CN213655566U

CN213655566U - 一种水平空气弹簧隔振器

Info

Publication number: CN213655566U
Application number: CN202022341472.7U
Authority: CN
Inventors: 胡丹
Original assignee: Shenzhen Jiahao Xinda Technology Co ltd
Current assignee: Shenzhen Jiahao Xinda Technology Co ltd
Priority date: 2020-10-20
Filing date: 2020-10-20
Publication date: 2021-07-09
Anticipated expiration: 2030-10-20

Abstract

本实用新型公开了一种水平空气弹簧隔振器，包括：空气腔体、隔板、膜片、盖板、浮动座和水平控制阀，所述空气腔体具有开口，所述隔板安装在开口内；所述隔板与所述空气腔体之间形成阻尼室；所述膜片安装在所述空气腔体的开口位置处，所述膜片与所述隔板之间形成负载室；所述阻尼室与所述负载室通过第一调速阀相互连通；所述阻尼室与所述水平控制阀通过第二调速阀相互连通；所述盖板安装在所述膜片上，所述浮动座设置在所述膜片上方，所述浮动座用于安装负载，所述水平控制阀的上端与负载抵接。本申请用于来减小设备的振动和冲击。

Description

一种水平空气弹簧隔振器

技术领域

本实用新型涉及隔振设备技术领域，尤其涉及一种水平空气弹簧隔振器。

背景技术

光学设备、半导体行业等超精密加工、制造、检测、测量领域中设备在使用过程中都会产生振动和冲击，这些干扰会影响设备的精度和稳定性，特别是敏感度较高的加工和检测设备。因此需要在设备与支撑件之间增加水平空气弹簧隔振器来减小振动和冲击，使设备的加工和检测精度明显提升。

实用新型内容

本实用新型提供了一种水平空气弹簧隔振器，旨在解决上述问题。

根据本申请实施例提供的一种水平空气弹簧隔振器，包括：空气腔体、隔板、膜片、盖板、浮动座和水平控制阀，所述空气腔体具有开口，所述隔板安装在开口内；所述隔板与所述空气腔体之间形成阻尼室；所述膜片安装在所述空气腔体的开口位置处，所述膜片与所述隔板之间形成负载室；所述阻尼室与所述负载室通过第一调速阀相互连通；所述阻尼室与所述水平控制阀通过第二调速阀相互连通；所述盖板安装在所述膜片上，所述浮动座设置在所述膜片上方，所述浮动座用于安装负载，所述水平控制阀的上端与负载抵接。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，还包括密封圈，所述空气腔体的开口内部设置有一圈定位环部，所述密封圈设置在所述定位环部和所述隔板之间。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，还包括硅胶垫，所述硅胶垫设置在所述盖板上。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，还包括底板，所述空气腔体和所述水平控制阀均安装于所述底板上。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，所述水平控制阀包括调节阀座、密封滑动组件和第一压缩弹簧，所述密封滑动组件和所述第一压缩弹簧均穿设在所述调节阀座上的圆柱凹槽内，所述第一压缩弹簧的两端分别与所述圆柱凹槽的底壁和所述密封滑动组件抵接，所述密封滑动组件在所述圆柱凹槽内上下滑动；所述密封滑动组件的上端与所述负载抵接。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，所述密封滑动组件包括阀体、滑动组件、第一密封圈组件、第二密封圈组件和锁紧螺柱，所述阀体穿设在所述调节阀座内；所述阀体内设置有通孔，所述密封滑动组件穿设在所述通孔内，所述第一密封圈组件和所述第二密封圈组件间隔设置在所述通孔内；所述阀体的侧壁上与所述第一密封圈组件和所述第二密封圈组件之间对应的位置处设置有出气孔；所述锁紧螺柱的一端设置在所述通孔靠近第一压缩弹簧的端部，所述锁紧螺柱的另一端安装于所述第一压缩弹簧上；所述阀体的侧壁上与所述第二密封圈和所述锁紧螺柱之间对应的位置处设置有进气孔。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，所述滑动组件包括浮动销、密封柱、第二压缩弹簧和螺母盖，所述浮动销设置在所述密封柱的上方，所述螺母盖设置在所述阀体的上端；所述密封柱为阶梯轴结构，其从上到下依次为第一阶、第二阶、第三阶和第四阶；所述第二阶的直径和所述第四阶的直径相同，且所述第二阶的直径与所述第一密封圈组件和第二密封圈组件的内径相匹配；所述第一阶的直径大于所述第二阶的直径并且所述第一阶的直径与所述通孔的内径匹配，所述第三阶的直径小于所述第四阶的直径；所述第二压缩弹簧设置在所述第一阶和所述第一密封圈组件之间。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，所述第一密封圈组件包括固定环和密封环，所述固定环的内侧面设置有用于放置所述密封环的凹槽部。

在本实用新型的水平空气弹簧隔振器中，所述滑动组件还包括滚珠，所述浮动销远离所述密封柱的端部设置有用于放置所述滚珠的凹槽。

本申请实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：本申请设计了一种水平空气弹簧隔振器，可以减小设备在使用过程中产生的振动和冲击，使设备的加工和检测精度明显提升。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例的水平空气弹簧隔振器的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的水平空气弹簧隔振器的一个视角的剖面视图；

图3是本实用新型实施例的水平空气弹簧隔振器的另一视角的剖面视图；

图4是图3中的部分结构放大图；

图5是图4中的部分结构放大图。

标号说明:

10、空气腔体；11、定位环部；20、隔板；30、膜片；40、盖板；50、浮动座；

60、水平控制阀；61、调节阀座；611、圆柱凹槽；62、密封滑动组件；621、

阀体；6211、出气孔；6212、排气孔；6213、进气孔；622、滑动组件；6221、

浮动销；6222、密封柱；6223、第二压缩弹簧；6224、卡簧；6225、第一阶；

6226、第二阶；6227、第三阶；6228、第四阶；6229、滚珠；623、第一密封圈

组件；6231、固定环；6232、密封环；624、第二密封圈组件；625、锁紧螺柱；

626、螺母盖；627、调节螺母；63、第一压缩弹簧；70、密封圈；80、底板；

90、硅胶垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

还应当理解，在此本实用新型说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本实用新型。如在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。

还应当进一步理解，在本实用新型说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

请参照图1-图5所示，本实用新型公开了一种水平空气弹簧隔振器，包括空气腔体10、隔板20、膜片30、盖板40、浮动座50和水平控制阀60。空气腔体10具有一开口，开口设置在空气腔体10的顶部，开口为圆形的开口，隔板20固定安装开口内。本实施例中，隔板20与空气腔体10之间通过螺纹连接，即隔板20的外侧面设置有外螺纹，空气腔体10上开口的内壁上设置有内螺纹。隔板20与空气腔体10之间形成阻尼室。膜片30安装在空气腔体10的开口位置处，膜片30与隔板20之间形成负载室。阻尼室和负载室通过第一调速阀相互连接，阻尼室与水平控制阀60通过第二调速阀相互连通。盖板40安装在膜片30上，浮动座50设置在膜片30上方浮动座50用于安装负载，并且水平控制阀60的上端与负载抵接。在使用本装置时，负载室内的压缩空气会对膜片30施加压力，膜片30则是在负载室的作用上下移动，从而带动浮动座50和负载上下移动；负载又与水平控制阀60的上端抵接，从而进行充气或是放气，使得负载室内的压力平衡，使得浮动座处于非硬接触的状态，减小了振动，从而提升设备的加工和检测精度。

在一个可选的实施例中，水平控制阀60包括调节阀座61、密封滑动组件62和第一压缩弹簧63。调节阀座61上设置有圆柱凹槽611，密封滑动组件62和第一压缩弹簧63均穿设在圆柱凹槽611内，第一压缩弹簧63的两端分别与圆柱凹槽611的底壁和密封滑动组件62抵接，密封滑动组件62在圆柱凹槽611内上下滑动，密封滑动组件62的上端与负载抵接，从而使得负载上下运动带动密封滑动组件62上下运动。

在一个可选的实施例中，密封滑动组件62包括阀体621、滑动组件622、第一密封圈组件623、第二密封圈组件624、锁紧螺柱625和螺母盖626。螺母盖626安装在阀体的上方；阀体621穿设在调节阀座61内，阀体621内设置有沿着阀体621轴向设置的通孔(图中未标出)，滑动组件62穿设在通孔内。第一密封圈组件623和第二密封圈组件624间隔设置在通孔内。阀体621的侧壁上与第一密封圈组件623和第二密封圈组件624之间对应的位置处设置有出气孔6211，锁紧螺柱625的一端设置有通孔靠近第一压缩弹簧63的端部，使得通孔的下部密封；锁紧螺柱625的另一端安装于第一压缩弹簧63上，使得锁紧螺柱625可以同步上下运动。在阀体621的侧壁上与第二密封圈和锁紧螺柱625之间对应的位置处设置有进气孔6213。进气孔连接一个进气管，压缩空气从进气管进入阀体621内。

在一个可选的实施例中，滑动组件622包括浮动销6221、密封柱6222、第二压缩弹簧6223和卡簧6224，浮动销6221设置在密封柱6222的上方。浮动销6221穿设在螺母盖626和阀体内，阀体621的上部设置有凹槽部，凹槽部螺母盖626通过螺纹旋入到凹槽部内，螺母盖626与凹槽部的底部之间设置有间距，卡簧设置在浮动销插入阀体中的凹槽部的一端，卡簧的设置使得浮动销在螺母盖626与凹槽部的底部之间的间距之间滑动，不会滑出螺母盖626外。本实施例中，密封柱6222的阶梯轴结构，密封柱6222从上到下依次为第一阶6225、第二阶6226、第三阶6227和第四阶6228，第二阶6226的直径和第四阶6228的直径相同，并且第二阶6226的直径与第一密封圈组件623和第二密封圈组件624的内径相同。第一阶6225大于第二阶6226的直径，并且第一阶6225的直径与通孔的内径匹配，使得密封柱6222可以在通孔内上下滑动。第二压缩弹簧6223设置在第一阶6225和第一密封圈组件623之间。本实施例中，第一密封圈组件623设置在第二密封圈组件624的上方。当第二阶6226插入到第一密封圈组件623内，且第四阶6228插入到第二密封圈组件624内时，第一密封圈组件623、第二密封圈组件624和密封柱6222之间形成了一个密闭的腔体，此时即不充气也不放气。当负载室内的压力过大，即负载室将浮动座50和安装在浮动座50上的负载顶起过高；负载又与浮动销6221连接，负载升高，则浮动销6221向上运动，使得锁紧螺柱625上的第二阶6226滑动第一密封圈组件623，第三阶6227滑入到第一密封圈组件623内，此时压缩空气可以从第一密封圈组件623内流入到第一密封圈组件623上端的空间内，在阀体621上位于第一密封圈组件623上方的侧壁上设置有排气孔6212，压缩空气从排气口排出到外界，从而使得负载室内的气压减小，从而使得第一阶6225再滑入到第一密封圈组件623内，从而处于平衡状态。当负载室内的压力过小，即负载将膜片30压的过低，此时浮动销6221也向下运动，从而使得锁紧螺柱625上的第四阶6228滑出第二密封圈组件624，第三阶6227滑入到第二密封圈组件624内。阀体621的侧壁在第二密封圈组件624下方的位置处设置有进气口6213，此时压缩空气从阀体621上的进气口6213通入的压缩空气可以从第二密封圈流入到压缩空气腔体10内的阻尼室和负载室内，从而将负载室内的气压增加，使得浮动座50和负载向上移动，从而使得锁紧螺柱625的第四阶6228滑入到第二密封圈组件624内，处于平衡状态。

在一个可选的实施例中，本申请还包括调节螺母627，调节螺母627通过螺纹连接套设在阀体621外。通过微调调节螺母在阀体上的高度，来调整密封滑动组件上下运动的行程。具体地，本实施例中阀体上的出气口连接有管道，因此管道随着阀体上下运动，在管道运动到最大高度时与调节螺母接触，调节螺母起到了定位的作用。

在本实施例中，第一密封圈组件623和第二密封圈组件624为同样的结构，他们均包括固定环6231和密封环6232，密封环6232为橡胶材料，固定环6231的内侧面设置有一圈凹槽部，密封环6232设置在凹槽部内，通过密封环6232来增加气密性。本申请的滑动组件622还包括滚珠6229，滚珠6229为球体，浮动销6221远离密封柱6222的端部设置有用于放置滚珠6229的凹槽，即浮动销6221的上端设置有凹槽，滚珠6229设置有凹槽内，负载与滚珠6229抵接。

在一个可选的实施例中，本申请还包括密封圈70，空气腔体的开口内部设置有一圈定位环部11，密封圈70设置在定位环部11与隔板20之间，通过设置密封圈70避免了压缩空气从隔板20漏出。为了方便安装隔板20，在隔板20上设置有两个凹槽，通过工具插入到两个凹槽中，将隔板20旋进空气腔体10的开口内，起到将密封圈70压紧。在一些可选的实施例中，在两个凹槽中的一个凹槽设置在直径较小的开孔，开孔连通负载室和阻尼室。

在一个可选的实施例中，本申请还包括底板80和硅胶垫90，空气腔体10和水平控制阀60均安装在底板80上。硅胶垫90设置在盖板40上，硅胶垫90用于水平空气弹簧隔振器不使用时，隔离负载，避免负载与盖板40直接接触。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种水平空气弹簧隔振器，其特征在于，包括：空气腔体、隔板、膜片、盖板、浮动座和水平控制阀，所述空气腔体具有开口，所述隔板安装在开口内；所述隔板与所述空气腔体之间形成阻尼室；所述膜片安装在所述空气腔体的开口位置处，所述膜片与所述隔板之间形成负载室；所述阻尼室与所述负载室通过第一调速阀相互连通；所述阻尼室与所述水平控制阀通过第二调速阀相互连通；所述盖板安装在所述膜片上，所述浮动座设置在所述膜片上方，所述浮动座用于安装负载，所述水平控制阀的上端与负载抵接。

2.根据权利要求1所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，还包括密封圈，所述空气腔体的开口内部设置有一圈定位环部，所述密封圈设置在所述定位环部和所述隔板之间。

3.根据权利要求1所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，还包括硅胶垫，所述硅胶垫设置在所述盖板上。

4.根据权利要求1所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，还包括底板，所述空气腔体和所述水平控制阀均安装于所述底板上。

5.根据权利要求1所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，所述水平控制阀包括调节阀座、密封滑动组件和第一压缩弹簧，所述密封滑动组件和所述第一压缩弹簧均穿设在所述调节阀座上的圆柱凹槽内，所述第一压缩弹簧的两端分别与所述圆柱凹槽的底壁和所述密封滑动组件抵接，所述密封滑动组件在所述圆柱凹槽内上下滑动；所述密封滑动组件的上端与所述负载抵接。

6.根据权利要求5所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，所述密封滑动组件包括阀体、滑动组件、第一密封圈组件、第二密封圈组件和锁紧螺柱，所述阀体穿设在所述调节阀座内；所述阀体内设置有通孔，所述密封滑动组件穿设在所述通孔内，所述第一密封圈组件和所述第二密封圈组件间隔设置在所述通孔内；所述阀体的侧壁上与所述第一密封圈组件和所述第二密封圈组件之间对应的位置处设置有出气孔；所述锁紧螺柱的一端设置在所述通孔靠近第一压缩弹簧的端部，所述锁紧螺柱的另一端安装于所述第一压缩弹簧上；所述阀体的侧壁上与所述第二密封圈和所述锁紧螺柱之间对应的位置处设置有进气孔。

7.根据权利要求6所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，所述滑动组件包括浮动销、密封柱、第二压缩弹簧和螺母盖，所述浮动销设置在所述密封柱的上方，所述螺母盖设置在所述阀体的上端；所述密封柱为阶梯轴结构，其从上到下依次为第一阶、第二阶、第三阶和第四阶；所述第二阶的直径和所述第四阶的直径相同，且所述第二阶的直径与所述第一密封圈组件和第二密封圈组件的内径相匹配；所述第一阶的直径大于所述第二阶的直径并且所述第一阶的直径与所述通孔的内径匹配，所述第三阶的直径小于所述第四阶的直径；所述第二压缩弹簧设置在所述第一阶和所述第一密封圈组件之间。

8.根据权利要求7所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，所述第一密封圈组件包括固定环和密封环，所述固定环的内侧面设置有用于放置所述密封环的凹槽部。

9.根据权利要求7所述的水平空气弹簧隔振器，其特征在于，所述滑动组件还包括滚珠，所述浮动销远离所述密封柱的端部设置有用于放置所述滚珠的凹槽。