CN213348762U - 一种匀胶显影机用显影液自动配置系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，包括原液储罐、配比箱、显影液储罐、原液量瓶、纯水量罐和纯水储罐；原液储罐将原液加入到原液量瓶中，纯水储罐中的纯水加入到纯水量罐中，而原液量瓶和纯水量罐之间的体积比等于显影液中原液和纯水的体积比，这样满的原液量瓶和纯水量罐加入到配比箱中配置后再加入到显影液储罐中，该自动配置系统可以准确的将原液和纯水按照指定的比例配置，减少成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种显影液自动配置系统，尤其涉及一种用于匀胶显影机上使用的显影液自动配置系统。
背景技术
匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布匀胶、烘烤、显影、清洗等。而在显影的工序中需要用到显影液。
目前的显影液主要是通过外购获得，而外购的显影液一般都是在工厂中就配置好的，其显影原液所占的体积百分比一般为2.383％-2.388％之间，也就是说，购买的显影液大部分的成分是水，而且在连续的显影过程中，显影液的使用量也非常大，导致购买的显影液的量比较大，需要比较大的容器来储存，这样，运输成本和存储成本均增加。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，该自动配置系统可以准确的将原液和纯水按照指定的比例配置，减少成本。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，包括原液储罐、配比箱、显影液储罐、原液量瓶、纯水量罐和纯水储罐；
所述原液储罐上设置有原液出口和原液回流入口；
所述原液量瓶的底部设置有原液入口和原液配置出口，原液量瓶的顶部设置有原液回流出口和第一补气口，所述原液入口和原液出口之间通过原液供应管路连通，所述原液回流出口和原液回流入口之间通过原液回流管路连通，所述第一补气口上设置有第一补气阀；
所述纯水储罐上设置有纯水出口和纯水回流入口
所述纯水量罐的底部设置有纯水入口和纯水配置出口，纯水量罐的顶部设置有纯水回流出口和第二补气口，所述纯水入口和纯水出口之间通过纯水供应管路连通，所述纯水回流出口和纯水回流入口之间通过纯水回流管路连通，所述第二补气口上设置有第二补气阀；定义原液量瓶的体积为V原、纯水量罐的体积为V水，所需配置的目标显影液的浓度为N％，满足一下关系式：
所述配比箱的位置低于原液量瓶和纯水量罐，所述配比箱上设置有纯水配置入口和原液配置入口，所述纯水配置入口和纯水配置出口之间通过带放水阀的纯水添加管道连通，所述原液配置入口和原液配置出口之间通过带放液阀的原液添加管道连通，所述配比箱的底部设置有显影液出口；
所述显影液储罐上设置有显影液入口和显影液供出口，所述显影液入口与显影液出口之间通过显影液供出管道连通；所述显影液供出口通过显影液供应管道与匀胶显影机的显影液使用管路连通。
作为一种优选的方案，所述原液储罐的上部、显影液储罐的上部和纯水储罐的上部均设置有加压口和排气管道，所述加压口连通有氮气加压管路，所述原液储罐、显影液储罐和纯水储罐利用加压的氮气将原液或显影液或纯水压出。
作为一种优选的方案，所述配比箱内还设置有对内部液体进行搅拌的搅拌装置。
作为一种优选的方案，所述搅拌装置包括设置于配比箱内的曝气主管，所述曝气主管连接有氮气供应系统，所述配比箱上还设置有排气口，排气口上安装有排气阀。
作为一种优选的方案，所述原液回流管路和纯水回流管路上均设置有液满传感器。
作为一种优选的方案，所述纯水添加管道和原液添加管道上均设置有液空传感器。
作为一种优选的方案，所述配比箱和显影液储罐内均设置有液位传感器。
作为一种优选的方案，所述原液量瓶的顶部设置有第一三通阀，所述第一三通阀的其中两个接口连接原液回流出口和原液回流管路，第一三通阀的另一个接口作为第一补气口用于与大气连通；所述纯水量罐的顶部设置有第二三通阀，所述第二三通阀的其中两个接口连接所述纯水回流出口和纯水回流管路，所述第二三通阀的另一个接口作为第二补气口用于与大气连通。
采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：该自动配置系统将原液和纯水分别添加到原液量瓶和纯水量罐中，而原液量瓶和纯水量罐的体积是按照所要配置的显影液中显影剂的体积和纯水的体积等比例定制，那么原液量瓶和纯水量罐的体积比就是所需配置的显影液中原液和纯水的体积比，这样配置时只需要将满的原液量瓶和纯水量罐全部放空到配比箱内，这样，进入到配比箱内原液的量和纯水的量就是原液量瓶和纯水量罐的体积，而同时其两者的体积满足
这样，原液和纯水就按照预定的体积比例配置，配置非常准确，成本也低。而当原液量瓶和纯水量罐放空后，可以再次将原液和纯水加入到原液量瓶和纯水量罐中，这样通过间歇的配置可以提前将配比箱内配置足量的显影液，然后配比箱再供给显影液储罐中供给匀胶显影机中，而同时，原液回流管路和纯水回流管路可以保证原液量瓶和纯水量罐内的液体是足量的，从而配置比例比较准确。
又由于所述原液储罐的上部、显影液储罐的上部和纯水储罐的上部均设置有加压口和排气管道，所述加压口连通有氮气加压管路，所述原液储罐、显影液储罐和纯水储罐利用加压的氮气将原液或显影液或纯水压出，利用氮气加压的方式可以方便原液或显影液的压出，同时也不会引入新的杂质，保证显影液的纯净度。
又由于所述配比箱内还设置有对内部液体进行搅拌的搅拌装置，该搅拌装置可以对配比箱内的液体(显影液)进行搅拌，使原液和纯水混合更加充分。
又由于所述原液回流管路和纯水回流管路上均设置有液满传感器。所述纯水添加管道和原液添加管道上均设置有液空传感器，利用该液满传感器可以检测原液量瓶和纯水量罐中是否有充满原液和纯水，利用液空传感器可以确保原液量瓶的原液和纯水量罐中的纯水完全放空，从而进一步保证配比的精度。
又由于所述配比箱和显影液储罐内均设置有液位传感器，该液位传感器可以更直观的检测配比箱和显影液储罐内液位高度，从而可以在合适的时间内启动或停止显影液的配置工作，使配置系统无需人工参与，自动话程度更高。
又由于所述原液量瓶的顶部设置有第一三通阀，所述第一三通阀的其中两个接口连接原液回流出口和原液回流管路，第一三通阀的另一个接口作为第一补气口用于与大气连通；所述纯水量罐的顶部设置有第二三通阀，所述第二三通阀的其中两个接口连接所述纯水回流出口和纯水回流管路，所述第二三通阀的另一个接口作为第二补气口用于与大气连通，利用第一三通阀和第二三通阀就可以切换接通状态，例如在原液供入到原液量瓶的过程中，第一三通阀是将原液回流管路和原液量瓶之间连通，同时第一补气口是处于关闭状态，因此，原液进入到原液量瓶后从原液回流管路中回流至原液储罐中，这样就能确保原液量瓶内充满了原液，同理，纯水也以同样的方式充满纯水量罐，而当需要将原液量瓶和纯水量罐放空时，此时，第一三通阀和第二三通阀切换，此时第一补气口和第二补气口均连通大气，而与此同时，原液回流管路和纯水回流管路关闭，这样利用重力的作用，原液和纯水就流入到配比箱中，上述结果接口较少，并且可快速切换工作状态。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型实施例的结构示意图；
附图中：1.原液储罐；2.配比箱；3.原液量瓶；4.纯水量罐；5.显影液储罐；6.纯水储罐；7.第一三通阀；8.第二三通阀；9.原液供应管路；10.原液回流管路；11.纯水供应管路；12.纯水回流管路；13.显影液供出管道；14.泵；15.曝气主管；16.原液添加管道；17.纯水添加管道；18.液满传感器；19.液空传感器；20.液位传感器；21.氮气加压管路；22.显影液供应管道；23.排气管道。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
如图1所示，一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，包括原液储罐1、配比箱2、显影液储罐5、原液量瓶3、纯水量罐4和纯水储罐6；
所述原液储罐1上设置有原液出口和原液回流入口；
所述原液量瓶3的底部设置有原液入口和原液配置出口，原液量瓶3的顶部设置有原液回流出口和第一补气口，所述原液入口和原液出口之间通过原液供应管路9连通，所述原液回流出口和原液回流入口之间通过原液回流管路10连通，所述第一补气口上设置有第一补气阀；而本实施例中，原液储罐1的上部设置有加压口和排气管道23，所述加压口连通有氮气加压管路21，当需要将原液压出时，利用氮气加压管路21加入氮气，这样，原液储罐1中的压力增加，就可以将原液压出到原液量瓶3中。
所述纯水储罐6上设置有纯水出口和纯水回流入口；
所述纯水量罐4的底部设置有纯水入口和纯水配置出口，纯水量罐4的顶部设置有纯水回流出口和第二补气口，所述纯水入口和纯水出口之间通过纯水供应管路11连通，所述纯水回流出口和纯水回流入口之间通过纯水回流管路12连通，所述第二补气口上设置有第二补气阀；定义原液量瓶3的体积为V原、纯水量罐4的体积为V水，所需配置的目标显影液的浓度为N％，满足一下关系式：
同样，纯水储罐6的上部也设置有加压口和排气管道23，所述加压口连通有氮气加压管路21，利用氮气的压力将纯水压出。
所述配比箱2的位置低于原液量瓶3和纯水量罐4，这样方便原液量瓶3和纯水量罐4内的原液和纯水通过自身的重力流入到原液量瓶3和纯水量罐4中。
所述配比箱2上设置有纯水配置入口和原液配置入口，所述纯水配置入口和纯水配置出口之间通过带放水阀的纯水添加管道17连通，所述原液配置入口和原液配置出口之间通过带放液阀的原液添加管道16连通，所述配比箱2的底部设置有显影液出口；
所述显影液储罐5上设置有显影液入口和显影液供出口，所述显影液入口与显影液出口之间通过显影液供出管道13连通，该显影液供出管道采用泵14作为输送动力，这样可以方便较远距离传输；所述显影液供出口通过显影液供应管道22与匀胶显影机的显影液使用管路连通。而同理，显影液储罐5的上部设置有加压口和排气管道23，所述加压口连通有氮气加压管路21，所述显影液储罐5利用加压的氮气将显影液压出，最终供给匀胶显影机中使用。
所述配比箱2内还设置有对内部液体进行搅拌的搅拌装置。本实施例中优选的，所述搅拌装置包括设置于配比箱2内的曝气主管15，所述曝气主管15连接有氮气供应系统，所述配比箱2上还设置有排气口，排气口上安装有排气阀。这样，利用氮气对配比箱2内的显影液进行曝气搅拌，原液和纯水可以更加充分的混合。
所述原液回流管路10和纯水回流管路12上均设置有液满传感器18。所述纯水添加管道17和原液添加管道16上均设置有液空传感器19。该液满传感器18和液空传感器19可以采用目前市面上常用的水流开关，用来监测原液回流管路10和纯水回流管路12中是否有回流的液体，当然，若是不使用液满传感器18和液空传感器19，也可以通过控制液体的放空的时间来确保原液和纯水的完全放空，通过控制纯水和原液的供应时间来确保原液量瓶3和纯水量罐4充满液体，而多余的液体从纯水添加管道17和原液添加管道16回流即可。
而本实施例中，所述配比箱2、原液储罐1和显影液储罐5内均设置有液位传感器20，用来检测液位，从而当液位较低可以进行补充。
如图1所示，所述原液量瓶3的顶部设置有第一三通阀7，所述第一三通阀7的其中两个接口连接原液回流出口和原液回流管路10，第一三通阀7的另一个接口作为第一补气口用于与大气连通；所述纯水量罐4的顶部设置有第二三通阀8，所述第二三通阀8的其中两个接口连接所述纯水回流出口和纯水回流管路12，所述第二三通阀8的另一个接口作为第二补气口用于与大气连通。其中优选的，第一三通阀7和第二三通阀8优选的采用电动或气动的三通阀，这样可实现自动切换。
以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。
Claims (8)
1.一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：包括原液储罐、配比箱、显影液储罐、原液量瓶、纯水量罐和纯水储罐；
所述原液储罐上设置有原液出口和原液回流入口；
所述原液量瓶的底部设置有原液入口和原液配置出口，原液量瓶的顶部设置有原液回流出口和第一补气口，所述原液入口和原液出口之间通过原液供应管路连通，所述原液回流出口和原液回流入口之间通过原液回流管路连通，所述第一补气口上设置有第一补气阀；
所述纯水储罐上设置有纯水出口和纯水回流入口
所述纯水量罐的底部设置有纯水入口和纯水配置出口，纯水量罐的顶部设置有纯水回流出口和第二补气口，所述纯水入口和纯水出口之间通过纯水供应管路连通，所述纯水回流出口和纯水回流入口之间通过纯水回流管路连通，所述第二补气口上设置有第二补气阀；定义原液量瓶的体积为V原、纯水量罐的体积为V水，所需配置的目标显影液的浓度为N％，满足一下关系式：
所述配比箱的位置低于原液量瓶和纯水量罐，所述配比箱上设置有纯水配置入口和原液配置入口，所述纯水配置入口和纯水配置出口之间通过带放水阀的纯水添加管道连通，所述原液配置入口和原液配置出口之间通过带放液阀的原液添加管道连通，所述配比箱的底部设置有显影液出口；
所述显影液储罐上设置有显影液入口和显影液供出口，所述显影液入口与显影液出口之间通过显影液供出管道连通；所述显影液供出口通过显影液供应管道与匀胶显影机的显影液使用管路连通。
2.如权利要求1所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述原液储罐的上部、显影液储罐的上部和纯水储罐的上部均设置有加压口和排气管道，所述加压口连通有氮气加压管路，所述原液储罐、显影液储罐和纯水储罐利用加压的氮气将原液或显影液或纯水压出。
3.如权利要求2所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述配比箱内还设置有对内部液体进行搅拌的搅拌装置。
4.如权利要求3所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述搅拌装置包括设置于配比箱内的曝气主管，所述曝气主管连接有氮气供应系统，所述配比箱上还设置有排气口，排气口上安装有排气阀。
5.如权利要求4所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述原液回流管路和纯水回流管路上均设置有液满传感器。
6.如权利要求5所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述纯水添加管道和原液添加管道上均设置有液空传感器。
7.如权利要求6所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述配比箱和显影液储罐内均设置有液位传感器。
8.如权利要求7所述的一种匀胶显影机用显影液自动配置系统，其特征在于：所述原液量瓶的顶部设置有第一三通阀，所述第一三通阀的其中两个接口连接原液回流出口和原液回流管路，第一三通阀的另一个接口作为第一补气口用于与大气连通；所述纯水量罐的顶部设置有第二三通阀，所述第二三通阀的其中两个接口连接所述纯水回流出口和纯水回流管路，所述第二三通阀的另一个接口作为第二补气口用于与大气连通。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202021552904.2U CN213348762U (zh) | 2020-07-31 | 2020-07-31 | 一种匀胶显影机用显影液自动配置系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021552904.2U Active CN213348762U (zh) | 2020-07-31 | 2020-07-31 | 一种匀胶显影机用显影液自动配置系统 |
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|---|---|
| CN (1) | CN213348762U (zh) |
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