CN213601851U - 玻璃晶圆吸附装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了玻璃晶圆吸附装置，包括底座，所述底座的表面安装有放置台，且放置台的内侧表面设置有凹槽，所述底座的外侧表面安装有竖杆，所述竖杆的内侧表面开设有滑道，且滑道的内侧安置有移动台，所述移动台的内部中间设置有圆槽，所述放置台的底部安装有底板。本实用新型提供了玻璃晶圆吸附装置，放置台与底板之间相互配合，根据实际晶圆的尺寸，利用伸缩杆将放置台向往外侧移动，大大增加了放置台的灵活性，放置台内侧设置有凹槽，凹槽与放置台之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台，四组凹槽拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形，根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块上，并且配合弹力拉网可以从底部托住晶圆。

Description

玻璃晶圆吸附装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃晶圆技术领域，具体为玻璃晶圆吸附装置。

背景技术

玻璃晶圆晶是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，然后经过切割抛光，形成晶圆，晶圆在半导体材料上具有重要作用，尤其是应用于电路上，另外，玻璃晶圆作为半导体材料的典型代表，使得玻璃晶圆的应用范围大大增加，尤其是新能源的开发上，玻璃晶圆都可以利用自身的特性起到至关重要的作用。现有的玻璃晶圆在使用时，由于厚度较薄，需要使用吸附装置来进行拿取，常用的吸附装置上的放置机构不够灵活性，不能够进行移动调整，这样就大大降低的装置的灵活性，另外，吸附机构的角度不方便进行调整，不能够根据实际的情况来进行调节。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供玻璃晶圆吸附装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：玻璃晶圆吸附装置，包括底座，所述底座的表面安装有放置台，且放置台的内侧表面设置有凹槽，所述底座的外侧表面安装有竖杆，所述竖杆的内侧表面开设有滑道，且滑道的内侧安置有移动台，所述移动台的内部中间设置有圆槽，所述放置台的底部安装有底板，且底板的内部安装有伸缩杆。

优选的，所述凹槽的内侧包括有弹力拉网和托块，且弹力拉网的一端连接有托块。

优选的，所述凹槽与放置台之间为一体化连接，且凹槽通过弹力拉网与托块之间相互连接。

优选的，所述移动台的表面包括有圆台、圆杆、压杆和连接片，且圆台的表面安装有圆杆，所述圆杆的外侧安置有压杆，所述圆杆的下端连接有连接片。

优选的，所述圆台与移动台之间尺寸相互嵌合，且圆杆关于圆台的中心线呈环状分布。

优选的，所述圆槽的内侧包括有圆孔、拉板、橡胶皮和吸盘，且圆孔的内部设置有拉板，所述拉板的表面连接有橡胶皮，且橡胶皮的内侧表面设置有吸盘。

优选的，所述圆孔的外部形状呈“L”型，且拉板与圆孔均关于圆槽的中心线呈环状分布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了玻璃晶圆吸附装置，放置台与底板之间相互配合，根据实际晶圆的尺寸，利用伸缩杆将放置台向往外侧移动，大大增加了放置台的灵活性，放置台内侧设置有凹槽，凹槽与放置台之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台，四组凹槽拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形，根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块上，并且配合弹力拉网可以从底部托住晶圆；

移动台与滑道之间相互配合，移动台可以沿着竖杆的竖直方向下移，让圆台更加靠近放置台上的晶圆，然后，使用压杆将圆台下压，让圆台继续下移，直至套在晶圆的外侧，圆台与移动台之间可以分离，大大增加了圆台的灵活性；

圆槽采用的是“L”型的设计，这样可以让圆杆通过连接片与拉板之间相互连接，三者为一体结构，当圆杆上移时，会将拉板带进圆槽中，橡胶皮会因为受到挤压，而开始上下合并，促使橡胶皮上下两侧逐渐靠近晶圆的上下表面，直至夹住晶圆，吸盘会对晶圆进行吸附，增加整个过程的稳定性，圆杆设置有多组，这样可以随意调节任意方向的吸盘，同时圆杆之间可以互相独立使用，大大增加了灵活性。

附图说明

图1为本实用新型结构图；

图2为本实用新型中放置台的平面结构图；

图3为本实用新型中底板的内部结构图；

图4为本实用新型中圆槽的侧面剖视结构图。

图中：1、底座；2、放置台；3、凹槽；301、弹力拉网；302、托块；4、竖杆；5、滑道；6、移动台；601、圆台；602、圆杆；603、压杆；604、连接片；7、圆槽；701、圆孔；702、拉板；703、橡胶皮；704、吸盘；8、底板；9、伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，本实用新型提供技术方案：玻璃晶圆吸附装置，包括底座1，底座1的表面安装有放置台2，且放置台2的内侧表面设置有凹槽3，底座1的外侧表面安装有竖杆4，竖杆4的内侧表面开设有滑道5，且滑道5的内侧安置有移动台6，移动台6的内部中间设置有圆槽7，放置台2的底部安装有底板8，且底板8的内部安装有伸缩杆9。

本实用新型中：凹槽3的内侧包括有弹力拉网301和托块302，且弹力拉网301的一端连接有托块302；放置台2内侧设置有凹槽3，凹槽3与放置台2之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台2，四组凹槽3拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形。

本实用新型中：凹槽3与放置台2之间为一体化连接，且凹槽3通过弹力拉网301与托块302之间相互连接；根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块302上，并且配合弹力拉网301可以从底部托住晶圆。

本实用新型中：移动台6的表面包括有圆台601、圆杆602、压杆603和连接片604，且圆台601的表面安装有圆杆602，圆杆602的外侧安置有压杆603，圆杆602的下端连接有连接片604；利用移动台6与滑道5之间相互配合，让移动台6顺着竖杆4上滑道5的竖直方向下移，进而使圆台601更加靠近放置台2上的晶圆。

本实用新型中：圆台601与移动台6之间尺寸相互嵌合，且圆杆602关于圆台601的中心线呈环状分布；使用压杆603将圆台601下压，让圆台601脱离移动台6，并且继续下移，直至套在晶圆的外侧，圆台601与移动台6之间可以分离，大大增加了圆台601的灵活性。

本实用新型中：圆槽7的内侧包括有圆孔701、拉板702、橡胶皮703和吸盘704，且圆孔701的内部设置有拉板702，拉板702的表面连接有橡胶皮703，且橡胶皮703的内侧表面设置有吸盘704；当圆台601套在晶圆的外侧时，圆槽7刚好与晶圆的边缘的距离最近，通过圆槽7采用的是“L”型的设计，让圆杆602通过连接片604与拉板702之间相互连接，三者为一体结构。

本实用新型中：圆孔701的外部形状呈“L”型，且拉板702与圆孔701均关于圆槽7的中心线呈环状分布；当圆杆602上移时，会将拉板702带进圆孔701中，橡胶皮703会因为圆孔701孔壁的挤压，而开始上下合并，促使橡胶皮703上下两侧逐渐靠近晶圆的上下表面，直至夹住晶圆，吸盘704会对晶圆进行吸附，增加整个过程的稳定性。

工作原理：根据实际晶圆的尺寸，利用伸缩杆9将放置台2向往外侧移动，大大增加了放置台2的灵活性，放置台2内侧设置有凹槽3，凹槽3与放置台2之间为一体化连接，且一共设置有四组放置台2，四组凹槽3拼接在一起组成一个圆形，能够符合晶圆的外形，根据晶圆的实际尺寸，将晶圆放置在托块302上，并且配合弹力拉网301可以从底部托住晶圆；接着利用移动台6与滑道5之间相互配合，让移动台6顺着竖杆4上滑道5的竖直方向下移，进而使圆台601更加靠近放置台2上的晶圆，然后，使用压杆603将圆台601下压，让圆台601脱离移动台6，并且继续下移，直至套在晶圆的外侧，圆台601与移动台6之间可以分离，大大增加了圆台601的灵活性；然后，当圆台601套在晶圆的外侧时，圆槽7刚好与晶圆的边缘的距离最近，通过圆槽7采用的是“L”型的设计，让圆杆602通过连接片604与拉板702之间相互连接，三者为一体结构，当圆杆602上移时，会将拉板702带进圆孔701中，橡胶皮703会因为圆孔701孔壁的挤压，而开始上下合并，促使橡胶皮703上下两侧逐渐靠近晶圆的上下表面，直至夹住晶圆，吸盘704会对晶圆进行吸附，增加整个过程的稳定性，圆杆602设置有多组，这样可以随意调节任意方向的吸盘704，同时圆杆602之间可以互相独立使用，大大增加了灵活性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.玻璃晶圆吸附装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的表面安装有放置台(2)，且放置台(2)的内侧表面设置有凹槽(3)，所述底座(1)的外侧表面安装有竖杆(4)，所述竖杆(4)的内侧表面开设有滑道(5)，且滑道(5)的内侧安置有移动台(6)，所述移动台(6)的内部中间设置有圆槽(7)，所述放置台(2)的底部安装有底板(8)，且底板(8)的内部安装有伸缩杆(9)。

2.根据权利要求1所述的玻璃晶圆吸附装置，其特征在于：所述凹槽(3)的内侧包括有弹力拉网(301)和托块(302)，且弹力拉网(301)的一端连接有托块(302)。

3.根据权利要求2所述的玻璃晶圆吸附装置，其特征在于：所述凹槽(3)与放置台(2)之间为一体化连接，且凹槽(3)通过弹力拉网(301)与托块(302)之间相互连接。

4.根据权利要求1所述的玻璃晶圆吸附装置，其特征在于：所述移动台(6)的表面包括有圆台(601)、圆杆(602)、压杆(603)和连接片(604)，且圆台(601)的表面安装有圆杆(602)，所述圆杆(602)的外侧安置有压杆(603)，所述圆杆(602)的下端连接有连接片(604)。

5.根据权利要求4所述的玻璃晶圆吸附装置，其特征在于：所述圆台(601)与移动台(6)之间尺寸相互嵌合，且圆杆(602)关于圆台(601)的中心线呈环状分布。

6.根据权利要求1所述的玻璃晶圆吸附装置，其特征在于：所述圆槽(7)的内侧包括有圆孔(701)、拉板(702)、橡胶皮(703)和吸盘(704)，且圆孔(701)的内部设置有拉板(702)，所述拉板(702)的表面连接有橡胶皮(703)，且橡胶皮(703)的内侧表面设置有吸盘(704)。

7.根据权利要求6所述的玻璃晶圆吸附装置，其特征在于：所述圆孔(701)的外部形状呈“L”型，且拉板(702)与圆孔(701)均关于圆槽(7)的中心线呈环状分布。

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