CN213803966U - 一种高精度薄膜端导溅射治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高精度薄膜端导溅射治具，包括上盖板钢模板和下盖板钢模板，上盖板钢模板和下盖板钢模板的开口尺寸与溅射图形尺寸保持一致；将上盖板钢模板、下盖板钢模板与上盖板主体、下盖板主体点焊在一起形成溅射治具上盖板和下盖板；上盖板和下盖板紧挨溅射产品处左右两侧分别设计两道凹槽，使上盖板和下盖板与溅射产品侧面紧密接触，提高溅射图形尺寸精度。本实用新型通过对公差的精密设计要求，达到了能够双面溅射的效果，提高了溅射效率。

Description

一种高精度薄膜端导溅射治具

技术领域

本实用新型涉及薄膜溅射技术溅射治具领域，具体涉及一种高精度薄膜溅射治具及其溅射的制作方法。

背景技术

ALN功率负载衰减器产品，使用厚膜印刷技术印刷完成导体、电阻、油漆后，需要使用薄膜溅射技术溅射侧面导体，实现正反两面的导体连通，为了提高生产效率，侧面端导溅射，计划制作溅射治具。根据产品的尺寸以及溅射图形，需制作专用溅射治具。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种高精度薄膜端导溅射治具，提高溅射图形尺寸精度。通过对公差的精密设计要求，达到了能够双面溅射的效果，提高了溅射效率。

本实用新型的技术方案是，一种高精度薄膜溅射治具，包括框架，上盖板主体，下盖板主体，其特征在于：还包括0.2mm厚度的上盖板钢模板和下盖板钢模板，上盖板钢模板和下盖板钢模板的开口尺寸与溅射图形尺寸保持一致；将上盖板钢模板、下盖板钢模板与上盖板主体、下盖板主体点焊在一起形成溅射治具上盖板和下盖板；

在上盖板和下盖板上设置圆形定位孔，和框架上的定位柱一一对应；上盖板和下盖板固定到框架上后，定位孔完全套到定位柱上，上盖板和下盖板紧挨溅射产品处左右两侧分别设计两道凹槽，使上盖板和下盖板与溅射产品侧面紧密接触，提高溅射图形尺寸精度。

所述定位柱的尺寸为Φ3mm，公差为-0.005mm到+0.00mm。

所述定位孔的尺寸为Φ3mm，公差为+0.005mm到+0.02mm。

所述凹槽深度0.35mm，宽度2.4mm，公差±0.01mm。

所述上盖板主体和下盖板主体的厚度设计为1.5mm，公差±0.01mm。

所述上盖板钢模板和下盖板钢模板厚度设计为0.2mm，公差±0.01mm。

本实用新型设计了0.2mm厚度的上盖板钢模板和下盖板钢模板，上盖板钢模板和下盖板钢模板的开口尺寸与溅射图形尺寸保持一致；将上盖板钢模板、下盖板钢模板与上盖板主体、下盖板主体点焊在一起形成溅射治具上盖板和下盖板；上盖板和下盖板紧挨溅射产品处左右两侧分别设计两道凹槽，使上盖板和下盖板与溅射产品侧面紧密接触，提高溅射图形尺寸精度。通过对公差的精密设计要求，达到了能够双面溅射的效果，提高了溅射效率。

附图说明

图1是本实用新型内部组装图。

图2是本实用新型框架图。

图3是本实用新型上盖板图。

图4是图3的展开图。

图5是本实用新型下盖板图。

图6是图5的展开图。

图7是夹紧弹簧构件图。

图8是侧面端导溅射示意图。

图9产品叠摞局部放大图。

图10产品单片分层侧视图。

附图标记说明：框架-1，上盖板-2，下盖板-3，夹紧弹簧构件-4，定位孔-5，槽-6，板钢模板-7，板钢模板-8，铁块-9，定位柱-10，槽-11，上盖板主体-12，下盖板主体-13。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所得到的所有其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

如图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7所示，本实用新型一种高精度薄膜端导溅射治具，包括框架1，上盖板2，下盖板3，夹紧弹簧构件4。

ALN功率负载衰减器产品，使用厚膜印刷技术印刷完成导体、电阻、油漆后，需要使用薄膜溅射技术溅射侧面导体，实现正反两面的导体连通。其中标注S1、S2、S3、S4的面需要侧面端导溅射，如图8所示。

溅射时，产品按照一定的方向垂直插入溅射治具，盖上盖板后，溅射的S1、S2、S3、S4面裸露在外，溅射粒子可以直接附着在基板表面，形成溅射层。为了保证搭接的可靠性，溅射图形还需要附着在正反面导体的焊盘上，电镀后，形成一定的连通性。

为了提高生产效率，侧面端导溅射，根据产品的尺寸以及溅射图形，制作了本实用新型专用溅射治具。这个治具主要由上盖板(图2)，框架(图3)，下盖板(图4)，夹紧弹簧(图5)组成。下盖板一般使用螺丝固定在框架上，溅射时，将产品按照一定的方向一条条摆放在治具里，产品的上下两头，摆放专用铁块，使得产品处于有效的溅射区域内。先使用弹簧机构4夹紧一个方向，再旋转侧面螺丝，夹紧侧面方向，最后盖上上盖板。

溅射图形时，不仅只是连通上下导体，还起到微带线的作用，图形尺寸要求为0.45-0.5mm，公差要求在0.05mm以内。这个0.05mm的精度要求是由四个方面的公差累积而成。包括溅射治具框架的加工公差，盖板17道槽的切割公差、累积公差，装片的公差，定位柱的定位公差。四个方面的累积公差总共不能超过0.05mm，所以治具的制作精度要求非常高。

为了保证产品的溅射精度以及溅射图形尺寸，溅射盖板的定位精度以及上盖板2，下盖板3的开口尺寸、上盖板2下盖板3的厚度都有严格的设计要求。具体设计要求如下：

①上盖板2，下盖板3制作圆形定位孔5，和框架1上的定位柱10一一对应。定位柱10的加工尺寸为Φ3mm，精度为-0.005mm到+0.00mm，定位孔5的加工尺寸为Φ3mm，精度为+0.005mm到+0.02mm，定位孔5和溅射槽孔同时线切割，保证定位公差。上盖板2，下盖板3上到框架1上后，定位孔5完全套到定位柱10上，上盖板2，下盖板3没有来回活动的余量，再使用四个螺丝，把上盖板2，下盖板3紧紧固定在框架1上。

②上盖板2，下盖板3紧挨产品处左右两侧分别设计两道凹槽6，凹槽6深度0.35mm，宽度2.4mm，如图3，图5所示：凹槽6设计的目的是抵消分片时产生的边沿多角。基板分成长条后，容易在长条的四个角处出现多角毛刺，溅射时，上盖板2，下盖板3和产品侧面产生缝隙会造成衍射，使得溅射图形尺寸变宽，降低溅射精度。设计凹槽6后，使得长条四个角的位置刚好处于凹槽6位置，上盖板2，下盖板3与产品侧面紧密接触，提高溅射图形尺寸精度。

③溅射图形的尺寸与上盖板2，下盖板3的厚度以及上盖板2，下盖板3的开口尺寸有关系。上盖板2，下盖板3的厚度薄，多次装卸会造成上盖板2，下盖板3形变。上盖板2，下盖板3厚度厚，线切割时难以保证切割精度。所以首先上盖板主体12，下盖板主体13的厚度设计为1.5mm，设计开口尺寸时，由于溅射角度的遮挡以及溅射过程中产生的衍射，经多次试验，溅射的图形尺寸都不够理想，所以采用激光加工0.2mm厚度的上盖板钢模板7，下盖板钢模板8，钢模板薄，激光切割精度也高，上盖板钢模板7，下盖板钢模板8的开口尺寸与溅射图形尺寸保持一致，上盖板主体12，下盖板主体13的开口尺寸略大，将上盖板钢模板7，下盖板钢模板8与1.5mm厚度的上盖板主体12，下盖板主体13点焊在一起(图4、图6)，制作出的溅射治具上盖板2，下盖板3完全满足要求。

实际溅射时，产品按照一定的方向垂直插入溅射治具，盖上盖板后，溅射的面裸露在外，溅射粒子可以直接附着在基板表面，形成溅射层。为了保证搭接的可靠性，溅射图形还需要附着在正反面导体的焊盘上，电镀后，形成一定的连通性。

正反面焊盘如果有溅射层，就需要产品装入溅射治具时，片与片之间具有一定的缝隙，如图9、图10所示。依靠溅射粒子的流动性，附着在正反焊盘表面。这个缝隙的大小，影响着外观与搭接的可靠性，缝隙大，溅射层延伸的深度深，电镀后，外观不符合要求；缝隙小，溅射层延伸的深度浅，搭接不可靠，所以缝隙的控制由为重要。我们利用产品本身油漆和标识印刷的膜层厚度来控制缝隙的大小，油漆、标识的厚度我们使用不同的印刷网版参数来控制。

Claims (6)

1.一种高精度薄膜端导溅射治具，包括框架(1)，上盖板主体(12)，下盖板主体(13)，其特征在于：还包括0.2mm厚度的上盖板钢模板(7)和下盖板钢模板(8)，上盖板钢模板(7)和下盖板钢模板(8)的开口尺寸与溅射图形尺寸保持一致；将上盖板钢模板(7)与上盖板主体(12)、下盖板钢模板(8)与下盖板主体(13)点焊在一起形成溅射治具上盖板(2)和下盖板(3)；

在上盖板(2)和下盖板(3)上设置圆形定位孔(5)，和框架(1)上的定位柱(10)一一对应；上盖板(2)和下盖板(3)固定到框架(1)上后，定位孔(5)完全套到定位柱(10)上，上盖板(2)和下盖板(3)紧挨溅射产品处左右两侧分别设计两道凹槽(6)，使上盖板(2)和下盖板(3)与溅射产品侧面紧密接触，提高溅射图形尺寸精度。

2.根据权利要求1所述的一种高精度薄膜端导溅射治具，其特征在于：所述定位柱(10)的尺寸为Φ3mm，公差为-0.005mm到+0.00mm。

3.根据权利要求1所述的一种高精度薄膜端导溅射治具，其特征在于：所述定位孔(5)的尺寸为Φ3mm，公差为+0.005mm到+0.02mm。

4.根据权利要求1所述的一种高精度薄膜端导溅射治具，其特征在于：所述凹槽(6)深度0.35mm，宽度2.4mm，公差±0.01mm。

5.根据权利要求1所述的一种高精度薄膜端导溅射治具，其特征在于：所述上盖板主体(12)和下盖板主体(13)的厚度设计为1.5mm，公差±0.01mm。

6.根据权利要求1所述的一种高精度薄膜端导溅射治具，其特征在于：所述上盖板钢模板(7)和下盖板钢模板(8)厚度设计为0.2mm，公差±0.01mm。

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