CN213765266U

CN213765266U - 用于氮化铝陶瓷基板的打磨机

Info

Publication number: CN213765266U
Application number: CN202022964843.7U
Authority: CN
Inventors: 何友禁; 马耀斌
Original assignee: Yaan Bestry Performance Materials Corp
Current assignee: Yaan Bestry Performance Materials Corp
Priority date: 2020-12-12
Filing date: 2020-12-12
Publication date: 2021-07-23
Anticipated expiration: 2030-12-12

Abstract

本实用新型公开了一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，属于陶瓷基板加工领域，包括工作台；支撑座，固定在所述工作台上；打磨装置，安装在所述支撑座上；除尘罩，位于所述打磨装置下方，固定安装于所述工作台上；固定装置，设置在所述除尘罩内，位于所述打磨装置正下方；除尘设备，连接着所述除尘罩，设置在工作台下方；所述除尘设备通过除尘罩将含陶瓷粉尘的废气吸入，并将含尘废气除尘后排出。该打磨机能将打磨过程中产生的陶瓷粉尘完全收集，避免了对机床和环境的破坏，保护了操作人员的健康。并且能将陶瓷粉尘储存到除尘箱内，使陶瓷粉尘的清理更加便捷。

Description

用于氮化铝陶瓷基板的打磨机

技术领域

本实用新型涉及陶瓷基板加工领域，尤其涉及一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机。

背景技术

氮化铝陶瓷是以氮化铝为主晶相的陶瓷。氮化铝晶体是以四面体为结构单元的共价键化合物，属六方晶系。氮化铝陶瓷具有优良的热、电、力学性能，并且具有又脆又硬的两种材质特征，是理想的大规模集成电路散热基板和封装材料。

氮化铝陶瓷基板在生产中需要用打磨机对其表面进行打磨处理。打磨机对氮化铝陶瓷基板表面的研磨精度要求非常高，其工作方式是将工件平放在工作台上，再使打磨机上的打磨盘与工件表面接触，然后控制打磨盘做高速旋转运动，从而使打磨盘打磨工件表面。氮化铝陶瓷基板在打磨过程中会产生大量硬而脆的陶瓷粉尘。这些粉尘会对机床造成严重的侵蚀，并且造成环境的破坏和危害操作员身体健康。

实用新型内容

本实用新型为了解决氮化铝陶瓷基板在打磨过程中产生的陶瓷粉尘会对机床、环境和操作员造成危害的问题，提供一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，增加了吸尘装置，其结构简单，除尘速度快，能将打磨过程中的陶瓷粉尘完全收集。

本实用新型采用的技术方案是：

用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，包括：

工作台；

支撑座，固定在所述工作台上；

打磨装置，安装在所述支撑座上；

除尘罩，位于所述打磨装置下方，固定安装于所述工作台上；

固定装置，设置在所述除尘罩内，位于所述打磨装置正下方；

除尘设备，连接着所述除尘罩，设置在工作台下方；

所述除尘设备通过除尘罩将含陶瓷粉尘的废气吸入，并将含尘废气除尘后排出。

该打磨机能将打磨过程中产生的陶瓷粉尘完全收集，避免了对机床和环境的破坏，保护了操作人员的健康。并且能将陶瓷粉尘储存到除尘箱内，使陶瓷粉尘的清理更加便捷。

在本申请公开的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机中，所述打磨装置包括伸缩气缸、第一驱动电机及打磨盘；

所述伸缩气缸垂直于所述工作台，固定安装在支撑座上，其工作端连接着所述第一驱动电机；

所述第一驱动电机的输出轴上安装着所述打磨盘；

所述打磨盘平行于工作台，设置在固定装置的正上方。

在本申请公开的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机中，所述固定装置包括载物台和支撑台；

所述载物台安装在所述支撑台上，其上设置有真空吸盘；

所述支撑台上设置有真空发生器，所述真空发生器与所述真空吸盘相连。

在本申请公开的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机中，所述固定装置的高度不高于所述除尘罩的高度。

在本申请公开的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机中，所述除尘设备包括吸尘管、吸尘风机、除尘箱及第二驱动电机；

所述吸尘管的一端连接着吸尘口，另一端连接着所述吸尘风机；

所述吸尘风机上安装着所述除尘箱；

所述第二驱动电机的工作端连接着所述吸尘风机。

在本申请公开的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机中，所述除尘箱内部设有滤板。

在本申请公开的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机中，所述除尘箱上设有排气口和出料口，所述滤板将含陶瓷粉尘的废气过滤后，气体由所述排气口排出，陶瓷粉尘由所述出料口排出。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型为了解决氮化铝陶瓷基板在打磨过程中产生的陶瓷粉尘会对机床、环境和操作员造成危害的问题，提供一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，包括工作台；支撑座，固定在所述工作台上；打磨装置，安装在所述支撑座上；除尘罩，位于所述打磨装置下方，固定安装于所述工作台上；固定装置，设置在所述除尘罩内，位于所述打磨装置正下方；除尘设备，连接着所述除尘罩，设置在工作台下方；所述除尘设备通过除尘罩将含陶瓷粉尘的废气吸入，并将含尘废气除尘后排出。本实用新型中的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，在工作台上设置有除尘罩，陶瓷基板在除尘罩中进行打磨，避免了陶瓷粉尘的飞溅。除尘设备能将打磨过程中产生的陶瓷粉尘完全收集，避免了对机床和环境的破坏，保护了操作人员的健康。并且能将陶瓷粉尘储存到除尘箱内，打磨结束后再进行清理，使陶瓷粉尘的清理更加便捷。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机的结构示意图一；

图2为本实用新型的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机的结构示意图二；

图3为本实用新型的除尘设备的结构示意图。

附图标记：工作台1、支撑座2、打磨装置3、除尘罩4、固定装置5、除尘设备6、工作面11、支撑柱12、竖板21、横板22、伸缩气缸31、第一驱动电机32、打磨盘33、吸尘口41、载物台51、支撑台52、吸尘管61、吸尘风机62、除尘箱63、第二驱动电机64、滤板65、排气口66和出料口67。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

为了解决氮化铝陶瓷基板在打磨过程中产生的陶瓷粉尘会对机床、环境和操作员造成危害的问题，本实用新型提供一种用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其结构如附图1~3所示。该打磨机包括：

工作台1，具有工作面11，工作面11为水平面。工作台1的下方对称安装有四个支撑柱12，支撑柱12用于保持工作台1平稳放置。

支撑座2，固定在工作台1上，由竖板21和横板22组成。竖板21垂直设置在工作面11上。横板22平行于工作面11，安装在竖板21上方。

打磨装置3，用于打磨陶瓷基板，安装在支撑座2上。打磨装置3垂直于工作面11，悬挂设置在横板22下方。

除尘罩4，位于打磨装置3下方，固定安装于工作台1上。除尘罩4的开口朝上，底部开设有吸尘口41。吸尘口41可将打磨过程中产生的陶瓷粉尘从除尘罩4中排出。吸尘罩4避免了陶瓷粉尘的飞溅，能增大吸尘效果，便于废气的排出。

固定装置5，用于固定陶瓷基板，设置在除尘罩4内。固定装置5位于打磨装置3正下方。打磨工作时，陶瓷基板固定在固定装置上，由打磨装置3进行打磨，其打磨过程在除尘罩4内进行。

除尘设备6，连接着除尘罩4，设置在工作台1下方。除尘设备6连接着吸尘口41，可通过吸尘口41将含陶瓷粉尘的废气吸入，并将含尘废气中的陶瓷粉尘除去后排出。

需要说明的是，本实用新型各实施例中提到的方位词均以附图1为参照。附图1中的打磨机的上方即为上方位，打磨机的下方即为下方位。

在一个实施例中，打磨装置3包括伸缩气缸31、第一驱动电机32及打磨盘33。伸缩气缸31垂直于工作台1，固定安装在支撑座2上。伸缩气缸31的工作端连接着第一驱动电机32。伸缩气缸31能够伸出或缩回，能调节打磨装置3的高度，对陶瓷基板进行打磨工作。第一驱动电机32的输出轴上安装着打磨盘33。打磨盘33平行于工作台1，设置在固定装置5的正上方。第一驱动电机32能带动打磨盘33高速转动，实现对陶瓷基板的打磨。

在一个实施例中，固定装置5包括载物台51和支撑台52。载物台51安装在支撑台52上。载物台51用于放置、固定陶瓷基板，其上设置有真空吸盘。支撑台52内设置有真空发生器，真空发生器与真空吸盘相连，可将陶瓷基板进行固定。

在一个实施例中，固定装置5的高度不高于除尘罩4的高度。在进行打磨工作时，固定装置5的纵向高度应不高于除尘罩4的纵向高度，使整个打磨过程在除尘罩4内进行，保证了打磨过程中产生的陶瓷粉尘不会飞溅，完全被吸尘口41吸出。

在一个实施例中，除尘设备6包括吸尘管61、吸尘风机62、除尘箱63及第二驱动电机64。吸尘管61的一端连接着吸尘口41，另一端连接着吸尘风机62，能实现废气的输送。吸尘风机62上安装着除尘箱63。第二驱动电机64的工作端连接着吸尘风机62，为吸尘风机提供驱动力。含陶瓷粉末的废气在吸尘风机62的作用下，通过吸尘口41进入吸尘管61，含尘废气通过吸尘管61进入除尘箱63，进行除尘。

在一个实施例中，除尘箱63内部设有滤板65。滤板65的侧面与除尘箱63的中部内壁固定连接。滤板65能将含陶瓷粉尘的废气进行分离过滤。

在一个实施例中，除尘箱63上设有排气口66和出料口67，滤板65将含陶瓷粉尘的废气过滤后，气体由排气口66排出，陶瓷粉尘由出料口67排出。

本实用新型的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机的工作方式：

工作时，先将陶瓷基板放置在载物台51上，真空发生器工作，真空吸盘将陶瓷基板固定在载物台51上。伸缩气缸31的活塞杆向下伸出使打磨盘33与陶瓷基板表面接触。启动第一驱动电机32，第一驱动电机32带动打磨盘33高速转动打磨陶瓷基板。打磨时，启动除尘风机62，除尘风机62通过除尘管61对除尘罩5中打磨产生的陶瓷粉尘进行吸取，除尘箱64将陶瓷粉尘分离过滤，废气由排气口66排出，陶瓷粉尘储存在除尘箱64内。打磨结束后，关闭第一驱动电机32，伸缩气缸31向上缩回使打磨盘33离开陶瓷基板。关闭除尘风机62，清理除尘箱64中的陶瓷粉尘。关闭真空发生器，取下陶瓷基板。

基于上述各实施例，本实用新型实施例的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机具有以下优点：该打磨机结构简单，操作便捷，可以将打磨产生的陶瓷粉尘完全收集。本实用新型中的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，在工作台1上设置有除尘罩4，陶瓷基板在除尘罩4中进行打磨，避免了陶瓷粉尘的飞溅。除尘设备6能将打磨过程中产生的陶瓷粉尘完全收集，避免了对机床和环境的破坏，保护了操作人员的健康。并且能将陶瓷粉尘储存到除尘箱内，打磨结束后再进行清理，使陶瓷粉尘的清理更加便捷。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，包括：

工作台（1）；

支撑座（2），固定在所述工作台（1）上；

打磨装置（3），安装在所述支撑座（2）上；

除尘罩（4），位于所述打磨装置（3）下方，固定安装于所述工作台（1）上；

固定装置（5），设置在所述除尘罩（4）内，位于所述打磨装置（3）正下方；

除尘设备（6），连接着所述除尘罩（4），设置在工作台（1）下方；

所述除尘设备（6）通过除尘罩（4）将含陶瓷粉尘的废气吸入，并将含尘废气除尘后排出。

2.根据权利要求1所述的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，所述打磨装置（3）包括伸缩气缸（31）、第一驱动电机（32）及打磨盘（33）；

所述伸缩气缸（31）垂直于所述工作台（1），固定安装在支撑座（2）上，其工作端连接着所述第一驱动电机（32）；

所述第一驱动电机（32）的输出轴上安装着所述打磨盘（33）；

所述打磨盘（33）平行于工作台（1），设置在固定装置（5）的正上方。

3.根据权利要求1所述的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，所述固定装置（5）包括载物台（51）和支撑台（52）；

所述载物台（51）安装在所述支撑台（52）上，其上设置有真空吸盘；

所述支撑台（52）内设置有真空发生器，所述真空发生器与所述真空吸盘相连。

4.根据权利要求1或3所述的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，所述固定装置（5）的高度不高于所述除尘罩（4）的高度。

5.根据权利要求1所述的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，所述除尘设备（6）包括吸尘管（61）、吸尘风机（62）、除尘箱（63）及第二驱动电机（64）；

所述吸尘管（61）的一端连接着吸尘口（41），另一端连接着所述吸尘风机（62）；

所述吸尘风机（62）上安装着所述除尘箱（63）；

所述第二驱动电机（64）的工作端连接着所述吸尘风机（62）。

6.根据权利要求5所述的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，所述除尘箱（63）内部设有滤板（65）。

7.根据权利要求6所述的用于氮化铝陶瓷基板的打磨机，其特征在于，所述除尘箱（63）上设有排气口（66）和出料口（67），所述滤板（65）将含陶瓷粉尘的废气过滤后，气体由所述排气口（66）排出，陶瓷粉尘由所述出料口（67）排出。