CN213716856U - 一种晶圆单片清洗花篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，公开了一种晶圆单片清洗花篮，包括调节杆和托盘,调节杆包括第一圆柱杆和第二圆柱杆，第二圆柱杆和托盘固定连接，托盘底部设有通孔，托盘边缘设有环形凸起，环形凸起上设有若干个缺口，托盘上设有台阶，且台阶位于环形凸起上的一个缺口上，托盘上圆周分布有三个挡板，挡板下端固定连接有限位块，限位块下端固定连接有定位块，挡板滑动连接有滑动凹槽，限位凹槽上均匀的设有多个定位凹槽，定位凹槽的大小与定位块相匹配。本实用新型能够解决传统用于单片圆清洗装置的尺寸不可调节、不便取放的问题。

Description

一种晶圆单片清洗花篮

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，尤其涉及一种晶圆单片清洗花篮。

背景技术

晶圆的清洗是芯片制造业一大常见步骤，晶圆的清洗方式从数量上可分为单片清洗和多片清洗，实验中经常会针对不同尺寸的单片晶圆展开不同工艺条件的模拟生产，大部分操作过程都是对单片晶圆进行清洗，传统的清洗花篮都是适用于多片晶圆的清洗，尺寸大，外形笨重，容量多，使得一次性需要配置的晶圆数量实验用腐蚀液太多，使用过程中对于晶圆的遮挡也过多，影响实验效率和清洗效果，取放片不方便，无法满足对单片晶清洗要求。

现有技术对单片晶圆的清洗，例如，专利文件CN211265423U公开了一种晶圆单片清洗装置，其包括盘体，盘体构造有由盘体的上表面贯通至下表面的多个通孔，且盘体还构造有用于承载晶圆且水平设置的承载部，承载部环绕设置于通孔的外侧。该实用新型的平铺承载部更有利于装载晶圆，而且根据实验室对于晶圆单片清洗装置的需求，通过对承载部尺寸精细设计可以避免晶圆与外界接触，减少对晶圆的遮挡，但该技术方案不便于单片晶圆的取放，也不能用于不同尺寸晶圆的清洗，而对于不同的单片晶圆来说，尚缺少一个合理方便的清洗载具，同时为了节省空间，节约药液的使用量，需要一个实用新型单片清洗花篮以解决该问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型要解决的是传统用于单片晶圆清洗装置的尺寸不可调节、不便取放的问题。

本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种晶圆单片清洗花篮，包括调节杆和托盘,所述调节杆包括第一圆柱杆和第二圆柱杆，所述第一圆柱杆下端设有外螺纹，所述第二圆柱杆上端三分之二处为内螺纹结构且与第一圆柱杆下端的外螺纹相配合，所述第二圆柱杆和托盘固定连接，所述托盘底部设有由托盘上表面贯通至下表面的多个通孔，所述托盘边缘设有环形凸起，所述环形凸起上设有若干个缺口，所述托盘上设有台阶，所述台阶的厚度小于托盘的厚度，且所述台阶位于环形凸起上的一个缺口上，所述托盘上圆周分布有三个挡板，所述挡板下端固定连接有限位块，所述限位块下端固定连接有定位块，所述挡板滑动连接有滑动凹槽，所述滑动凹槽下方设有限位凹槽，所述限位凹槽的高度等于限位块和定位块的高度之和，所述限位凹槽的宽度小于其长度，所述滑动凹槽和限位凹槽的长度相同，所述限位凹槽上均匀的设有多个定位凹槽，所述定位凹槽的大小与定位块相匹配，所述托盘上圆周分布的定位凹槽形成多个不同直径尺寸的定位凹槽。

进一步，所述第一圆柱杆上端设有把手，在晶片清洗时方便对花篮的拿取。

进一步，所述托盘上设有连接件，连接件上设有与第二圆柱杆尺寸相配合的圆孔，所述第二圆柱杆和托盘通过销钉连接。

进一步，所述滑动凹槽和限位凹槽的长度相同,使挡板能合理的滑动在滑动凹槽和限位凹槽内，用于对不同尺寸的晶圆进行定位。

进一步，所述限位块的长度和宽度均小于滑动凹槽的长度和宽度，所述定位块的宽度小于滑动凹槽的宽度，当挡板旋转90°可取出限位块和定位块。

本实用新型的有益效果：

(1)在托盘上圆周设置挡板，且通过定位块、限位块与滑动凹槽、限位凹槽、定位凹槽的配合，可以对多个不同直径尺寸的晶圆进行限位，实现不同尺寸单片晶圆的清洗。

(2)在进行单片晶圆的清洗时，传统的花篮适用于多片晶圆的清洗，使用传统的花篮对单片晶圆进行清洗时会造成清洗溶液的浪费，本实用新型设计的花篮可减少清洗溶液的浪费。

(3)台阶的厚度小于托盘的厚度，是为了便于镊子对晶圆的夹取，避免因晶圆下方没有空间所导致的镊子在对晶圆的夹取过程中对晶圆边缘的损坏，单片晶圆位于托盘上，当单片晶圆清洗完成后，拿起镊子，镊子下端的夹片插入台阶与晶圆之间的缝隙，镊子上端的夹片位于晶圆的上部，从而实现镊子将晶圆从托盘上取出，台阶的设置使得对清洗完成后的晶圆的取放更加方便。

(4)调节杆的设置可以根据实际需要对花篮长度进行调节，把手的设置可以避免直接接触晶圆表面的残留液。

(5)托盘周围的环形凸起能保证晶圆在传输过程中不掉落和防止在快速放入清洗溶液中导致的晶圆上浮离开托盘。

(6)托盘中间的通孔能有效地将完成清洗或工艺后的残余溶液的加速排出。

附图说明

图1是本实用新型一种晶圆单片清洗花篮的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是本实用新型中托盘的结构示意图；

图4是图3中B处的局部剖视图；

图5是本实用新型中挡板、定位块和限位块的结构示意图；

图6是本实用新型中定位凹槽的示意图；

其中，调节杆1、第一圆柱杆2、第二圆柱杆3、把手4、托盘5、连接件6、通孔7、圆孔8、环形凸起9、缺口10、缺口10、台阶11、挡板12、限位块13、定位块14、滑动凹槽15、限位凹槽16、定位凹槽17、第一定位凹槽18、第二定位凹槽19、第三定位凹槽20、销钉21。

具体实施方式

以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1-6所示，一种晶圆单片清洗花篮，包括调节杆1和托盘5，调节杆1包括第一圆柱杆2和第二圆柱杆3，第一圆柱杆2上端设有把手4，第一圆柱杆2下部设有外螺纹，第二圆柱杆3上部三分之二处为内螺纹结构且与第一圆柱杆2下部的外螺纹相配合，即第一圆柱杆2和第二圆柱杆3螺纹连接，当旋转第一圆柱杆2时可调节调节杆1的长度，托盘5上设有连接件6，连接件6开设有与第二圆柱杆3尺寸相配合的圆孔8，即第二圆柱杆3可以刚好插入连接件6的圆孔8内，第二圆柱杆3和连接件6通过销钉21固定连接。

托盘5底部设有若干由托盘5上表面贯通至下表面的多个通孔7，托盘5边缘设有环形凸起9，环形凸起9上设有若干个缺口10，托盘5上设有台阶11，台阶11的厚度小于托盘5的厚度，且台阶11位于环形凸起9上远离连接件6的一个缺口10上，以托盘5为中心圆周均匀分布有三个挡板12，如图5所示，挡板12下端固定连接有限位块13，限位块13下端固定连接有定位块14，挡板12滑动连接有滑动凹槽15，滑动凹槽15下方设有限位凹槽16，滑动凹槽15和限位凹槽16的长度相同，限位凹槽16的高度等于限位块13和定位块14的高度之和，即定位块14和限位块13都能在限位凹槽16内滑动，限位凹槽16的宽度小于其长度，限位凹槽16下端均匀开设有三个定位凹槽17，定位凹槽17的大小与定位块14相匹配，即定位块14能刚好卡在定位凹槽17内，托盘5上圆周分布的定位凹槽17形成六寸的第一定位凹槽18、八寸的第二定位凹槽19和十寸的第三定位凹槽20，限位块13的长度和宽度均小于滑动凹槽15的长度和宽度，定位块14的宽度小于滑动凹槽15的宽度。

本实用新型的使用方法如下：

确定被清洗晶圆的尺寸大小，根据晶圆尺寸调节挡板12的圆周尺寸，本实用新型可以对六寸、八寸、十寸的晶圆进行清洗，在此实施例中对六寸单片晶圆进行清洗，调节尺寸时，手动将挡板12提起，此时定位块14和限位块13都在限位凹槽16内滑动，然后将定位块14放置第一定位凹槽18的定位凹槽17内，花篮直径调节完成。根据清洗容器尺寸调节花篮调节杆1的长度，通过第二圆柱杆3上的内螺纹和第一圆柱杆2上的外螺纹相互配合，旋转第一圆柱杆2调节调节杆1的长度，调节完毕后将单片晶圆放在托盘5上，放置完成后，提起调节杆1，将花篮放入清洗液中对六寸单片晶圆进行清洗，清洗完成后，将镊子放在台阶11处，由于台阶11的厚度小于托盘5的厚度，当晶圆放在托盘5上时，台阶11和晶圆处留有镊子夹取的缝隙，避免因晶圆下方没有空间所导致的镊子在对晶圆的夹取过程中对晶圆边缘的损坏，单片晶圆清洗完成后拿起镊子，将镊子下端的夹片插入台阶11与晶圆之间的缝隙，镊子上端的夹片位于晶圆的上部，从而实现镊子将晶圆从托盘5上取出。

当滑动凹槽15、限位凹槽16和定位凹槽17的内部需要清洗时，将挡板12旋转90°可取出限位块13和定位块14，对滑动凹槽15、限位凹槽16和定位凹槽17进行清洗。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (5)

1.一种晶圆单片清洗花篮，包括调节杆和托盘,其特征在于：所述调节杆包括第一圆柱杆和第二圆柱杆，所述第一圆柱杆下端设有外螺纹，所述第二圆柱杆上端三分之二处为内螺纹结构且与第一圆柱杆下端的外螺纹相配合，所述第二圆柱杆和托盘固定连接，所述托盘底部设有由托盘上表面贯通至下表面的多个通孔，所述托盘边缘设有环形凸起，所述环形凸起上设有若干个缺口，所述托盘上设有台阶，所述台阶的厚度小于托盘的厚度，且所述台阶位于环形凸起上的一个缺口上，所述托盘上圆周分布有三个挡板，所述挡板下端固定连接有限位块，所述限位块下端固定连接有定位块，所述挡板滑动连接有滑动凹槽，所述滑动凹槽下方设有限位凹槽，所述限位凹槽的高度等于限位块和定位块的高度之和，所述限位凹槽的宽度小于其长度，所述滑动凹槽和限位凹槽的长度相同，所述限位凹槽上均匀的设有多个定位凹槽，所述定位凹槽的大小与定位块相匹配，所述托盘上圆周分布的定位凹槽形成多个不同直径尺寸的定位凹槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆单片清洗花篮，其特征在于：所述第一圆柱杆上端设有把手。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆单片清洗花篮，其特征在于：所述托盘上设有连接件，连接件上设有与第二圆柱杆尺寸相配合的圆孔，第二圆柱杆和连接件通过销钉连接。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆单片清洗花篮，其特征在于：所述滑动凹槽和限位凹槽的长度相同。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆单片清洗花篮，其特征在于：所述限位块的长度和宽度均小于滑动凹槽的长度和宽度，所述定位块的宽度小于滑动凹槽的宽度。

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