CN213661582U - 一种用于固定石英晶片的镀膜夹具 - Google Patents
一种用于固定石英晶片的镀膜夹具 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种用于固定石英晶片的镀膜夹具，包括底盖板和面盖板，在所述底盖板和面盖板之间设有固定板，在固定板和面盖板之间自下而上依次贴合用作下电极和晶片限位的一体板和上电极板；所述一体板上开设多个下电极限位孔，所述上电极板设有与所述下电极限位孔位置对应的上电极孔；所述固定板包括第一边框，所述底盖板和面盖板均包括与第一边框相对应的第二边框；所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔，其中安装有磁石，所述第二边框/所述第一边框能吸附于磁石；所述一体板和上电极板在与所述磁石孔对应的位置处设有通孔或镂空结构。其简化了镀膜夹具结构，增强固定效果，还能减少制造和装配过程中的误差，大幅提高石英晶片镀膜效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英产品制造领域，更具体地，涉及一种用于固定石英晶片的镀膜夹具。
背景技术
近几年来，石英产品在全球每年销售量按20％左右的速度增长。随着信息产业的飞速发展，压电石英晶体振荡器和压电石英谐振器因其体积小、重量轻、可靠性高以及频率稳定度高的特点，广泛应用于各种工业设备、通信设备、游戏设备、家用设备等各种智能设备，如手机、智能穿戴、机器人、蓝牙、导航、智能家居等。在石英晶体振荡器和压电石英谐振器的生产过程中，镀膜工序是影响产品电性能的关键工序，其主要目的是在已清洗好的石英晶片的正反面镀上一层一定厚度的金属膜，作为石英晶体的正负导电电极，因此用于镀上该电极的镀膜治具一直是技术提升的重点。
目前，现有技术中，为给石英晶片镀上双面电极，步骤主要分三步：上片、镀膜和下片，由于镀膜治具所采用螺丝固定的方式将盖板、电极板和晶片限位板固定在一起，在上片和下片过程中都需要装卸螺丝，工序麻烦，且由于盖板、电极板和晶片限位板装卸使用频繁，而治具本身很薄，容易弯曲变形，长期使用螺丝孔会变大降低定位准确性，减少该治具的使用寿命。虽然现有技术也有采用磁铁固定代替螺栓固定的方式，但是其磁铁是设置在由两块基板热压形成的盖板的两块基板之间的，这样的治具结构过于复杂，且由于磁铁之间存在基板作为阻挡物，从而导致磁铁吸附力变弱，因此，该方案需要两块盖板固定，如此需要大量的磁铁，从而造成了一定程度上的浪费。另外，该方案需要两块基板合并成一个盖板，增大了盖板的厚度，进而很容易影响后期石英晶片的镀膜效果。
实用新型内容
本实用新型旨在克服上述现有技术的至少一种缺陷(不足)，提供一种用于固定石英晶片的镀膜夹具，简化了镀膜夹具结构，增强了固定效果，还能减少制造和装配过程中的误差，大幅提高石英晶片的镀膜效果。
本实用新型采取的技术方案是，
一种用于固定石英晶片的镀膜夹具，包括底盖板和面盖板，在所述底盖板和面盖板之间设有固定板，在固定板和面盖板之间自下而上依次贴合用作下电极和晶片限位的一体板和上电极板；所述一体板上开设有多个下电极限位孔，所述上电极板上设有与所述下电极限位孔位置对应的上电极孔；所述固定板包括第一边框，所述底盖板和面盖板均包括与第一边框相对应的第二边框；所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔，所述磁石孔中安装有磁石，所述第二边框/所述第一边框能吸附于磁石；所述一体板和上电极板在与所述磁石孔对应的位置处设有通孔或镂空结构。
在本技术方案中，直接将磁铁安装于固定板，以吸附底盖板和面盖板，避免了现有技术中采用两基板热压形成盖板的方式，如此，大大降低了镀膜夹具的复杂程度，还减小了盖板的厚度，固定板和盖板之间没有多余的阻碍，对磁石的吸附力影响小，固定效果更好；同时，相对与现有技术，本申请的方案中底、面盖板和固定板的厚度更小，因而，底、面盖板和固定板对镀膜效果的影响也更小，同时减少对镀膜材料的浪费；所述一体板集下电极和晶片限位的功能于一体，可取代现有技术中的下电极板和晶片限位板，精简镀膜夹具的结构，减少制造和装配过程中的误差，使镀膜夹具各层贴合更紧密，进一步保证石英晶片在镀膜夹具中稳定不晃动，大幅提高镀膜效果，避免出现因夹具误差偏高导致镀膜后形成的电极不完整、错位严重等现象。
优选地，在所述第一边框上设有磁石孔，所述磁石孔中安装有磁石，所述第二边框采用能被磁石吸引的材料制成，使所述第二边框被所述磁石吸附，固定于所述第一边框上，或，在所述第二边框上设有磁石孔，所述磁石孔中安装有磁石，所述第一边框采用能被磁石吸引的材料制成，使所述第一边框被所述磁石吸附，固定于所述第二边框上。
在本技术方案中，采用外框磁石固定的方式，除了可以在第一边框和第二边框相对应的位置上设置安装磁石的磁石孔，还可以在第一边框和第二边框中的一者设置安装磁石的磁石孔，另一者采用能被磁石吸引的材料制成如铁、镍、钴等金属或合金，只要能实现将第一边框和第二边框通过磁铁吸力固定即可，这样则可在保证固定效果的同时尽可能减少磁石数量。
优选地，所述下电极限位孔在所述一体板上的镀膜区域内等间距分布，所述上电极孔在所述上电极板的镀膜区域内等间距分布。
在本技术方案中，通过将下电极限位孔和上电极孔等间距分布设置，并在区域内设置合理的磁石固定，使得磁石对晶片限位孔周围的磁力分布更均匀一些，进一步增强磁石对镀膜夹具的固定效果，使得石英晶片的固定更加稳定，镀膜后得到的电极更完整，可靠性更高。
优选地，所述固定板还包括设于所述第一边框内的第一增强筋，所述底盖板和面盖板还包括设于所述第二边框内的第二增强筋；所述第一增强筋/所述第二增强筋上设有磁石孔，所述磁石孔中安装于磁石；所述第一增强筋/所述第二增强筋能吸附于磁石；在所述一体板上的下电极限位孔之间以及在所述上电极板的上电极孔之间设有与所述磁石孔对应的通孔或镂空结构。
更优选地，在所述镀膜区域内，在所述一体板上或所述上电极板上，每隔1～3行/列交错布置所述通孔或镂空位，即以每个在所述第一增强筋/所述第二增强筋上设有的磁石孔为中心，辐射的下电极限位孔和上电极孔约为1～3个。
在本技术方案中，其设置结构简单，既能保证石英晶片的稳定性，又能尽量减少磁石的用量，且不会增加镀膜夹具的复杂程度。同时，本方案在最大程度上增加单个镀膜夹具上的镀膜工位，即下电极限位孔的数量，大大提高了产品的产能及镀膜效率。
优选地，镀膜区域内所述上电极孔和下电极限位孔≤19行。为了便于镀膜以及后续收纳方便，镀膜夹具的尺寸不宜过大。
优选地，所述固定板上设有定位销，所述一体板、上电极板、底盖板和面盖板在与所述定位销相对应的位置处设置有开孔。
在本技术方案中，所述固定板上设有定位销，其余的板与所述定位销相对应的位置处设置有开孔，能便于镀膜夹具中各层的安装定位，提高操作者的操作效率；在实际安装时，先取底盖板固定在固定板底部，固定板定位销朝上，然后放置一体板，将石英晶片放入晶片限位孔中，再依次盖上上电极板和面盖板，如此即可实现镀膜夹具的定位安装，该定位结构和定位方法都非常简单有效，制造难度小，应用成本低。
优选地，所述底盖板和面盖板为钢片。
在本技术方案中，底盖板和面盖板采用能被磁铁吸力固定的钢材料，且其厚度更小，因而，底盖板、面盖板和固定板对镀膜效果的影响也更小，同时减少对镀膜材料的浪费。
优选地，所述磁石孔的深度比磁石高度大0.05mm～0.15mm。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
(1)本实用新型结构简单，应用成本低，能减少制造和装配过程中的误差，且有效实现对石英晶片的稳定固定，大大提升产品质量并降低损耗；
(2)本实用新型镀膜工位设计紧凑合理，夹具各层贴合紧密，所以晶片固定效果好，镀膜质量高，还大大提高了产品的产能及镀膜效率。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
图2为本实用新型的分层结构示意图。
图3为本实用新型的一体板的结构示意图。
图4为本实用新型的上电极板的结构示意图。
附图中标记为：底盖板101；固定板102；一体板103；上电极板104；面盖板105；磁石孔106；下电极限位孔107；上电极孔108；定位销109；开孔110。
具体实施方式
本实用新型附图仅用于示例性说明，不能理解为对本实用新型的限制。为了更好说明以下实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
实施例
如图1和图2所示，本实施例提供一种用于固定石英晶片的镀膜夹具，所述镀膜夹具包括依次叠放的底盖板101、固定板102、用作下电极和晶片限位的一体板103、上电极板104 和面盖板105。
其中，所述固定板102包括第一边框与设于所述第一边框内的第一增强筋，所述底盖板 101和面盖板105均包括与第一边框相对应的第二边框与设于所述第二边框内的第二增强筋，可在第一边框和第二边框在相对应的位置上设置安装磁石的磁石孔106，还可以在其中一个边框上设置安装磁石的磁石孔106，另一个边框采用能被磁石吸引的材料，如铁、镍、钴等金属或合金，使各边框通过磁铁吸力固定。在本实施例中，在所述第一边框上设置磁石孔 106，所述底盖板101和面盖板105均采用对磁石具有较强吸附效果的钢片，直接将磁铁安装于固定板102，降低了镀膜夹具的复杂程度，使固定板102和盖板之间没有多余的阻碍对磁石的吸附力影响小，固定效果更好；所述第一增强筋和所述第二增强筋上均能吸附于磁石，其上设有磁石孔106，所述磁石孔106中安装于磁石，其中，所述磁石孔106的深度比磁石高度大0.05mm～0.15mm。
结合图3所示，所述一体板103上开设有多个下电极限位孔107，所述下电极限位孔107 既能对石英晶片进行限位，也能作为下电极在石英晶片上镀膜，其在所述一体板103上的镀膜区域内等间距分布成若干行，为了便于镀膜以及后续收纳方便，镀膜夹具的尺寸不宜过大，因此所述下电极限位孔107行数≤19行，在本实施例中，所述下电极限位孔107的行数为19 行，为了减少固定板102和面盖板105磁力吸附的阻碍，使固定板102和面盖板105之间没有多余的板阻隔，在所述一体板103的边框以及各行下电极限位孔107之间在与磁石孔106 相应的位置开设有通孔，如图所示，本实施例的通孔形状为方孔，在实际应用中，所述通孔可以做成方孔、圆孔、镂空结构或是其他形状的孔。
结合图4所示，所述上电极板104与所述一体板103结构类似，在所述上电极板104上设有与所述下电极限位孔107位置一一对应的上电极孔108，即所述上电极孔108在所述上电极板104的镀膜区域内也为等间距分布，其行数也≤19行，在本实施例中，所述上电极孔 108的行数为19行，相应地，在所述上电极板104的边框以及各行上电极孔108之间在与磁石孔106相应的位置开设有通孔，如图所示，本实施例是采用由两个长方形孔组成的孔结构，在实际应用中，所述通孔还可以做成方孔、圆孔、镂空结构或是其他形状的孔。
在本实施例中，为了保证石英晶片的稳定性，最大程度上减少磁石的用量，增加镀膜工位的数量，每个磁石孔106辐射的下电极限位孔107数量1～3个，使所述通孔或镂空结构在所述一体板103上或所述上电极板104上，每隔1～3行/列交错布置，在最大程度上增加单个镀膜夹具上的镀膜工位，即下电极限位孔107，大大提高了产品的产能及镀膜效率
为了便于镀膜夹具中各层的安装定位，提高操作者的操作效率，本实施例在所述固定板 102上设有定位销109，所述底盖板101、一体板103、上电极板104和面盖板105在与定位销109相对应的位置处设置有开孔110。在实际安装时，先取固定板102，在磁石孔106装上磁石，底盖板101吸附于固定板102底面，固定板102的定位销109朝上，然后依次放置一体板103，将石英晶片放入晶片限位孔中，再依次盖上上电极板104和面盖板105，如此即可实现镀膜夹具的定位安装，该定位结构和定位方法都非常简单有效，制造难度小，应用成本低。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型技术方案所作的举例，而并非是对本实用新型的具体实施方式的限定。凡在本实用新型权利要求书的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，包括底盖板(101)和面盖板(105)，在所述底盖板(101)和面盖板(105)之间设有固定板(102)，在固定板(102)和面盖板(105)之间自下而上依次贴合用作下电极和晶片限位的一体板(103)和上电极板(104)；
所述一体板(103)上开设有多个下电极限位孔(107)，所述上电极板(104)上设有与所述下电极限位孔(107)位置对应的上电极孔(108)；
所述固定板(102)包括第一边框，所述底盖板(101)和面盖板(105)均包括与第一边框相对应的第二边框；所述第一边框/所述第二边框上设有磁石孔(106)，所述磁石孔(106)中安装有磁石，所述第二边框/所述第一边框能吸附于磁石；
所述一体板(103)和上电极板(104)在与所述磁石孔(106)对应的位置处设有通孔或镂空结构。
2.根据权利要求1所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，在所述第一边框上设有磁石孔(106)，所述磁石孔(106)中安装有磁石，所述第二边框采用能被磁石吸引的材料制成，使所述第二边框被所述磁石吸附，固定于所述第一边框上，或，在所述第二边框上设有磁石孔(106)，所述磁石孔(106)中安装有磁石，所述第一边框采用能被磁石吸引的材料制成，使所述第一边框被所述磁石吸附，固定于所述第二边框上。
3.根据权利要求1所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，所述下电极限位孔(107)在所述一体板(103)上的镀膜区域内等间距分布，所述上电极孔(108)在所述上电极板(104)的镀膜区域内等间距分布。
4.根据权利要求3所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，所述固定板(102)还包括设于所述第一边框内的第一增强筋，所述底盖板(101)和面盖板(105)还包括设于所述第二边框内的第二增强筋；所述第一增强筋/所述第二增强筋上设有磁石孔(106)，所述磁石孔(106)中安装于磁石；所述第一增强筋/所述第二增强筋能吸附于磁石；
在所述一体板(103)上的下电极限位孔(107)之间以及在所述上电极板(104)的上电极孔(108)之间设有与所述磁石孔(106)对应的通孔或镂空结构。
5.根据权利要求4所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，所述通孔或镂空结构为方形、圆形或两个方形孔组成的孔结构。
6.根据权利要求3所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，镀膜区域内所述上电极孔(108)和下电极限位孔(107)≤19行。
7.根据权利要求1所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，所述固定板(102)上设有定位销(109)，所述一体板(103)、上电极板(104)、底盖板(101)和面盖板(105)在与所述定位销(109)相对应的位置处设置有开孔(110)。
8.根据权利要求1至7任一项所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，所述底盖板(101)和面盖板(105)为钢片。
9.根据权利要求1至7任一项所述的用于固定石英晶片的镀膜夹具，其特征在于，所述磁石孔(106)的深度比磁石高度大0.05mm～0.15mm。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN118322117A (zh) * | 2024-04-12 | 2024-07-12 | 烟台明德亨电子科技有限公司 | 一种晶片夹具及其自动装配拆卸方法 |
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- 2020-12-30 CN CN202023334932.XU patent/CN213661582U/zh active Active
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A coating fixture for fixing quartz wafers Effective date of registration: 20220826 Granted publication date: 20210709 Pledgee: Haizhu sub branch of Guangzhou Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Pledgor: GUANGZHOU JINGYOU ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2022440000211 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Granted publication date: 20210709 Pledgee: Haizhu sub branch of Guangzhou Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Pledgor: GUANGZHOU JINGYOU ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2022440000211 |
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| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A coating fixture for fixing quartz chips Granted publication date: 20210709 Pledgee: Haizhu sub branch of Guangzhou Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Pledgor: GUANGZHOU JINGYOU ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2024980013411 |