CN213912735U - 含尘气体净化检测系统 - Google Patents

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CN213912735U CN202022195078.7U CN202022195078U CN213912735U CN 213912735 U CN213912735 U CN 213912735U CN 202022195078 U CN202022195078 U CN 202022195078U CN 213912735 U CN213912735 U CN 213912735U
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张海涛
张江伟
高欢欢
王元陈
张松
胡润宇
史学武
孙佳星
杨杰
王海东
刘健刚
陈朝
董建保
沈健
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Tangshan Sanyou Silicon Industry Co ltd
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Abstract

本实用新型涉及含尘气体检测系统,尤其是一种含尘气体净化检测系统,包括斗提机本体,采气管和含氧仪,含氧仪通过采气管与斗提机本体连接,采气管的进气口一端为封闭端,封闭端置于斗提机本体内部,另一端设置有过滤缓冲罐,过滤缓冲罐通过空气过滤器与含氧仪连接,空气过滤器与氮气反吹管线连接;采气管的封闭端套装有滤芯,采气管对应滤芯位置设置有进气孔。本实用新型能够有效过来气体内的粉尘颗粒,防止采气管道以及含氧仪堵塞,保证粉尘清理过程中不影响生产进度,减少停车时间,降低清理难度。

Description

含尘气体净化检测系统
技术领域
本实用新型涉及含尘气体检测系统,尤其是一种含尘气体净化检测系统。
背景技术
硅粉加工生产系统一般为氮气保护系统,对在线检测含氧值要求较高,一般要求含氧量≤5%,不少厂家供用的含氧仪的过滤器不能使设备内的含尘气体有效进入,从而造成采气管管线堵塞,进而影响含氧数据的准确性,若要清理过滤器,则必须进行停车处理,对生产的稳定运行带来较大的影响,影响生产效率。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提出一种既保证含氧数据的准确性,又不需要停车清理过滤器的含尘气体净化检测系统。
本实用新型采用如下技术方案:
一种含尘气体净化检测系统,包括斗提机本体,采气管和含氧仪,含氧仪通过采气管与斗提机本体连接,采气管的进气口一端为封闭端,封闭端置于斗提机本体内部,另一端设置有过滤缓冲罐,过滤缓冲罐通过空气过滤器与含氧仪连接,空气过滤器与氮气反吹管线连接;采气管的封闭端套装有滤芯,采气管对应滤芯位置设置有进气孔。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型能够确保设备内的气体进入含氧仪内,保证含氧仪测量数据的准确性,同时实现系统在线清理,降低清理难度,减少停车时间,提高生产效率。
进一步的,本实用新型采用的优选方案是:
采气管通过上盖板与斗提机本体连接,采气管上靠近封闭端的一侧分别设置有上挡板和下挡板,滤芯置于上挡板和下挡板之间。
上挡板套装在采气管上并与采气管固定连接;封闭端的底部设置有螺纹接头,下挡板套装在螺纹接头上,并通过下挡板下方的螺母与螺纹接头固定。
采气管上设置有气体进气阀,气体进气阀置于斗提机本体与过滤缓冲罐之间。
过滤缓冲罐的顶部设置有进气口和出气口,采气管的A段管的出气口一端由过滤缓冲罐的进气口伸入过滤缓冲罐内并置于过滤缓冲罐的底部;采气管的B段管的进气口由过滤缓冲罐的出气口一端伸入缓冲罐内并置于过滤缓冲罐的顶部。
缓冲过滤罐的两侧分别设置有清理口,清理口设置有法兰盖。
采气管的C段管通过三通分别与氮气反吹管线和含氧仪连接。
采气管的C段管与氮气反吹管线之间设置有氮气控制阀,采气管的C段管与含氧仪之间设置有气体出气阀。
空气过滤器为过滤减压阀。
滤芯为陶瓷滤芯,滤芯的过滤精度为10μm。
附图说明
图1为本实用新型的流程示意图;
图2为采气管上滤芯的安装示意图;
图中:斗提机本体1;滤芯2;气体进气阀3;采气管4;A段管41;B段管42;C段管43;过滤缓冲罐5;清理口6;空气过滤器7;排气阀8;氮气反吹管线9;氮气反吹阀10;含氧仪11;气体出气阀12;上盖板13;下盖板14;上挡板15;进气孔16;下挡板17;螺母18;螺纹接头19。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。
一种含尘气体净化检测系统,由斗提机本体1,采气管4,过滤缓冲罐5,空气过滤器7以及含氧仪11等组成,采气管4分为A段管41、B段管42和C段管43三部分。
斗提机本体1的顶部设置有下盖板14,A段管41上焊接有上盖板13,且A段管41置于上盖板13的中心,A段管41进气口的一端穿过上盖板13置于斗提机本体1的内部,上盖板13与下盖板14之间通过螺栓组件连接。为了保证上盖板13与下盖板14连接的紧密性,上盖板13与下盖板14之间安装密封垫片。
A段管41进气口的一端为封闭端,A段管41上套装有上挡板15,且上挡板15与A段管41固定焊接,封闭端的底部轴向设置有螺纹接头19,且螺纹接头19的外径小于A段管41的管径,下挡板17套装在螺纹接头19上,滤芯2置于上挡板15和下挡板17之间,下挡板17通过其下方的螺母18与螺纹接头19锁紧。本实施例中滤芯2为陶瓷滤芯,滤芯2的过滤精度为10μm。
A段管41的管壁对应滤芯2的安装位置均匀设置有进气孔16,斗提机本体1内的气体经滤芯2过滤后由进气孔16进入A段管41内。
过滤缓冲罐5的顶部设置有进气口和出气口,A段管41的出气口一端由过过滤缓冲罐5的进气口进入并置于过滤缓冲罐5的底部,且过滤缓冲罐5与斗提机本体1之间的A段管41上设置有气体进气阀3(气体进气阀为卡套式针型阀,规格:φ8,304),B段管42的进气口由过滤缓冲罐5的出气口进入并置于过滤缓冲罐5的上部,A段管41内的气体进入过滤缓冲罐5内后,气体在过滤缓冲罐5内缓冲,气体内的粉尘颗粒在过滤缓冲罐5内沉降至罐底,沉降后的气体由B段管42的进气口进入B段管42,沿B段管42出气口进入空气过滤器7。过滤缓冲罐5的两侧分别设置有一个清理口6,清理口6安装有法兰盖。
空气过滤器7的出气口与C段管43的进气口连接,C段管43的出气口通过三通分别与氮气反吹管线9和含氧仪11,本实施例中空气过滤器7为过滤减压阀(型号规格:MS-LFM,进口G1/2" 出口G1/2,厂家:费斯托)。三通与含氧仪11之间设置有气体出气阀12(气体出气阀12为卡套式针型阀,规格:φ8,304),三通与氮气反吹管线之间设置有氮气反吹阀10(氮气反吹阀10为卡套式针型阀,规格:φ8,304)。
本实施例在应用时,首先打开管路两端的气体进气阀3和气体出气阀12,斗提机本体1内的含尘气体经滤芯2过滤后由进气孔16进入采气管4的A段管41,再沿A段管41进入过滤缓冲罐5内,气体在过滤缓冲罐5内缓冲,气体中的粉尘颗粒在重力作用下沉降,缓冲沉降后的气体由过滤缓冲罐5的顶部出气口进入B段管42,再沿B段管42进入空气过滤器7内,在空气过滤器7内过滤后的气体进入含氧仪11进行含氧在线分析。经过三层过滤后的气体的粉尘量≤0.15%,过滤缓冲罐5的下部设置有清理口6,清理口6上有能够随时拆卸的法兰盖,能够随时通过清理口6对过滤缓冲罐5内沉降的粉尘颗粒进行清理。空气过滤器7的底部设置有排气阀8,定期打开排气阀8,通过排气阀8对空气过滤器7内收集的粉尘随时排净。
硅粉加工生产期间,只需关闭气体进气阀3和气体出气阀12,就可对本系统进行粉尘清理,然后定期打开氮气反吹阀10和气体进气阀3,对采集管线进行吹除,即可实现非停车情况下才起系统的清理。
本实用新型能够确保进入含氧仪11的含尘气体粉尘量≤0.15%,保证含氧数据的准确性,降低安全风险,同时能够实现被采气系统的在线清理,减少停车时间,降低清理难度。
以上仅为本实用新型的具体实施方式,但对本实用新型的保护并不局限于此,所有涉及本技术领域技术人员所能想到的对本技术方案技术特征提出的等效变换或替换,都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种含尘气体净化检测系统,包括斗提机本体,采气管和含氧仪,含氧仪通过采气管与斗提机本体连接,其特征在于:采气管的进气口一端为封闭端,封闭端置于斗提机本体内部,另一端设置有过滤缓冲罐,过滤缓冲罐通过空气过滤器与含氧仪连接,空气过滤器与氮气反吹管线连接;采气管的封闭端套装有滤芯,采气管对应滤芯位置设置有进气孔。
2.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:采气管通过上盖板与斗提机本体连接,采气管上靠近封闭端的一侧分别设置有上挡板和下挡板,滤芯置于上挡板和下挡板之间。
3.根据权利要求2所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:上挡板套装在采气管上并与采气管固定连接;封闭端的底部设置有螺纹接头,下挡板套装在螺纹接头上,并通过下挡板下方的螺母与螺纹接头固定。
4.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:采气管上设置有气体进气阀,气体进气阀置于斗提机本体与过滤缓冲罐之间。
5.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:过滤缓冲罐的顶部设置有进气口和出气口,采气管的A段管的出气口一端由过滤缓冲罐的进气口伸入过滤缓冲罐内并置于过滤缓冲罐的底部;采气管的B段管的进气口由过滤缓冲罐的出气口一端伸入缓冲罐内并置于过滤缓冲罐的顶部。
6.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:缓冲过滤罐的两侧分别设置有清理口,清理口设置有法兰盖。
7.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:采气管的C段管通过三通分别与氮气反吹管线和含氧仪连接。
8.根据权利要求7所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:采气管的C段管与氮气反吹管线之间设置有氮气控制阀,采气管的C段管与含氧仪之间设置有气体出气阀。
9.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:空气过滤器为过滤减压阀。
10.根据权利要求1所述的含尘气体净化检测系统,其特征在于:滤芯为陶瓷滤芯,滤芯的过滤精度为10μm。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023098938A1 (de) * 2021-11-30 2023-06-08 Atex Explosionsschutz Gmbh Verfahren zur bestimmung der absoluten feuchte und vorrichtung zur durchführung des verfahrens

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Patentee before: SANYOU SILICON INDUSTRY Co.,Ltd.

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