CN214054819U - 一种晶片制造用四轴抛光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片制造用四轴抛光机，包括主机，所述主机上端面靠后侧的位置固定设置有两个底座，两个所述底座上端面靠近四角处均设置有螺栓，八个所述螺栓的下端贯穿底座螺纹套接在主机上，两个所述底座的其中一个底座内部螺纹套设有螺头，所述螺头的头身位于底座的上端活动套设有座环，两个所述底座的另一个底座上端面中心处固定设置有连接头，所述连接头的头身靠下端的位置活动套设有一号转动杆，所述连接头的头身靠上端的位置固定套设有固定环，所述固定环后侧中心处固定设置有连接杆。本实用新型公开了一种晶片制造用四轴抛光机，该新型晶片制造用四轴抛光机工作效率高，更加环保。

Description

一种晶片制造用四轴抛光机

技术领域

本实用新型涉及抛光加工技术领域，尤其涉及一种晶片制造用四轴抛光机。

背景技术

抛光机也称为研磨机，常常用作机械式研磨、抛光及打蜡，其工作原理是：电动机带动安装在抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转，由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待抛表面进行摩擦，进而可达到去除漆面污染、氧化层、浅痕的目的，抛光盘的转速一般在1500-3000r/min，多为无级变速，施工时可根据需要随时调整。

现有的抛光机抛光效率低，并且抛光后的残渣清理起来非常麻烦，不仅浪费时间还清理的不彻底，特别不环保。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶片制造用四轴抛光机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶片制造用四轴抛光机，包括主机，所述主机上端面靠后侧的位置固定设置有两个底座，两个所述底座上端面靠近四角处均设置有螺栓，八个所述螺栓的下端贯穿底座螺纹套接在主机上，两个所述底座的其中一个底座内部螺纹套设有螺头，所述螺头的头身位于底座的上端活动套设有座环，两个所述底座的另一个底座上端面中心处固定设置有连接头，所述连接头的头身靠下端的位置活动套设有一号转动杆，所述连接头的头身靠上端的位置固定套设有固定环，所述固定环后侧中心处固定设置有连接杆，所述连接杆远离固定环的一端固定设置有护盖，所述护盖的下端面固定设置在主机的上端面，所述一号转动杆远离连接头的一端贯穿座环通至座环的另一侧，所述一号转动杆的杆身中部活动套设有活套，所述活套的前侧中心处固定设置有拉杆，所述一号转动杆的杆身靠两侧处活动套设有转动板，所述转动板一侧靠上端的位置设置有二号转动杆，所述二号转动杆靠近转动板的一端贯穿转动板通至转动板的另一侧，所述二号转动杆的杆身中部转动连接有三角架，所述三角架后侧靠下端的中心处螺纹套接有一号手杆，所述三角架后侧靠上端的中心处螺纹套接有二号手杆，所述三角架的上端固定设置有固定头，所述固定头的内端螺纹套设有螺杆，所述螺杆的下端贯穿三角架通至三角架的中空处，所述螺杆的上端固定设置有扭动杆，所述主机上端面靠前侧的位置呈等间状开始有四个抛光槽，所述主机上端面位于抛光槽的前端固定设置有引导管，所述引导管后侧呈等间状固定设置有四个吸尘管，四个所述吸尘管远离引导管的一端分别固定设置在抛光槽的底面，所述主机一侧固定设置有支撑板，所述支撑板上端面分别固定设置有吸尘设备和集尘箱，所述集尘箱与吸尘设备通过导流管连接，所述引导管的一端与吸尘设备的吸尘口连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

两个所述底座及与其连接的各个结构均设置为四个。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述一号转动杆靠近连接头的一端固定设置有限制头。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述主机前侧靠上端的位置呈等间状固定设置有四个操作板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述主机下端面靠近四角处均固定设置有支撑座。

作为上述技术方案的进一步描述：

四个所述支撑座的下端均固定设置有自锁万向轮。

作为上述技术方案的进一步描述：

所四个述抛光槽设置成圆形形状。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述一号转动杆与二号转动杆相互平行。

本实用新型具有如下有益效果：

相比于现有装置，该新型晶片制造用四轴抛光机在使用的时候可以通过抛光槽把抛光过程中所产生的灰尘集中起来，使得灰尘不会被吹出室外，让该新型晶片制造用四轴抛光机在使用的时候更加环保。

相比于现有装置，该新型晶片制造用四轴抛光机在使用的时候可以通过吸尘管把抛光槽内的灰尘吸进集尘箱内，使得工作人员在抛光结束进行清理的时候更加方便快速。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶片制造用四轴抛光机的主体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶片制造用四轴抛光机的三角架局部结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种晶片制造用四轴抛光机的支撑板局部结构示意图。

图例说明：

1、主机；2、支撑板；3、吸尘设备；4、抛光槽；5、引导管；6、吸尘管；7、集尘箱；8、扭动杆；9、底座；10、螺栓；11、操作板；12、导流管； 13、自锁万向轮；14、支撑座；15、一号转动杆；16、转动板；17、座环；18、拉杆；19、活套；20、固定环；21、限制头；22、连接头；23、连接杆；24、护盖；25、一号手杆；26、固定头；27、螺杆；28、二号手杆；29、三角架；30、二号转动杆；31、螺头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶片制造用四轴抛光机，包括主机1，主机1上端面靠后侧的位置固定设置有两个底座9，两个底座9 上端面靠近四角处均设置有螺栓10，通过螺栓10用于固定底座9，八个螺栓10的下端贯穿底座9螺纹套接在主机1上，两个底座9的其中一个底座9内部螺纹套设有螺头31，螺头31的头身位于底座9的上端活动套设有座环17，两个底座9的另一个底座9上端面中心处固定设置有连接头22，连接头22的头身靠下端的位置活动套设有一号转动杆15，连接头22的头身靠上端的位置固定套设有固定环20，固定环20后侧中心处固定设置有连接杆23，连接杆 23远离固定环20的一端固定设置有护盖24，护盖24的下端面固定设置在主机1的上端面，一号转动杆15远离连接头22的一端贯穿座环17通至座环17 的另一侧，一号转动杆15的杆身中部活动套设有活套19，活套19的前侧中心处固定设置有拉杆18，一号转动杆15的杆身靠两侧处活动套设有转动板 16，转动板16一侧靠上端的位置设置有二号转动杆30，通过二号转动杆30 可以使得三角架29更加灵活的转动，二号转动杆30靠近转动板16的一端贯穿转动板16通至转动板16的另一侧，二号转动杆30的杆身中部转动连接有三角架29，三角架29后侧靠下端的中心处螺纹套接有一号手杆25，一号手杆25和二号手杆28用于调节该新型晶片制造用四轴抛光机，三角架29后侧靠上端的中心处螺纹套接有二号手杆28，三角架29的上端固定设置有固定头 26，固定头26的内端螺纹套设有螺杆27，螺杆27的下端贯穿三角架29通至三角架29的中空处，螺杆27的上端固定设置有扭动杆8，主机1上端面靠前侧的位置呈等间状开始有四个抛光槽4，在对晶片抛光打磨的时候会在抛光槽 4内进行，主机1上端面位于抛光槽4的前端固定设置有引导管5，引导管5 后侧呈等间状固定设置有四个吸尘管6，四个吸尘管6远离引导管5的一端分别固定设置在抛光槽4的底面，主机1一侧固定设置有支撑板2，支撑板2上端面分别固定设置有吸尘设备3和集尘箱7，集尘箱7与吸尘设备3通过导流管12连接，集尘箱7用于收集灰尘，引导管5的一端与吸尘设备3的吸尘口连接。

两个底座9及与其连接的各个结构均设置为四个，一号转动杆15靠近连接头22的一端固定设置有限制头21，限制头21使得一号转动杆15结构更加稳定，防止一号转动杆15脱离，主机1前侧靠上端的位置呈等间状固定设置有四个操作板11，通过操作板11对主机1进行操作，主机1下端面靠近四角处均固定设置有支撑座14，四个支撑座14的下端均固定设置有自锁万向轮 13，通过自锁万向轮13可以使得该新型晶片制造用四轴抛光机移动的更加方便，所四个述抛光槽4设置成圆形形状，一号转动杆15与二号转动杆30相互平行。

工作原理：在使用该新型晶片制造用四轴抛光机的时候，首先转动扭动杆8，扭动杆8会带动螺杆27在固定头26内转动，当螺杆27转动到合适位置后，然后转动二号手杆28固定住螺杆27，然后移动三角架29，在把三角架29移动到合适位置后就可以在抛光槽4内进行抛光工作，在抛光的过程中产生的灰尘会留在抛光槽4内，抛光结束后启动吸尘设备3，吸尘设备3会把抛光槽4内的灰尘通过吸尘管6吸进引导管5内，引导管5内灰尘会通过吸尘设备3进入导流管12内，导流管12内灰尘会进入集尘箱7内。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种晶片制造用四轴抛光机，包括主机(1)，其特征在于：所述主机(1)上端面靠后侧的位置固定设置有两个底座(9)，两个所述底座(9)上端面靠近四角处均设置有螺栓(10)，八个所述螺栓(10)的下端贯穿底座(9)螺纹套接在主机(1)上，两个所述底座(9)的其中一个底座(9)内部螺纹套设有螺头(31)，所述螺头(31)的头身位于底座(9)的上端活动套设有座环(17)，两个所述底座(9)的另一个底座(9)上端面中心处固定设置有连接头(22)，所述连接头(22)的头身靠下端的位置活动套设有一号转动杆(15)，所述连接头(22)的头身靠上端的位置固定套设有固定环(20)，所述固定环(20)后侧中心处固定设置有连接杆(23)，所述连接杆(23)远离固定环(20)的一端固定设置有护盖(24)，所述护盖(24)的下端面固定设置在主机(1)的上端面，所述一号转动杆(15)远离连接头(22)的一端贯穿座环(17)通至座环(17)的另一侧，所述一号转动杆(15)的杆身中部活动套设有活套(19)，所述活套(19)的前侧中心处固定设置有拉杆(18)，所述一号转动杆(15)的杆身靠两侧处活动套设有转动板(16)，所述转动板(16)一侧靠上端的位置设置有二号转动杆(30)，所述二号转动杆(30)靠近转动板(16)的一端贯穿转动板(16)通至转动板(16)的另一侧，所述二号转动杆(30)的杆身中部转动连接有三角架(29)，所述三角架(29)后侧靠下端的中心处螺纹套接有一号手杆(25)，所述三角架(29)后侧靠上端的中心处螺纹套接有二号手杆(28)，所述三角架(29)的上端固定设置有固定头(26)，所述固定头(26)的内端螺纹套设有螺杆(27)，所述螺杆(27)的下端贯穿三角架(29)通至三角架(29)的中空处，所述螺杆(27)的上端固定设置有扭动杆(8)，所述主机(1)上端面靠前侧的位置呈等间状开始有四个抛光槽(4)，所述主机(1)上端面位于抛光槽(4)的前端固定设置有引导管(5)，所述引导管(5)后侧呈等间状固定设置有四个吸尘管(6)，四个所述吸尘管(6)远离引导管(5)的一端分别固定设置在抛光槽(4)的底面，所述主机(1)一侧固定设置有支撑板(2)，所述支撑板(2)上端面分别固定设置有吸尘设备(3)和集尘箱(7)，所述集尘箱(7)与吸尘设备(3)通过导流管(12)连接，所述引导管(5)的一端与吸尘设备(3)的吸尘口连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：两个所述底座(9)及与其连接的各个结构均设置为四个。

3.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述一号转动杆(15)靠近连接头(22)的一端固定设置有限制头(21)。

4.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述主机(1)前侧靠上端的位置呈等间状固定设置有四个操作板(11)。

5.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述主机(1)下端面靠近四角处均固定设置有支撑座(14)。

6.根据权利要求5所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：四个所述支撑座(14)的下端均固定设置有自锁万向轮(13)。

7.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所四个述抛光槽(4)设置成圆形形状。

8.根据权利要求1所述的一种晶片制造用四轴抛光机，其特征在于：所述一号转动杆(15)与二号转动杆(30)相互平行。

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