CN213660375U - 一种晶圆划片机定位装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆划片机定位装置，有效的解决了现阶段晶圆加工过程中定位夹具不方便调节的问题；其解决的技术方案包括基座，基座的外圆面上螺纹，基座上端圆周均布有多个安装槽，每个安装槽内设有一个沿基座径向布置的导向杆，每个导向杆上套装有一个压簧，每个安装槽内暗转有一个可沿导向杆滑动的楔形滑块，楔形滑块的上端固定有一个伸出基座上端面的定位柱，基座的上端同轴旋装有一个调整座，基座上旋装有一个螺纹套，螺纹套上圆周均布有多个与安装槽一一对应的压紧单元，每个压紧单元包括一个轴线与基座平行的支杆，每个支杆的一端转动安装在螺纹套上，另一端固定有一个上端上内倾斜并与对应滑块的斜面接触的压杆。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆定位夹具设备领域，特别是一种晶圆划片机定位装置。
背景技术
目前市场上的晶圆划片机，从划片工艺上分为刀轮机和激光划片机，晶圆片的正面是晶粒和晶粒沟槽，背面有做对位蚀刻线槽和不做对位蚀刻线槽两种，划片就是要在晶粒的背面划，同时保证背面的激光划线要延晶片正面的晶粒沟槽中心方向划，目前市场上的晶圆激光划片机，定位方式有定位背面有做对位蚀刻线槽的，也有定位背面不做对位蚀刻线槽，从晶片正面晶粒沟槽定位，但是现有的定位板定位不方便调节，因此，发明一种全自动晶圆划片机定位装置来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型提供一种晶圆划片机定位装置，有效的解决了现阶段晶圆加工过程中定位夹具不方便调节的问题。
其解决问题的技术方案包括一个轴线竖直的圆柱形基座，基座的外圆面上螺纹，基座上端圆周均布有多个安装槽，每个安装槽内设有一个沿基座径向布置的导向杆，每个导向杆上套装有一个压簧，每个安装槽内安装有一个可沿导向杆滑动的楔形滑块，楔形滑块的上端固定有一个伸出基座上端面的定位柱，基座的上端同轴旋装有一个调整座，基座上旋装有一个螺纹套，螺纹套上圆周均布有多个与安装槽一一对应的压紧单元，每个压紧单元包括一个轴线与基座平行的支杆，每个支杆的一端转动安装在螺纹套上，另一端固定有一个上端上内倾斜并与对应滑块的斜面接触的压杆。
本实用新型构思新颖，结构巧妙，实用性强，有效的解决了现阶段晶圆加工过程中定位夹具不方便调节的问题。
附图说明
图1本实用新型主视图。
图2本实用新型主视剖面图。
图3本实用新型俯视图。
图4本实用新型螺纹套的三维视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细说明。
由图1至图4可知,本实用新型包括包括一个轴线竖直的圆柱形基座1，基座1的外圆面上螺纹，基座1上端圆周均布有多个安装槽2，每个安装槽2内设有一个沿基座1径向布置的导向杆3，每个导向杆3上套装有一个压簧4，每个安装槽2内安装有一个可沿导向杆3滑动的楔形滑块5，楔形滑块5的上端固定有一个伸出基座1上端面的定位柱6，基座1的上端同轴旋装有一个调整座7，基座1上旋装有一个螺纹套8，螺纹套8上圆周均布有多个与安装槽2一一对应的压紧单元，每个压紧单元包括一个轴线与基座1平行的支杆9，每个支杆9的一端转动安装在螺纹套8上，另一端固定有一个上端上内倾斜并与对应滑块的斜面接触的压杆10。
为了实现楔形滑块5在安装槽2内的安装，所述每个楔形滑块5上设有一个可供导向杆3穿插的定位孔。
为了方便螺纹套8的旋拧，所述螺纹套8的外圆面上圆周均布有多个拨杆。
本实用新型的具体工作过程是：本装置在使用时通过旋拧调整座7实现调整座7的高低调整，初始状态时通过旋拧螺纹套8使得螺纹套8向基座1上端靠拢，次哦过程中压杆10沿楔形压块的斜面相互上移动，在压簧4的复位作用下实现多个楔形压块带动定位柱6沿着基座1经线向外移动，此时可将待加工的晶圆放置在调整座7上，然后反向转动螺纹套8，使得螺纹杆带动支杆9，压杆10向远离基座1上端移动，此过程中，倾斜的压杆10挤压楔形滑块5的斜面驱动楔形滑块5向基座1轴线方向移动，此过程中实现对晶圆的夹紧。
本装置的显著好处：本装置可根据晶圆片厚度的不同，通过调整调整座7的高度，确定加工基准面的高度，操作便捷且成本低，长期使用后，只需更换调整座7即可重新使用。
本实用新型构思新颖，结构巧妙，实用性强，有效的解决了现阶段晶圆加工过程中定位夹具不方便调节的问题。
Claims (3)
1.一种晶圆划片机定位装置，包括一个轴线竖直的圆柱形基座（1），其特征在于，所述基座（1）的外圆面上螺纹，基座（1）上端圆周均布有多个安装槽（2），每个安装槽（2）内设有一个沿基座（1）径向布置的导向杆（3），每个导向杆（3）上套装有一个压簧（4），每个安装槽（2）内安装有一个可沿导向杆（3）滑动的楔形滑块（5），楔形滑块（5）的上端固定有一个伸出基座（1）上端面的定位柱（6），基座（1）的上端同轴旋装有一个调整座（7），基座（1）上旋装有一个螺纹套（8），螺纹套（8）上圆周均布有多个与安装槽（2）一一对应的压紧单元，每个压紧单元包括一个轴线与基座（1）平行的支杆（9），每个支杆（9）的一端转动安装在螺纹套（8）上，另一端固定有一个上端上内倾斜并与对应滑块的斜面接触的压杆（10）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机定位装置，其特征在于，所述每个楔形滑块（5）上设有一个可供导向杆（3）穿插的定位孔。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机定位装置，其特征在于，所述螺纹套（8）的外圆面上圆周均布有多个拨杆。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023241671.7U CN213660375U (zh) | 2020-12-29 | 2020-12-29 | 一种晶圆划片机定位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023241671.7U CN213660375U (zh) | 2020-12-29 | 2020-12-29 | 一种晶圆划片机定位装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213660375U true CN213660375U (zh) | 2021-07-09 |
Family
ID=76690548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023241671.7U Active CN213660375U (zh) | 2020-12-29 | 2020-12-29 | 一种晶圆划片机定位装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213660375U (zh) |
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2020
- 2020-12-29 CN CN202023241671.7U patent/CN213660375U/zh active Active
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