CN213532658U - 一种溅射台用转移手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，包括支撑架，所述支撑架上端固定连接有底座，所述底座上端面一侧固定连接有第一挡板，所述底座上端面远离第一挡板的一端固定连接有第一放置箱，所述第一放置箱和第一挡板之间固定设置有两个第一滑轨，所述第一放置箱内部固定设置有第一电动机，所述第一电动机的输出端固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆远离第一电动机的一端转动设置在第一挡板中部，所述第一螺纹杆外壁螺纹连接设置有第一滑动座。本实用新型公开了一种溅射台用转移手臂，该装置结构简单，使用方便，可实时监测圆片的位置，减轻工人的劳动强度，提高下料的工作效率，可自动化进行圆片的转移工作，值得推广。

Description

一种溅射台用转移手臂

技术领域

本实用新型涉及下料用机械手臂技术领域，尤其涉及一种溅射台用转移手臂。

背景技术

随着现代制造技术的发展，传统半导体硅片在转移的过程中，一般是通过转移手臂实现转移，即在取片的位置设置了一个检测圆片的传感器，在利用手臂进行取片时，可以检测手臂是否从取片的位置取片成功，但是这种设计，在手臂取片后从取片位置移动到目标位置时，若取片动作出现问题时，圆片就会从手臂上掉落，圆片从取片位置取出的过程中圆片的掉落是无法得知的，存在一定的缺陷，使装置的适用性不高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种溅射台用转移手臂。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种溅射台用转移手臂，包括支撑架，所述支撑架上端固定连接有底座，所述底座上端面一侧固定连接有第一挡板，所述底座上端面远离第一挡板的一端固定连接有第一放置箱，所述第一放置箱和第一挡板之间固定设置有两个第一滑轨，所述第一放置箱内部固定设置有第一电动机，所述第一电动机的输出端固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆远离第一电动机的一端转动设置在第一挡板中部，所述第一螺纹杆外壁螺纹连接设置有第一滑动座，所述第一滑动座上端面一侧固定连接有第二挡板，所述第一滑动座上端面远离第二挡板的一端固定连接有第二放置箱，所述第二放置箱和第二挡板之间固定设置有两个第二滑轨，所述第二放置箱内部固定设置有第二电动机，所述第二电动机的输出端固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆远离第二电动机的一端转动设置在第二挡板中部，所述第二螺纹杆外壁螺纹连接设置有第二滑动座，所述第二滑动座侧臂固定连接有连接板，所述连接板下端固定连接有安装板，所述安装板下端固定连接有伸缩气缸，所述伸缩气缸下端固定连接有安装座，所述安装座下端固定设置有多个吸盘。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一滑动座靠近第二放置箱的一端下部固定开设有两个第一滑槽，所述第一滑动座通过两个第一滑槽在第一滑轨上端滑动。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第二滑动座下端固定开设有两个第二滑槽，所述第二滑动座通过两个第二滑槽在第二滑轨上端滑动。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第二滑动座上端和连接板之间固定连接有加固立板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装座一侧臂固定设置有压力传感器和距离传感器。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述支撑架前端固定设置有箱体，所述箱体上端固定连接有溅射台，所述溅射台上端固定设置有圆片。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述溅射台上部边侧固定设置有检测传感器。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提出的一种溅射台用转移手臂，该手臂在传统转移手臂的基础上做出了改进，使用吸盘进行圆片的吸取，使圆片的固定更牢靠，不易出现掉落的情况，还不会损伤圆片，在配合手臂上设置的集成传感器组件，可以在取片以及转移的过程中实时监测圆片的位置，及时的感知圆片是否掉落，从而及时的发出警报，该装置结构简单，使用方便，可实时监测圆片的位置，减轻工人的劳动强度，提高下料的工作效率，可自动化进行圆片的转移工作，值得推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种溅射台用转移手臂的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种溅射台用转移手臂的第一滑动座结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种溅射台用转移手臂的吸取机构结构示意图。

图例说明：

1、支撑架；2、底座；3、第一挡板；4、第一滑动座；5、第二挡板；6、第一螺纹杆；7、第一滑轨；8、第一电动机；9、第一放置箱；10、箱体；11、溅射台；12、圆片；13、检测传感器；14、第二放置箱；15、第二电动机；16、第二滑轨；17、第二螺纹杆；18、连接板；19、安装板；20、第一滑槽； 21、第二滑动座；22、加固立板；23、伸缩气缸；24、安装座；25、吸盘； 26、压力传感器；27、距离传感器；28、第二滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种溅射台用转移手臂，包括支撑架1，支撑架1上端固定连接有底座2，底座2上端面一侧固定连接有第一挡板3，底座2上端面远离第一挡板3的一端固定连接有第一放置箱9，第一放置箱9和第一挡板3之间固定设置有两个第一滑轨7，第一放置箱9内部固定设置有第一电动机8，第一电动机8的输出端固定连接有第一螺纹杆6，第一螺纹杆6远离第一电动机8的一端转动设置在第一挡板3中部，第一螺纹杆6外壁螺纹连接设置有第一滑动座4，第一滑动座4上端面一侧固定连接有第二挡板5，第一滑动座4上端面远离第二挡板5的一端固定连接有第二放置箱14，第二放置箱14和第二挡板5之间固定设置有两个第二滑轨16，第二放置箱14内部固定设置有第二电动机15，第二电动机15的输出端固定连接有第二螺纹杆17，第二螺纹杆17远离第二电动机15的一端转动设置在第二挡板5中部，第二螺纹杆17外壁螺纹连接设置有第二滑动座21，第二滑动座21侧臂固定连接有连接板18，连接板18下端固定连接有安装板19，安装板19下端固定连接有伸缩气缸23，伸缩气缸23下端固定连接有安装座24，安装座24下端固定设置有多个吸盘25。

第一滑动座4靠近第二放置箱14的一端下部固定开设有两个第一滑槽 20，第一滑动座4通过两个第一滑槽20在第一滑轨7上端滑动，第二滑动座 21下端固定开设有两个第二滑槽28，第二滑动座21通过两个第二滑槽28在第二滑轨16上端滑动，第二滑动座21上端和连接板18之间固定连接有加固立板22，安装座24一侧臂固定设置有压力传感器26和距离传感器27，支撑架1前端固定设置有箱体10，箱体10上端固定连接有溅射台11，溅射台11 上端固定设置有圆片12，溅射台11上部边侧固定设置有检测传感器13。

工作原理：该溅射台用转移手臂使用时，先启动第一电动机8，第一电动机8转动带动第一螺纹杆6转动，第一螺纹杆6转动带动第一滑动座4在第一滑轨7上滑动，然后再启动第二电动机15，第二电动机15转动带动第二螺纹杆17转动，第二螺纹杆17转动带动第二滑动座21在第二滑轨16上滑动，使安装座24运动到圆片12上端，最后启动伸缩气缸23伸长带动安装座24 下端的吸盘25下降，然后通过吸盘25将圆片12吸住，再使伸缩气缸23缩短从而将圆片12取出，通过第一电动机8、第二电动机15、第一滑动座4和第二滑动座21的共同作用进行圆片12的移动，检测传感器13可以检测手臂是否从取片的位置将圆片12取出，压力传感器26可以感知圆片12是否从吸盘25上掉落，距离传感器27可以感知圆片12是否转移到目标位置，使圆片 12的转移更加准确无误，该装置结构简单，使用方便，可实时监测圆片12的位置，减轻工人的劳动强度，提高下料的工作效率，可自动化进行圆片12的转移工作。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种溅射台用转移手臂，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)上端固定连接有底座(2)，所述底座(2)上端面一侧固定连接有第一挡板(3)，所述底座(2)上端面远离第一挡板(3)的一端固定连接有第一放置箱(9)，所述第一放置箱(9)和第一挡板(3)之间固定设置有两个第一滑轨(7)，所述第一放置箱(9)内部固定设置有第一电动机(8)，所述第一电动机(8)的输出端固定连接有第一螺纹杆(6)，所述第一螺纹杆(6)远离第一电动机(8)的一端转动设置在第一挡板(3)中部，所述第一螺纹杆(6)外壁螺纹连接设置有第一滑动座(4)，所述第一滑动座(4)上端面一侧固定连接有第二挡板(5)，所述第一滑动座(4)上端面远离第二挡板(5)的一端固定连接有第二放置箱(14)，所述第二放置箱(14)和第二挡板(5)之间固定设置有两个第二滑轨(16)，所述第二放置箱(14)内部固定设置有第二电动机(15)，所述第二电动机(15)的输出端固定连接有第二螺纹杆(17)，所述第二螺纹杆(17)远离第二电动机(15)的一端转动设置在第二挡板(5)中部，所述第二螺纹杆(17)外壁螺纹连接设置有第二滑动座(21)，所述第二滑动座(21)侧臂固定连接有连接板(18)，所述连接板(18)下端固定连接有安装板(19)，所述安装板(19)下端固定连接有伸缩气缸(23)，所述伸缩气缸(23)下端固定连接有安装座(24)，所述安装座(24)下端固定设置有多个吸盘(25)。

2.根据权利要求1所述的一种溅射台用转移手臂，其特征在于：所述第一滑动座(4)靠近第二放置箱(14)的一端下部固定开设有两个第一滑槽(20)，所述第一滑动座(4)通过两个第一滑槽(20)在第一滑轨(7)上端滑动。

3.根据权利要求2所述的一种溅射台用转移手臂，其特征在于：所述第二滑动座(21)下端固定开设有两个第二滑槽(28)，所述第二滑动座(21) 通过两个第二滑槽(28)在第二滑轨(16)上端滑动。

4.根据权利要求3所述的一种溅射台用转移手臂，其特征在于：所述第二滑动座(21)上端和连接板(18)之间固定连接有加固立板(22)。

5.根据权利要求4所述的一种溅射台用转移手臂，其特征在于：所述安装座(24)一侧臂固定设置有压力传感器(26)和距离传感器(27)。

6.根据权利要求5所述的一种溅射台用转移手臂，其特征在于：所述支撑架(1)前端固定设置有箱体(10)，所述箱体(10)上端固定连接有溅射台(11)，所述溅射台(11)上端固定设置有圆片(12)。

7.根据权利要求6所述的一种溅射台用转移手臂，其特征在于：所述溅射台(11)上部边侧固定设置有检测传感器(13)。

Images