CN213826047U - 坩埚清洗翻转装置 - Google Patents

Abstract

一种坩埚清洗翻转装置，底部支架的上端可转动的安装有多个传动滚筒；翻转框架机构由口字形上边框、四个U形下边框和横梁组成；两个旋转座分别固定连接在最外侧的两个U形下边框水平段的前端下部；旋转轴设置在底部支架上端的前侧，并分别与两个旋转座固定连接；两个压紧机构设置在前侧，压紧机构包括伸缩式压臂和伸缩油缸；伸缩式压臂包括上连接板、左下连接板和右下连接板；上连接板的前部通过并排设置的第一和第二连杆与右下连接板铰接，其后部通过并排设置的第三和第四连杆与左下连接板铰接，左下连接板与U形下边框固定连接，压紧板与右下连接板固定连接；伸缩油缸连接翻转框架机构与伸缩式压臂。该装置能方便快捷的实现坩埚的翻转作业。

Description

坩埚清洗翻转装置

技术领域

本发明属于坩埚清洗技术领域，具体涉及一种坩埚清洗翻转装置。

背景技术

石英坩埚是多晶硅定向凝固技术中必不可少的容器，因硅产品的品质易受到杂质因素的影响，所以在坩埚的生产过程中一定要保持坩埚内壁的清洁，清洁的过程中需要用纯水对坩埚的内壁进行清洗，清洗烘干后再进行涂层制作。目前坩埚的清洗主要是采用行吊设备将坩埚的翻转清洗，这种方式中还需要操作人员进行辅助操作，操作过程十分的不便，且劳动负荷较大，同时，在坩埚翻转的过程中具有较高的危险系数，容易对操作人员的人身安全产生不利的影响。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种坩埚清洗翻转装置，该装置能方便快捷的实现坩埚的翻转作业，能有效的降低操作人员的劳动负荷，能提高坩埚清洗的效率和涂层制作的效率，并能提高翻转过程中的安全系数。

为了实现上述目的，本发明提供一种坩埚清洗翻转装置，包括底部支架、减速驱动机构、翻转框架机构、两个旋转座、水平设置的旋转轴和两个压紧机构；

所述减速驱动机构安装在底部支架的右端上部；

所述底部支架的上端沿其长度方向安装有多个传动滚筒，且传动滚筒通过其两端部的短轴水平且可转动的连接在底部支架的上端；

所述翻转框架机构由位于上部的口字形上边框、位于下部的四个U形下边框和位于四个U形下边框后侧下方的横梁组成，口字形上边框由两两依次固定连接的前边框、右边框、后边框和左边框组成，且其内部的尺寸大于待清洗坩埚横截面的尺寸；U形下边框由水平段和固定在水平段两端的两个竖直段组成，且其内部的尺寸大于待清洗坩埚纵断面的尺寸；其中两个U形下边框分别位于口字形上边框的左右两端，且其两个竖直段的端部分别固定连接在前边框和后边框的端部之间；两个U形下边框分别位于口字形上边框的中部左侧和右侧，且其两个竖直段的端部分别固定连接在前边框和后边框的中部之间；所述横梁水平的固定连接在四个U形下边框后侧竖直段的下部；

两个旋转座分别固定连接在最外侧的两个U形下边框水平段的前端下部；

所述旋转轴沿左右方向延伸，并通过轴承座可转动的连接在底部支架上端的前侧，旋转轴的左右两端分别贯穿过两个旋转座的下部，并与两个旋转座之间固定连接；旋转轴的右端与减速驱动机构的输出端连接；在旋转轴转动并通过两个旋转座带动翻转框架机构达到水平状态时，四个U形下边框的水平段均由其对应部分的两个传动滚筒之间的间隙落入到传动滚筒上缘面的下方，且U形下边框与传动滚筒之间隙配合；在旋转轴转动并通过两个旋转座带动翻转框架机构达到倾斜状态时，四个U形下边框的水平段均远离传动滚筒，从而便于作业人员进行清洗作业；

两个压紧机构分别设置在后边框和横梁之间的左部和右部，压紧机构包括伸缩式压臂和伸缩油缸；

所述伸缩式压臂包括V字形的上连接板、左下连接板、右下连接板、压紧板、第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆；

上连接板呈中间低两端高的V字型，上连接板由前到后依次可转动的连接有第一销轴、第二销轴、第三销轴和第四销轴，第一销轴和第四销轴前后对称的设置在上连接板的两个端部，第二销轴和第三销轴前后对称的设置在上连接板中部的两侧；左下连接板前侧的下部和后侧的上部分别连接有第五销轴和第六销轴，第五销轴和第六销轴之间的距离与第三销轴和第四销轴之间的距离相等，左下连接板还与中部左侧U形下边框后侧的竖直段固定连接，右下连接板前侧的上部和后侧的上部分别连接有第七销轴和第八销轴，第七销轴和第八销轴之间的距离与第一销轴和第二销轴之间的距离相等；第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆由前到后依次的设置，且长度均相等；压紧板固定连接在右下连接板的前端面上；第一连杆的上下两端分别与第一销轴和第七销轴铰接，第二连杆的上下两端分别与第二销轴和第八销轴铰接，第三连杆分别与第三销轴和第五销轴铰接，第四连杆分别与第四销轴和第六销轴铰接；第二销轴和第三销轴的右端分别可转动的套装有第一齿轮和第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮分别与第二连杆和第三连杆的上端固定连接；

所述伸缩油缸的底座与后边框铰接，伸缩油缸的活塞杆端与第一销轴铰接。

作为一种优选，减速驱动机构由安装在底部支架一侧的驱动电机和减速机组成，驱动电机与减速机的输入轴连接，减速机的输出端与旋转轴连接。

进一步，为了保护坩埚不被损坏，所述U形下边框的内侧面上均覆盖有橡胶条。

进一步，为了便于调节底部支架的水平状态，所述底部支架的四周固定连接有四个支撑腿，且每个支撑腿的下端均通过螺纹配合连接有高度调节支座。

本实用新型中，通过使翻转框架机构的前部下端固定连接旋转座，并使由减速驱动机构驱动的旋转轴与旋转座固定连接，可以方便的实现翻转框架机构和坩埚的翻转状态的调整；通过两个压紧机构的设置，可以在伸缩油缸活塞杆伸缩的动作下驱动压紧板实现对坩埚的压紧状态，以能保证坩埚可以同步稳定的跟随翻转框架机构进行翻转动作，从而可以便于进行内侧壁的清洗作业，在清洗作业之后还能方便进行坩埚四个内侧面的涂刷作业，在翻转框架机构复位到水平状态时，还能便于流水线上的自动流转；本装置可以有效的完成坩埚的翻转清洗、倒水、回流水线继续流转一体化作业，有效的解决了由行吊进行坩埚翻转操作不便，危险系数高的难题；极大地提高了坩埚的生产效率，降低人工工时的损耗。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中A部的局部放大图。

图中：1、底部支架，2、减速驱动机构，3、翻转框架机构，4、旋转轴，5、传动滚筒，6、口字形上边框，7、U形下边框，8、前边框，9、右边框，10、后边框，11、左边框，12、旋转座，13、横梁，14、伸缩油缸，15、伸缩式压臂，16、上连接板，17、左下连接板，18、右下连接板，19、压紧板，20、第一销轴，21、第二销轴，22、第三销轴，23、第四销轴，24、第五销轴，25、第六销轴，26、第七销轴，27、第八销轴，28、第一连杆，29、第二连杆，30、第三连杆，31、第四连杆，32、第一齿轮，33、第二齿轮，34、支撑腿，35、高度调节支座，36、压紧机构，37、坩埚。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图1和图2所示，一种坩埚清洗翻转装置，包括底部支架1、减速驱动机构2、翻转框架机构3、两个旋转座12、水平设置的旋转轴4和两个压紧机构36；

所述减速驱动机构2安装在底部支架1的右端上部；

所述底部支架1的上端沿其长度方向安装有多个传动滚筒5，且传动滚筒5通过其两端部的短轴水平且可转动的连接在底部支架1的上端；

所述翻转框架机构3由位于上部的口字形上边框6、位于下部的四个U形下边框7和位于四个U形下边框7后侧下方的横梁13组成，口字形上边框6由两两依次固定连接的前边框8、右边框9、后边框10和左边框11组成，且其内部的尺寸大于待清洗坩埚37横截面的尺寸；U形下边框7由水平段和固定在水平段两端的两个竖直段组成，且其内部的尺寸大于待清洗坩埚37纵断面的尺寸；其中两个U形下边框7分别位于口字形上边框6的左右两端，且其两个竖直段的端部分别固定连接在前边框8和后边框10的端部之间；两个U形下边框7分别位于口字形上边框6的中部左侧和右侧，且其两个竖直段的端部分别固定连接在前边框8和后边框10的中部之间；所述横梁13水平的固定连接在四个U形下边框7后侧竖直段的下部；

两个旋转座12分别固定连接在最外侧的两个U形下边框7水平段的前端下部；

所述旋转轴4沿左右方向延伸，并通过轴承座可转动的连接在底部支架1上端的前侧，旋转轴4的左右两端分别贯穿过两个旋转座12的下部，并与两个旋转座12之间固定连接；旋转轴4的右端与减速驱动机构2的输出端连接；在旋转轴4转动并通过两个旋转座12带动翻转框架机构3达到水平状态时，四个U形下边框7的水平段均由其对应部分的两个传动滚筒5之间的间隙落入到传动滚筒5上缘面的下方，且U形下边框7与传动滚筒5之间隙配合，这样，流水线上的坩埚可以便捷的由一侧的U形下边框7进入到翻转框架机构3的内部；在旋转轴4转动并通过两个旋转座12带动翻转框架机构3达到倾斜状态时，四个U形下边框7的水平段均远离传动滚筒5，并可转动到坩埚的上开口端斜向朝下的位置，从而便于作业人员进行清洗作业；

两个压紧机构36分别设置在后边框10和横梁13之间的左部和右部，压紧机构36包括伸缩式压臂15和伸缩油缸14；

所述伸缩式压臂15包括V字形的上连接板16、左下连接板17、右下连接板18、压紧板19、第一连杆28、第二连杆29、第三连杆30和第四连杆31；

上连接板16呈中间低两端高的V字型，上连接板16由前到后依次可转动的连接有第一销轴20、第二销轴21、第三销轴22和第四销轴23，第一销轴20和第四销轴23前后对称的设置在上连接板16的两个端部，第二销轴21和第三销轴22前后对称的设置在上连接板16中部的两侧；左下连接板17前侧的下部和后侧的上部分别连接有第五销轴24和第六销轴25，第五销轴24和第六销轴25之间的距离与第三销轴22和第四销轴23之间的距离相等，左下连接板17还与中部左侧U形下边框7后侧的竖直段固定连接，右下连接板18前侧的上部和后侧的上部分别连接有第七销轴26和第八销轴27，第七销轴26和第八销轴27之间的距离与第一销轴20和第二销轴21之间的距离相等；压紧板19固定连接在右下连接板18的前端面上；第一连杆28、第二连杆29、第三连杆30和第四连杆31由前到后依次的设置，且长度均相等；第一连杆28的上下两端分别与第一销轴20和第七销轴26铰接，第二连杆29的上下两端分别与第二销轴21和第八销轴27铰接，第三连杆30分别与第三销轴22和第五销轴24铰接，第四连杆31分别与第四销轴23和第六销轴25铰接；第二销轴21和第三销轴22的右端分别可转动的套装有第一齿轮32和第二齿轮33，第一齿轮32和第二齿轮33分别与第二连杆29和第三连杆30的上端固定连接；

所述伸缩油缸14的底座与后边框10铰接，伸缩油缸14的活塞杆端与第一销轴20铰接。

减速驱动机构2由安装在底部支架1一侧的驱动电机和减速机组成，驱动电机与减速机的输入轴连接，减速机的输出端与旋转轴4连接。

为了保护坩埚不被所述U形下边框7的内侧面上均覆盖有橡胶条。

为了便于调节底部支架的水平状态，所述底部支架1的四周固定连接有四个支撑腿34，且每个支撑腿34的下端均通过螺纹配合连接有高度调节支座35。其中，每个支撑腿34的下端设置有螺纹孔，每个与其配合的高度调节支座35的上端中心垂直的固定连接有螺纹杆，高度调节支座35通过插装于螺纹孔中的螺纹杆来调节相对于支撑腿34下端的距离，进而实现支撑腿34支撑高度的调节。

通过使翻转框架机构的前部下端固定连接旋转座，并使由减速驱动机构驱动的旋转轴与旋转座固定连接，可以方便的实现翻转框架机构和坩埚的翻转状态的调整；通过两个压紧机构的设置，可以在伸缩油缸活塞杆伸缩的动作下驱动压紧板实现对坩埚的压紧状态，以能保证坩埚可以同步稳定的跟随翻转框架机构进行翻转动作，从而可以便于进行内侧壁的清洗作业，在清洗作业之后还能方便进行坩埚四个内侧面的涂刷作业，在翻转框架机构复位到水平状态时，还能便于流水线上的自动流转；本装置可以有效的完成坩埚的翻转清洗、倒水、回流水线继续流转一体化作业，有效的解决了由行吊进行坩埚翻转操作不便，危险系数高的难题；极大地提高了坩埚的生产效率，降低人工工时的损耗。

初始状态时，翻转框架机构处于水平状态，在坩埚由流水线转运至坩埚清洗翻转装置时，由U形下边框中进入到翻转框架机构中，在坩埚完全进入到翻转框架机构中，此时，控制伸缩油缸的活塞杆向外部伸出，进而可以下压上连接板的前侧，从而使上连接板的前侧先向下移动，并带动上连接板整体向下移动，在上连接板向下移动过程中，右下连接板逐渐远离左下连接板，同时，第一齿轮与第二齿轮在啮合配合过程中，稳定的驱动第一连杆和第二连杆向远离第三连杆和第四连杆的方向移动，进而驱动伸缩式压臂展开，从而压紧板向远离左下连接板的方向移动，这样便可以与四个U形下边框前侧的竖直段共同作用将坩埚压紧在翻转框架机构中，再控制减速驱动机构开始工作，固定连接在旋转轴上的放置座带动翻转框架机构翻转，将坩埚翻转到一定角度，直至坩埚的开口到偏朝下的状态，即可以进行坩埚的全面清洗作业。人工清洗完坩埚，待水流尽后，在减速驱动机构传动下将翻转框架机构和坩埚归正到起始位置；再控制伸缩油缸的活塞杆回缩到初始状态，带动上连接板向上移动，使右下连接板向左下连接板方向靠近，收缩伸缩式压臂，将坩埚松开，从而便于将坩埚输送到下一个烘干工位。

Claims (4)

1.一种坩埚清洗翻转装置，包括底部支架(1)和减速驱动机构(2)，所述减速驱动机构(2)安装在底部支架(1)的右端上部；其特征在于，还包括翻转框架机构(3)、两个旋转座(12)、水平设置的旋转轴(4)和两个压紧机构(36)；

所述底部支架(1)的上端沿其长度方向安装有多个传动滚筒(5)，且传动滚筒(5)通过其两端部的短轴水平且可转动的连接在底部支架(1)的上端；

所述翻转框架机构(3)由位于上部的口字形上边框(6)、位于下部的四个U形下边框(7)和位于四个U形下边框(7)后侧下方的横梁(13)组成，口字形上边框(6)由两两依次固定连接的前边框(8)、右边框(9)、后边框(10)和左边框(11)组成，且其内部的尺寸大于待清洗坩埚(37)横截面的尺寸；U形下边框(7)由水平段和固定在水平段两端的两个竖直段组成，且其内部的尺寸大于待清洗坩埚(37)纵断面的尺寸；其中两个U形下边框(7)分别位于口字形上边框(6)的左右两端，且其两个竖直段的端部分别固定连接在前边框(8)和后边框(10)的端部之间；两个U形下边框(7)分别位于口字形上边框(6)的中部左侧和右侧，且其两个竖直段的端部分别固定连接在前边框(8)和后边框(10)的中部之间；所述横梁(13)水平的固定连接在四个U形下边框(7)后侧竖直段的下部；

两个旋转座(12)分别固定连接在最外侧的两个U形下边框(7)水平段的前端下部；

所述旋转轴(4)沿左右方向延伸，并通过轴承座可转动的连接在底部支架(1)上端的前侧，旋转轴(4)的左右两端分别贯穿过两个旋转座(12)的下部，并与两个旋转座(12)之间固定连接；旋转轴(4)的右端与减速驱动机构(2)的输出端连接；在旋转轴(4)转动并通过两个旋转座(12)带动翻转框架机构(3)达到水平状态时，四个U形下边框(7)的水平段均由其对应部分的两个传动滚筒(5)之间的间隙落入到传动滚筒(5)上缘面的下方，且U形下边框(7)与传动滚筒(5)之间隙配合；在旋转轴(4)转动并通过两个旋转座(12)带动翻转框架机构(3)达到倾斜状态时，四个U形下边框(7)的水平段均远离传动滚筒(5)，从而便于作业人员进行清洗作业；

两个压紧机构(36)分别设置在后边框(10)和横梁(13)之间的左部和右部，压紧机构(36)包括伸缩式压臂(15)和伸缩油缸(14)；

所述伸缩式压臂(15)包括V字形的上连接板(16)、左下连接板(17)、右下连接板(18)、压紧板(19)、第一连杆(28)、第二连杆(29)、第三连杆(30)和第四连杆(31)；

上连接板(16)呈中间低两端高的V字型，上连接板(16)由前到后依次可转动的连接有第一销轴(20)、第二销轴(21)、第三销轴(22)和第四销轴(23)，第一销轴(20)和第四销轴(23)前后对称的设置在上连接板(16)的两个端部，第二销轴(21)和第三销轴(22)前后对称的设置在上连接板(16)中部的两侧；左下连接板(17)前侧的下部和后侧的上部分别连接有第五销轴(24)和第六销轴(25)，第五销轴(24)和第六销轴(25)之间的距离与第三销轴(22)和第四销轴(23)之间的距离相等，左下连接板(17)还与中部左侧U形下边框(7)后侧的竖直段固定连接，右下连接板(18)前侧的上部和后侧的上部分别连接有第七销轴(26)和第八销轴(27)，第七销轴(26)和第八销轴(27)之间的距离与第一销轴(20)和第二销轴(21)之间的距离相等；压紧板(19)固定连接在右下连接板(18)的前端面上；第一连杆(28)、第二连杆(29)、第三连杆(30)和第四连杆(31)由前到后依次的设置，且长度均相等；第一连杆(28)的上下两端分别与第一销轴(20)和第七销轴(26)铰接，第二连杆(29)的上下两端分别与第二销轴(21)和第八销轴(27)铰接，第三连杆(30)分别与第三销轴(22)和第五销轴(24)铰接，第四连杆(31)分别与第四销轴(23)和第六销轴(25)铰接；第二销轴(21)和第三销轴(22)的右端分别可转动的套装有第一齿轮(32)和第二齿轮(33)，第一齿轮(32)和第二齿轮(33)分别与第二连杆(29)和第三连杆(30)的上端固定连接；

所述伸缩油缸(14)的底座与后边框(10)铰接，伸缩油缸(14)的活塞杆端与第一销轴(20)铰接。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚清洗翻转装置，其特征在于，减速驱动机构(2)由安装在底部支架(1)一侧的驱动电机和减速机组成，驱动电机与减速机的输入轴连接，减速机的输出端与旋转轴(4)连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种坩埚清洗翻转装置，其特征在于，所述U形下边框(7)的内侧面上均覆盖有橡胶条。

4.根据权利要求3所述的一种坩埚清洗翻转装置，其特征在于，所述底部支架(1)的四周固定连接有四个支撑腿(34)，且每个支撑腿(34)的下端均通过螺纹配合连接有高度调节支座(35)。

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