CN213906637U - 一种用于石英晶体谐振器真空退火装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，包括工作台，所述工作台上设有立板、等待室、预热室、退火室、第一冷却室和第二冷却室，所述立板上设有输送机构，所述输送机构用于输送载有石英晶体谐振器的载物室，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的顶部均设有能够打开的密封门，所述输送机构包括滑块，所述滑块的下面设有上压板，所述上压板的下面设有若干个吸盘，所述上压板的外周上套设有密封圈，所述密封圈和若干个密封门均密封连接，所述载物室包括若干个载物台，若干个载物台的上面共同连接有下压板，所述上压板和所述下压板上下对应，本实用新型不仅退火效果好，且工作效率高。

Description

一种用于石英晶体谐振器真空退火装置

技术领域

本实用新型涉及石英晶体生产，具体涉及一种用于石英晶体谐振器真空退火装置。

背景技术

石英晶体谐振器在制造的过程中由于工序不同，因此在材料内部会产生应力，为了消除应力，以提高谐振器的稳定性，人们会对石英晶片谐振器进行退火处理，现有技术中，退火装置结构单一，因此退火大多是半人工半自动化实现的，这样不仅效率低，且会造成退火处理之后谐振器的参数发生改变，从而影响谐振器的质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，以解决上述技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，包括工作台，所述工作台上设有立板、等待室、预热室、退火室、第一冷却室和第二冷却室，所述立板上设有输送机构，所述输送机构用于输送载有石英晶体谐振器的载物室，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室从左到右依次排列在所述工作台上，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的顶部均设有能够打开的密封门，所述密封门通过安装在所述立板一侧的控制器控制启闭，所述输送机构包括可水平移动的滑块，所述滑块的下面设有可上下移动的上压板，所述上压板的下面设有若干个吸盘，所述上压板的外周上套设有密封圈，所述密封圈和若干个密封门均密封连接，所述载物室包括若干个载物台，若干个载物台的上面共同连接有下压板，所述上压板和所述下压板上下对应。

进一步地，所述密封圈包括密封圈主体，所述密封圈主体套设在所述上压板的外周上，所述密封圈主体的上面连接有固定部，所述固定部的下面设有若干个第一定位圈，所述密封圈主体的内侧连接有若干个第二定位圈，所述密封圈主体的外侧连接有若干个密封部。

更进一步地，所述密封部包括从上到下依次连接的第一密封唇、第二密封唇和第三密封唇。

进一步地，相邻两个载物台之间通过连板连接，所述载物台内设有若干个可单独放置石英晶体谐振器的间隔，所述上压板的下面设有一对上感应器，所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的上面均设有一对下感应器，所述上感应器和相对应侧的下感应器上下对应。

更进一步地，所述上压板的上面外端开设有环形的定位口，所述固定部位于所述定位口内，所述定位口的下面开设有若干个第一定位槽，所述第一定位圈嵌设在相对应的第一定位槽内，所述上压板的外侧开设有若干个第二定位槽，所述第二定位圈嵌设在相对应的所述第二定位槽内。

进一步地，所述输送机构还包括电机和丝杆，所述丝杆安装在所述电机的输出端，所述滑块内设有螺母，所述螺母和所述丝杆螺纹连接，通过螺母使得滑块和所述丝杆滑动连接，所述滑块的下面连接有气缸，所述上压板连接在所述气缸的下端。

进一步地，所述预热室的内部设有若干个第一加热管，所述退火室的内部设有若干个第二加热管。

进一步地，所述第一冷却室内设有若干个氮气管，所述氮气管的一端外接氮气源，所述氮气管的另一端下面设有若干个冷却喷口。

进一步地，所述第二冷却室内设有隔筒，所述载物室可放置在所述隔筒内，所述第二冷却室和所述隔筒之间填充有冷却液，所述第二冷却室的一侧设有出液管。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型的优点是：

1.本实用新型中设有输送机构，能够将载物室输送进退火装置中不同的室内，从而进行退火处理，且输送机构和各室之间设有密封圈，能够增加输送的密封性，从而使得退火效果更好。

2.本实用新型中的各室能够对载物室中的若干个谐振器进行处理，且不需人工进行操作，从而可靠性和工作效率均有所提高。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1的C处局部放大图。

图3为图1的A处局部放大图。

图4为图3的B处局部放大图。

附图标记列表：工作台1、立板11、控制器12、输送机构2、电机21、丝杆22、滑块23、气缸24、上压板25、定位口251、第一定位槽2511、第二定位槽252、密封圈26、密封圈主体261、固定部262、第一定位圈2621、第二定位圈263、密封部 264、第一密封唇2641、第二密封唇2642、第三密封唇2643、上感应器27、吸盘28、等待室3、预热室4、第一加热管41、退火室5、第二加热管51、第一冷却室6、氮气管61、冷却喷口611、第二冷却室7、冷却液71、隔筒72、出液管73、载物室8、载物台81、连板82、下压板83、下感应器84。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施方式和附图，对本实用新型做进一步详细说明。在此，本实用新型的示意性实施方式及其说明用于解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

参考图1至图4，如图1所示的一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，包括工作台1，所述工作台1上设有立板11、等待室3、预热室4、退火室5、第一冷却室6 和第二冷却室7，所述立板11上设有输送机构2，所述输送机构2用于输送载有石英晶体谐振器的载物室8，所述等待室3、所述预热室4、所述退火室5、所述第一冷却室6和所述第二冷却室7从左到右依次排列在所述工作台1上，所述等待室3、所述预热室4、所述退火室5、所述第一冷却室6和所述第二冷却室7的顶部均设有能够打开的密封门，所述密封门通过安装在所述立板11一侧的控制器12控制启闭，所述输送机构2包括可水平移动的滑块23，所述滑块23的下面设有可上下移动的上压板 25，所述上压板25的下面设有若干个吸盘28，所述吸盘28能够吸起下压板83，所述上压板25的外周上套设有密封圈26，所述密封圈26和若干个密封门均密封连接，所述载物室8包括若干个载物台81，若干个载物台81的上面共同连接有下压板83，所述上压板25和所述下压板83上下对应。

如图3和图4，所述密封圈26包括密封圈主体261，所述密封圈主体261套设在所述上压板25的外周上，所述密封圈主体261的上面连接有固定部262，所述固定部262的下面设有若干个第一定位圈2621，所述密封圈主体261的内侧连接有若干个第二定位圈263，所述密封圈主体261的外侧连接有若干个密封部264。

优选地，所述密封部264包括从上到下依次连接的第一密封唇2641、第二密封唇2642和第三密封唇2643，通过第一密封唇2641、第二密封唇2642和第三密封唇 2643能够提高所述密封圈26和密封门之间的密封性，从而使得退火效果更好。

如图2，相邻两个载物台81之间通过连板82连接，所述载物台81内设有若干个可单独放置石英晶体谐振器的间隔，所述上压板25的下面设有一对上感应器27，所述预热室4、所述退火室5、所述第一冷却室6和所述第二冷却室7的上面均设有一对下感应器84，所述上感应器27和相对应侧的下感应器84上下对应，一对上感应器27和一对下感应器84均上下对应时才能使得所述控制器12控制相对应的室的密封门打开。

如图4，所述上压板25的上面外端开设有环形的定位口251，所述固定部262位于所述定位口251内，通过固定部262和定位口251的配合，能够增加所述密封圈 26安装的稳定性，从而提高密封效果，所述定位口251的下面开设有若干个第一定位槽2511，所述第一定位圈2621嵌设在相对应的第一定位槽2511内，所述上压板 25的外侧开设有若干个第二定位槽252，所述第二定位圈263嵌设在相对应的所述第二定位槽252内，通过第一定位圈2621和第二定位圈263能够提高所述密封圈26和上压板25连接的可靠性。

优选地，所述输送机构2还包括电机21和丝杆22，所述丝杆22安装在所述电机21的输出端，所述滑块23内设有螺母，所述螺母和所述丝杆22螺纹连接，通过螺母使得滑块23和所述丝杆22滑动连接，所述滑块23的下面连接有气缸24，所述上压板25连接在所述气缸24的下端，通过电机21带动丝杆22转动能够带动滑块 23的左右移动，从而使得上压板25可左右滑动，通过气缸24带动上压板25上下移动，能够使得上压板25带动下压板83移动，从而将载物室8放置在不同的室内。

优选地，所述预热室4的内部设有若干个第一加热管41，所述退火室5的内部设有若干个第二加热管51，所述第一加热管41用于预热，所述第二加热管51用于退火。

优选地，所述第一冷却室6内设有若干个氮气管61，所述氮气管61的一端外接氮气源，所述氮气管61的另一端下面设有若干个冷却喷口611，通过冷却喷口611 能使得氮气喷出，从而对载物室8内的谐振器进行冷却。

优选地，所述第二冷却室7内设有隔筒72，所述载物室8可放置在所述隔筒72 内，所述第二冷却室7和所述隔筒72之间填充有冷却液71，所述第二冷却室7的一侧设有出液管73，通过冷却液71能够进一步对载物室8内的谐振器进行冷却，从而提高冷却效率。

工作原理：通过控制器12各室启动，此时载物室8位于等待室3内，先通过电机21转动使得上压板25移动至等待室3的正上方，然后所述气缸24带着上压板25 下移，使得所述吸盘28吸住下压板83并带着下压板83上移，然后电机21继续转动，使得所述上压板25移动至所述预热室4的上方，当一对上感应器27和预热室4上面的一对下感应器84均对应时，所述控制器12控制所述预热室4的密封门开启，然后所述气缸24下移，使得所述吸盘28将载物室8放置在预热室4内，然后气缸24带着上压板25上移，之后预热室4的密封门的关闭，开始对载物室8进行预热，预热完毕，预热室4的密封门再次开启，所述输送机构2将载物室8输送至退火室5的上方，同理使得退火室5的密封门开启，并将载物室8放入，待密封门关闭之后开始进行退火处理，此时所述输送机构2将下一个位于等待室3内的载物室8输送至预热室4内开始预热，待位于预热室4内的载物室8退火完毕，所述输送机构2将退火室5 内的载物室8输送至第一冷却室6，待位于第一冷却室6内的载物室8开始冷却之后，所述输送机构2将下一个位于预热室4内的载物室8输送至退火室5内开始进行退火处理，之后所述输送机构2将下下一个位于等待室3内的载物室8输送至预热室4内，以此类推，使得载物室8依次进行预热、退火和两次冷却处理，这样能够大大提高退火效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型实施例可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设有立板(11)、等待室(3)、预热室(4)、退火室(5)、第一冷却室(6)和第二冷却室(7)，所述立板(11)上设有输送机构(2)，所述输送机构(2)用于输送载有石英晶体谐振器的载物室(8)，所述等待室(3)、所述预热室(4)、所述退火室(5)、所述第一冷却室(6)和所述第二冷却室(7)从左到右依次排列在所述工作台(1)上，所述等待室(3)、所述预热室(4)、所述退火室(5)、所述第一冷却室(6)和所述第二冷却室(7)的顶部均设有能够打开的密封门，所述密封门通过安装在所述立板(11)一侧的控制器(12)控制启闭，所述输送机构(2)包括可水平移动的滑块(23)，所述滑块(23)的下面设有可上下移动的上压板(25)，所述上压板(25)的下面设有若干个吸盘(28)，所述上压板(25)的外周上套设有密封圈(26)，所述密封圈(26)和若干个密封门均密封连接，所述载物室(8)包括若干个载物台(81)，若干个载物台(81)的上面共同连接有下压板(83)，所述上压板(25)和所述下压板(83)上下对应。

2.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述密封圈(26)包括密封圈主体(261)，所述密封圈主体(261)套设在所述上压板(25)的外周上，所述密封圈主体(261)的上面连接有固定部(262)，所述固定部(262)的下面设有若干个第一定位圈(2621)，所述密封圈主体(261)的内侧连接有若干个第二定位圈(263)，所述密封圈主体(261)的外侧连接有若干个密封部(264)。

3.根据权利要求2所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述密封部(264)包括从上到下依次连接的第一密封唇(2641)、第二密封唇(2642)和第三密封唇(2643)。

4.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，相邻两个载物台(81)之间通过连板(82)连接，所述载物台(81)内设有若干个可单独放置石英晶体谐振器的间隔，所述上压板(25)的下面设有一对上感应器(27)，所述预热室(4)、所述退火室(5)、所述第一冷却室(6)和所述第二冷却室(7)的上面均设有一对下感应器(84)，所述上感应器(27)和相对应侧的下感应器(84)上下对应。

5.根据权利要求2所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述上压板(25)的上面外端开设有环形的定位口(251)，所述固定部(262)位于所述定位口(251)内，所述定位口(251)的下面开设有若干个第一定位槽(2511)，所述第一定位圈(2621)嵌设在相对应的第一定位槽(2511)内，所述上压板(25)的外侧开设有若干个第二定位槽(252)，所述第二定位圈(263)嵌设在相对应的所述第二定位槽(252)内。

6.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述输送机构(2)还包括电机(21)和丝杆(22)，所述丝杆(22)安装在所述电机(21)的输出端，所述滑块(23)内设有螺母，所述螺母和所述丝杆(22)螺纹连接，通过螺母使得滑块(23)和所述丝杆(22)滑动连接，所述滑块(23)的下面连接有气缸(24)，所述上压板(25)连接在所述气缸(24)的下端。

7.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述预热室(4)的内部设有若干个第一加热管(41)，所述退火室(5)的内部设有若干个第二加热管(51)。

8.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述第一冷却室(6)内设有若干个氮气管(61)，所述氮气管(61)的一端外接氮气源，所述氮气管(61)的另一端下面设有若干个冷却喷口(611)。

9.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述第二冷却室(7)内设有隔筒(72)，所述载物室(8)可放置在所述隔筒(72)内，所述第二冷却室(7)和所述隔筒(72)之间填充有冷却液(71)，所述第二冷却室(7)的一侧设有出液管(73)。

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