CN213958922U - 预热激光光源冷却系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种预热激光光源冷却系统，包括：用于冷却的管路，包括第一管路和第二管路和第三管路；第一调节阀，设置在所述第一管路上；用于控制所述第一管路中冷却介质的流通和停止流通；第二调节阀，设置在所述第二管路上；用于控制所述第二管路中冷却介质的流通和停止流通；所述第一管路和第二管路之间连接有第三调节阀；所述第三管路上设置在第一管路和第二管路之间，所述第三管路上设置有需要被冷却的预热激光光源。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体器件制造设备技术领域，特别涉及预热激光光源冷却系统。
背景技术
激光退火工艺，是一项使wafer处于高温条件下，对wafer本身进行退火的工艺，
对晶圆进行高温退火，既可以修复硅片表面晶格缺陷，同时也可以减少表面含氧量。
在其他例如离子扩展，注氧隔离、注氧键合、智能剥离等半导体制造工艺中也需要用到退火工艺。
由于激光退火工艺中最高温度甚至可以达到1200—1350度，冷却水的水温以及流量所以对其至关重要。
实际工艺作业时机台一旦故障或下电，预热激光光源冷却水进水端压力将顶住电磁阀，使其不能正常开启，必须拆开冷却水管道进行泄压后，冷却水管道电磁阀才可以正常工作。但拆卸冷却水管道不仅耗时耗力，还存在有管道漏水的可能性。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，提供一种方便高效的预热激光光源冷却系统，在电磁阀失效时整个系统仍能正常开启。
为了达到上述目的，本实用新型提供了预热激光光源冷却系统，包括：
用于冷却的管路，包括第一管路和第二管路和第三管路；第一调节阀，设置在所述第一管路上；用于控制所述第一管路中冷却介质的流通和停止流通；第二调节阀，设置在所述第二管路上；用于控制所述第二管路中冷却介质的流通和停止流通；所述第三管路设置在第一管路和第二管路之间，第三调节阀设置在所述第三管路上；用于控制所述第三管路中冷却介质的流通和停止流通；所述第一管路通过一电磁阀与需要被冷却的预热激光光源的一端连接，所述预热激光光源的另一端与所述第二管路连接。
优选地，所述冷却系统采用冷却水循环进行热交换。
优选地，所述第一管路为进水管路，所述第二管路为回水管路。
优选地，所述第一管路中，在第一调节阀和第三调节阀之间设置有压力表。
优选地，所述第二管路中，在第三调节阀和第二调节阀之间设有流量计。
优选地，所述第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀为自动阀门或手动阀门。
优选地，所述电磁阀设置在所述冷却介质进入的那一端上。
本实用新型通过在冷却进水与回水管道间设置一段包含调节阀的管路，通过调节阀的开闭解决了在机台故障或下电后，进水端压力顶住电磁阀，不能正常开启冷却回路的问题。
附图说明
图1为本实用新型的预热激光光源冷却系统一较佳实施例的示意图。
附图标记说明
10 第一调节阀 20 第二调节阀
30 第三调节阀 40 电磁阀
50 预热激光光源 60 压力表
70 流量计
81 第一管路 82 第二管路
83 第三管路
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型一较佳实施例做详细说明。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。
参阅图1所示，为本实用新型的一较佳实施例。本实用新型提供了一种预热激光光源冷却系统，包括：用于冷却的管路、第一调节阀10、第二调节阀20、第三调节阀30。
所述第一调节阀10、第二调节阀20、第三调节阀30可采用多种传动形式，如手动、电动、液动、气动、涡轮、电磁动、电磁液动、电液动、气液动、正齿轮、伞齿轮驱动等；可以在压力、温度或其它形式传感信号的作用下，按预定的要求动作，或者不依赖传感信号而进行简单的开启或关闭，阀门依靠自动或手动机构使启闭件作升降、滑移、旋摆或回转运动，从而改变其流道面积的大小以实现其控制功能。
所述用于冷却的管路包括第一管路81和第二管路82和第三管路83。第一调节阀10设置在所述第一管路81上；用于控制所述第一管路81中冷却介质的流通和停止流通；第二调节阀20设置在所述第二管路82上；用于控制所述第二管路82中冷却介质的流通和停止流通；所述第三管路设置在第一管路81和第二管路82之间，第三调节阀30设置在所述第三管路83上；用于控制所述第三管路83中冷却介质的流通和停止流通；所述第一管路81通过一电磁阀40与需要被冷却的预热激光光源50的一端连接，所述预热激光光源50的另一端与所述第二管路82连接。
在本实施例中，所述冷却系统采用冷却水循环进行热交换。此外，冷却介质还可以采用冷却气体进行热交换。
优选地，所述第一管路81为进水管路，所述第二管路82为回水管路。
优选地，所述进水管路中，在第一调节阀和第三调节阀之间设置有压力表60。压力表60可以测量进水管路中的冷却介质的压力的大小。
优选地，所述回水管路中，在第三调节阀和第二调节阀之间设有流量计70。用来检测回水管路中冷却介质的流量。
所述第一调节阀10、第二调节阀20和第三调节阀30为自动阀门或手动阀门。
所述电磁阀40设置在所述冷却介质进入的那一端上。
使用本方案后，在设备故障或下电后将不必通过拆卸冷却水管道进行泄压，只需将第三管路上的第三调节阀打开，对冷却水管道进行方便快捷的泄压，还免去拆卸管道后漏水的可能性。
以上仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限定本实用新型。对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种预热激光光源冷却系统，其特征在于，包括：
用于冷却的管路，包括第一管路和第二管路和第三管路；
第一调节阀，设置在所述第一管路上；用于控制所述第一管路中冷却介质的流通和停止流通；
第二调节阀，设置在所述第二管路上；用于控制所述第二管路中冷却介质的流通和停止流通；
所述第三管路设置在第一管路和第二管路之间，第三调节阀设置在所述第三管路上，用于控制所述第三管路中冷却介质的流通和停止流通；
所述第一管路通过一电磁阀与需要被冷却的预热激光光源的一端连接，所述预热激光光源的另一端与所述第二管路连接。
2.根据权利要求1所述的预热激光光源冷却系统，其特征在于，所述冷却系统采用冷却水循环进行热交换。
3.根据权利要求1所述的预热激光光源冷却系统，其特征在于，所述第一管路为进水管路，所述第二管路为回水管路。
4.根据权利要求1所述的预热激光光源冷却系统，其特征在于，所述第一管路中，在第一调节阀和第三调节阀之间设置有压力表。
5.根据权利要求1所述的预热激光光源冷却系统，其特征在于，所述第二管路中，在第三调节阀和第二调节阀之间设有流量计。
6.根据权利要求1所述的预热激光光源冷却系统，其特征在于，所述第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀为自动阀门或手动阀门。
7.根据权利要求6所述的预热激光光源冷却系统，其特征在于，所述电磁阀设置在所述冷却介质进入的那一端上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023245543.XU CN213958922U (zh) | 2020-12-29 | 2020-12-29 | 预热激光光源冷却系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023245543.XU CN213958922U (zh) | 2020-12-29 | 2020-12-29 | 预热激光光源冷却系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213958922U true CN213958922U (zh) | 2021-08-13 |
Family
ID=77194801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023245543.XU Active CN213958922U (zh) | 2020-12-29 | 2020-12-29 | 预热激光光源冷却系统 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN213958922U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113847817A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-12-28 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 机台降温装置和方法 |
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2020
- 2020-12-29 CN CN202023245543.XU patent/CN213958922U/zh active Active
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