛导流孔(131)和所述第二气氛导流孔(132)均开设于外壳顶面，所述第一气氛导流孔(131)与所述第一空间相互贯通，所述第二气氛导流孔(132)与所述第二空间相互贯通，所述第一气氛导流孔(131)和所述第二气氛导流孔(132)之间形成有连接段(133)，所述第二分隔板(12)与所述连接段(133)可拆卸连接，所述第一导流板(61)位于所述第一空间内，所述第二导流板(62)位于所述第二空间内。

9.根据权利要求8所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：两个所述第一定位部之间设置有两个第二定位部，所述第一定位部与所述第二定位部一一对应，所述第二定位部包括第三定位板，所述第三定位板与相对应的所述第一定位板(91)相互平行，且所述第三定位板与相对应的所述第一定位板(91)之间设置有若干弹性件。

10.根据权利要求1所述的一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构，其特征在于：所述外壳底部设置有若干万向轮(14)。

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