CN213483273U - 一种显像装置及玻璃基板生产线 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种显像装置及玻璃基板生产线,属于显示面板技术领域。本实用新型的显像装置,包括沿着基板传送机构的传送方向设置的多个喷嘴,且玻璃基板的两侧均设有至少一个喷嘴,通过玻璃基板两侧的喷嘴对玻璃基板喷涂药液,以缩小面板区域与非反应区域的药液浓度差异,进而缩小关键宽度差异。本实用新型的玻璃基板生产线,通过应用上述显像装置,改善了面板区域与非反应区域关键宽度差异现象。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示面板技术领域,尤其涉及一种显像装置及玻璃基板生产线。
背景技术
玻璃基板是平板显示产业的关键基础材料之一,在其加工过程中,需要对玻璃基板进行显像处理,而现有的显像装置都只在玻璃基板的一侧设置喷嘴,导致玻璃基板的面板区域与非反应区域的药液浓度差异,进而导致关键宽度(CD)差异较大。
实用新型内容
本实用新型的一个目的在于提供一种显像装置,缩小了面板区域与非反应区域的药液浓度差异,进而缩小关键宽度差异。
本实用新型的另一个目的在于提供一种玻璃基板生产线,通过应用上述显像装置,改善了面板区域与非反应区域关键宽度差异现象。
为实现上述目的,提供以下技术方案:
一方面,提供了一种显像装置,包括:
基板传送机构,用于承载并传送玻璃基板;
多个喷嘴,多个所述喷嘴沿着所述基板传送机构的传送方向设置,且所述玻璃基板的两侧均设有至少一个所述喷嘴;所述玻璃基板能够在所述基板传送机构的传送下移动,以使所述喷嘴喷出的药液能够均匀地涂覆在所述玻璃基板上。
作为显像装置的优选方案,所述喷嘴均设置在所述显像装置的显像室内并位于所述玻璃基板的上方。
作为显像装置的优选方案,所述喷嘴的数量为三个,其中两个所述喷嘴位于所述玻璃基板的靠近所述基板传送机构的进料端的一侧,另一个所述喷嘴位于所述玻璃基板的靠近所述基板传送机构的出料端的一侧。
作为显像装置的优选方案,靠近所述基板传送机构的进料端的一侧的两个所述喷嘴并列设置。
作为显像装置的优选方案,靠近所述基板传送机构的出料端的一侧的所述喷嘴迟于靠近所述基板传送机构的进料端的一侧的所述喷嘴喷出药液。
作为显像装置的优选方案,所述喷嘴均为长条形结构并沿着所述基板传送机构的宽度方向延伸。
作为显像装置的优选方案,所述喷嘴上均设有喷出口,所述喷出口为一字长条形结构。
作为显像装置的优选方案,所述喷出口沿着所述基板传送机构的宽度方向延伸。
作为显像装置的优选方案,所述喷嘴的数量为四个,其中两个所述喷嘴均位于所述玻璃基板的一侧,另两个所述喷嘴均位于所述玻璃基板的另一侧。
另一方面,提供了一种玻璃基板生产线,包括如上所述的显像装置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
本实用新型的显像装置,包括沿着基板传送机构的传送方向设置的多个喷嘴,且玻璃基板的两侧均设有至少一个喷嘴,通过玻璃基板两侧的喷嘴对玻璃基板喷涂药液,以缩小面板区域与非反应区域的药液浓度差异,进而缩小关键宽度差异。
本实用新型的玻璃基板生产线,通过应用上述显像装置,改善了面板区域与非反应区域关键宽度差异现象。
附图说明
图1为本实用新型实施例中显像装置的结构示意图;
图2为本实用新型实施例中喷嘴与玻璃基板的位置关系示意图;
图3为本实用新型实施例中喷嘴的结构示意图。
附图标记:
100、玻璃基板;
200、显像室;
1、基板传送机构;
2、喷嘴;21、喷出口。
具体实施方式
参考下面结合附图详细描述的实施例,本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而,本实用新型不限于以下公开的实施例,而是可以以各种不同的形式来实现,提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围,并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
以下,参照附图来详细描述本实用新型。
如图1-3所示,本实施例在于提供一种显像装置,包括基板传送机构1和多个喷嘴2,其中,基板传送机构1用于承载并传送玻璃基板100;多个喷嘴2沿着基板传送机构1的传送方向设置,且玻璃基板100的两侧均设有至少一个喷嘴2;玻璃基板100能够在基板传送机构1的传送下移动,以使喷嘴2喷出的药液能够均匀地涂覆在玻璃基板100上。优选地,喷嘴2的数量为三个,其中两个喷嘴2位于玻璃基板100的靠近基板传送机构1的进料端的一侧,另一个喷嘴2位于玻璃基板100的靠近基板传送机构1的出料端的一侧。在玻璃基板100的靠近基板传送机构1的出料端的一侧增加喷嘴2,保证药液均匀涂覆在玻璃基板100上,以缩小面板区域与非反应区域的药液浓度差异,进而缩小关键宽度差异。
在一实施例中,喷嘴2均设置在显像装置的显像室200内并位于玻璃基板100的上方。
在一实施例中,靠近基板传送机构1的进料端的一侧的两个喷嘴2并列设置。两个并列设置的喷嘴2喷出的药液量更大,进而保证玻璃基板100与药液反应充分。
在一实施例中,靠近基板传送机构1的出料端的一侧的喷嘴2迟于靠近基板传送机构1的进料端的一侧的喷嘴2喷出药液。由于基板传送机构1将玻璃基板100由一侧的喷嘴2传送至另一侧的喷嘴2处需要一定时间,因此将玻璃基板100两侧的喷嘴2设置时间差,保证玻璃基板100达到靠近基板传送机构1的出料端的一侧的喷嘴2的喷射范围内时该喷嘴2才开始喷出药液,具有节约药液的效果。
在一实施例中,喷嘴2均为长条形结构并沿着基板传送机构1的宽度方向延伸。该结构的喷嘴2能够保证药液覆盖面积更大,使得药液能够完全将玻璃基板100覆盖。
在一实施例中,喷嘴2上均设有喷出口21,喷出口21为一字长条形结构。该结构的喷出口21喷药量大,进而能够保证药量充足,促进玻璃基板100与药液反应充分。
在一实施例中,喷出口21沿着基板传送机构1的宽度方向延伸。该结构的喷出口21使得喷嘴2喷出的药液能够形成连续的液面,以保证药液均匀的涂覆在玻璃基板100上。
在其他实施例中,喷嘴2的数量还可以为四个,其中两个喷嘴2均位于玻璃基板100的一侧,另两个喷嘴2均位于玻璃基板100的另一侧。在玻璃基板100的两侧均设置两个喷嘴2,既能保证药液涂覆均匀,还提高了涂覆在玻璃基板100上的药液量,保证玻璃基板100与药液反应充分。
在一实施例中,基板传动机构采用传送带,以将玻璃基板100在各个工位之间传送。
本实施例还提供了一种玻璃基板生产线,包括如上述的显像装置。通过应用上述显像装置,改善了面板区域与非反应区域关键宽度差异现象。
尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例,但是本实用新型不限于以上实施例,而是可以以各种形式制造,并且本领域技术人员将理解,在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下,可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此,应该理解,上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。
Claims (10)
1.一种显像装置,其特征在于,包括:
基板传送机构,用于承载并传送玻璃基板;
多个喷嘴,多个所述喷嘴沿着所述基板传送机构的传送方向设置,且所述玻璃基板的两侧均设有至少一个所述喷嘴;所述玻璃基板能够在所述基板传送机构的传送下移动,以使所述喷嘴喷出的药液能够均匀地涂覆在所述玻璃基板上。
2.根据权利要求1所述的显像装置,其特征在于,所述喷嘴均设置在所述显像装置的显像室内并位于所述玻璃基板的上方。
3.根据权利要求1所述的显像装置,其特征在于,所述喷嘴的数量为三个,其中两个所述喷嘴位于所述玻璃基板的靠近所述基板传送机构的进料端的一侧,另一个所述喷嘴位于所述玻璃基板的靠近所述基板传送机构的出料端的一侧。
4.根据权利要求3所述的显像装置,其特征在于,靠近所述基板传送机构的进料端的一侧的两个所述喷嘴并列设置。
5.根据权利要求3所述的显像装置,其特征在于,靠近所述基板传送机构的出料端的一侧的所述喷嘴迟于靠近所述基板传送机构的进料端的一侧的所述喷嘴喷出药液。
6.根据权利要求1-5任一项所述的显像装置,其特征在于,所述喷嘴均为长条形结构并沿着所述基板传送机构的宽度方向延伸。
7.根据权利要求6所述的显像装置,其特征在于,所述喷嘴上均设有喷出口,所述喷出口为一字长条形结构。
8.根据权利要求7所述的显像装置,其特征在于,所述喷出口沿着所述基板传送机构的宽度方向延伸。
9.根据权利要求1所述的显像装置,其特征在于,所述喷嘴的数量为四个,其中两个所述喷嘴均位于所述玻璃基板的一侧,另两个所述喷嘴均位于所述玻璃基板的另一侧。
10.一种玻璃基板生产线,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的显像装置。
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