CN213304084U - 一种全自动子母环脱膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种全自动子母环脱膜机,包括机架,机架上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置、取料装置、预热加工位、上料机械手、脱膜装置、第二脱膜装置、晶圆成品盒、收料机械手、蓝膜打包装置和蓝膜收料桶;所述上料装置供待加工的子母环放置,所述取料装置将子母环移至预热加工位预热,所述上料机械手将子母环移至脱膜装置上,所述脱膜装置脱除子母环的子环、母环和蓝膜,两个所述晶圆成品盒分别设置在两个所述的脱膜装置下部,所述晶圆成品盒供子环和母环盛放,所述收料机械手将蓝膜运送至蓝膜打包装置,所述蓝膜打包装置将蓝膜折叠,所述蓝膜收料桶供折叠好的蓝膜盛放。本实用新型实现了子母环自动化脱膜的全部工序。
Description
技术领域
本实用新型涉及子母环加工技术领域,特别涉及一种全自动子母环脱膜机。
背景技术
LED晶元(LED Wafer)在加工中需要对其分选后的子母环进行分离,分别得到外环(母环)和内环(子环),并留下废膜(蓝膜)加以回收,目前LED分选后子母环的拆分均采用人工手动操作,浪费人力资源,且在操作过程中杂乱无章。
申请号为CN201822176322.8的中国专利,提出了一种LED晶元子母环分离装置,其在滑轨上滑动安装有相互联动的横移吸盘机构和内环滑道机构。其虽然实现了子母环的分离,但是其对于分离的子环、母环的收集和蓝膜的收集并无相应的工序。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种全自动子母环脱膜机,克服上述缺陷,使子母环脱膜机自动化程度更高。
为达成上述目的,本实用新型的解决方案为:一种全自动子母环脱膜机,包括机架,机架上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置、取料装置、预热加工位、上料机械手、脱膜装置、晶圆成品盒、收料机械手、蓝膜打包装置和蓝膜收料桶;
所述上料装置供待加工的子母环放置,所述取料装置将子母环移至预热加工位预热,所述上料机械手将子母环移至脱膜装置上,两个所述的脱膜装置同时脱除子母环的子环、母环和蓝膜,两个所述晶圆成品盒分别设置在两个所述的脱膜装置下部,所述晶圆成品盒供子环和母环盛放,所述收料机械手将蓝膜运送至蓝膜打包装置,所述蓝膜打包装置将蓝膜堆叠,所述蓝膜收料桶供堆叠好的蓝膜盛放。
优选的,所述上料装置包括上料料桶和上料转盘;四个所述的上料料桶设置在上料转盘上,上料转盘通过转动电机和支架设置在机架上。
优选的,所述脱膜装置由压子环气缸、子环收料轨道、蓝膜固定装置、母环吸盘装置、母环收料轨道和伺服顶升机构构成,
所述压子环气缸通过支杆架设在机架上,所述伺服顶升机构安装在机架上,所述母环吸盘装置设置在伺服顶升机构顶部,所述子环收料轨道设置在压子环气缸下部侧方,所述母环收料轨道设置在母环吸盘装置的一侧,所述蓝膜固定装置设置在压子环气缸和母环吸盘装置之间,所述子环收料轨道短于母环收料轨道,所述子环收料轨道和母环收料轨道的轨道底板尽头均设置一落料孔。
优选的,所述晶圆成品盒包括盒板、子环成品盒、母环成品盒和把手;所述子环成品盒、母环成品盒前后设置在盒板上,所述盒板滑设在机架上,在盒板上设置供人工移动盒板的把手。
优选的,所述蓝膜打包装置包括打包机械手、打包辊轮和升降吸盘;所述打包机械手通过滑轨和皮带设置在机架上,所述打包辊轮架设在机架边缘,所述升降吸盘架设在在机架上,所述升降吸盘将打包机械手上的蓝膜升至打包辊轮。
采用上述方案后,本实用新型的有益效果在于:本实用新型通过上料装置、取料装置、脱膜装置、蓝膜打包装置等机构实现了子母环自动化脱膜的全部工序,完成了子母环的自动上料、自动脱膜及自动收集等工序。
附图说明
图1是本实用新型的顶视图;
图2是本实用新型的结构示意图一;
图3是本实用新型的结构示意图二;
图4是本实用新型脱膜装置的结构示意图;
图5是本实用新型收料机械手的结构示意图;
图6是本实用新型上料装置的结构示意图;
图7是本实用新型蓝膜打包装置的结构示意图;
图8是本实用新型的结构示意图;
图9是本实用新型脱膜装置的结构示意图。
标号说明:机架(1)、上料装置(2)、取料装置(3)、预热加工位(30)、上料机械手(4)、脱膜装置(5)、晶圆成品盒(6)、收料机械手(7)、蓝膜打包装置(8)、蓝膜收料桶(9)、上料料桶(21)、上料转盘(22)、压子环气缸(51)、子环收料轨道(52)、蓝膜固定装置(53)、母环吸盘装置(54)、母环收料轨道(55)、伺服顶升机构(56)、盒板(61)、子环成品盒(62)、母环成品盒(63)、把手(64)、打包机械手(81)、打包辊轮(82)、升降吸盘(83)。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本实用新型做详细的说明。
如图1-9所示,本实用新型提供一种全自动子母环脱膜机,包括机架1,机架1上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置2、取料装置3、预热加工位30、上料机械手4、脱膜装置5、晶圆成品盒6、收料机械手7、蓝膜打包装置8和蓝膜收料桶9;在本实施例中,所述上料机械手4和收料机械手7设置在同一条滑轨的两端。
所述上料装置2供待加工的子母环放置,所述取料装置3将子母环移至预热加工位30预热,所述上料机械手4将子母环移至脱膜装置5上,两个所述的脱膜装置5同时脱除子母环的子环、母环和蓝膜,两个所述晶圆成品盒6分别设置在两个所述的脱膜装置5下部,所述晶圆成品盒6供子环和母环盛放,所述收料机械手7将蓝膜运送至蓝膜打包装置8,所述蓝膜打包装置8将蓝膜堆叠,所述蓝膜收料桶9供堆叠好的蓝膜盛放。
上料装置2是用来盛放待加工的子母环的机构,其结构可以是多种多样的,在本实施例中,其包括上料料桶21和上料转盘22;上料料桶21内放置待加工的子母环,四个所述的上料料桶21设置在上料转盘22上,上料转盘22通过转动电机和支架设置在机架1上,通过转动上料转盘22,将四个上料料桶21依次靠近取料装置3,取料装置3将上料料桶21内的子母环移走。
取料装置3是由气缸和设置在气缸上的取料机械手构成,气缸设置在机架1上,并且位于上料转盘22和预热加工位30的侧边,取料机械手将子母环从上料转盘22移至预热加工位30,预热加工位30对子母环进行加工前的预热处理。
脱膜装置5是用来将子母环分离成,其结构可以是多种多样的,在本实施例中,其由压子环气缸51、子环收料轨道52、蓝膜固定装置53、母环吸盘装置54、母环收料轨道55和伺服顶升机构56构成,
所述压子环气缸51通过支杆架设在机架1上,所述伺服顶升机构56安装在机架1上,所述母环吸盘装置54设置在伺服顶升机构56顶部,所述子环收料轨道52设置在压子环气缸51下部侧方,所述母环收料轨道55设置在母环吸盘装置54的一侧,所述蓝膜固定装置53设置在压子环气缸51和母环吸盘装置54之间,所述子环收料轨道52短于母环收料轨道55,所述子环收料轨道52和母环收料轨道55的轨道底板尽头均设置一落料孔,所述落料孔供子环和母环通过,所述子环收料轨道52短于母环收料轨道55,使得子环收料轨道52和母环收料轨道55的相对位置不仅形成水平错位,还形成高度错位,保证在子环和母环通过落料孔时上下不发生干涉。
晶圆成品盒6是用来盛放子环、母环成品的装置,其结构可以是多种多样的,在本实施例中,其包括盒板61、子环成品盒62、母环成品盒63和把手64;所述子环成品盒62、母环成品盒63前后设置在盒板61上,为进一步便于晶圆成品盒6的移动,所述盒板61可以滑设在机架1上,在盒板61上可设置供人工移动盒板61的把手64。
所述蓝膜打包装置8包括打包机械手81、打包辊轮82和升降吸盘83;所述打包机械手81通过滑轨和皮带设置在机架1上,所述打包辊轮82架设在机架1边缘,所述升降吸盘83架设在在机架1上,所述升降吸盘83将打包机械手81上的蓝膜升至打包辊轮82。
工作过程:
工人将子母环放置在上料料桶21中,并将上料料桶21放置在上料转盘22上,启动机器。上料转盘22带动上料料桶21转动。
取料装置3将上料料桶21中的子母环移至预热加工位30进行预热。预热好后,上料机械手4将子母环移至脱膜装置5进行脱膜处理。子母环脱膜时,子母环的子环、母环分别从脱膜装置5的子环收料轨道52和母环收料轨道55的轨道底板尽头落至晶圆成品盒6中,脱膜后剩下的蓝膜由收料机械手7移动至蓝膜打包装置8,打包机械手81将蓝膜移动到升降吸盘83下方,升降吸盘83吸住蓝膜的中间部分,蓝膜在重力的作用下开始堆叠,打包辊轮82将开始堆叠的蓝膜进行进一步地压紧,完成蓝膜的堆叠打包,然后堆叠好的蓝膜落入蓝膜收料桶9中。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并非对本案设计的限制,凡依本案的设计关键所做的等同变化,均落入本案的保护范围。
Claims (5)
1.一种全自动子母环脱膜机,包括机架(1),其特征在于:机架(1)上按晶圆脱膜加工顺序依次设有上料装置(2)、取料装置(3)、预热加工位(30)、上料机械手(4)、脱膜装置(5)、晶圆成品盒(6)、收料机械手(7)、蓝膜打包装置(8)和蓝膜收料桶(9);
所述上料装置(2)供待加工的子母环放置,所述取料装置(3)将子母环移至预热加工位(30)预热,所述上料机械手(4)将子母环移至脱膜装置(5)上,两个所述的脱膜装置(5)同时脱除子母环的子环、母环和蓝膜,两个所述晶圆成品盒(6)分别设置在两个所述的脱膜装置(5)下部,所述晶圆成品盒(6)供子环和母环盛放,所述收料机械手(7)将蓝膜运送至蓝膜打包装置(8),所述蓝膜打包装置(8)将蓝膜堆叠,所述蓝膜收料桶(9)供堆叠好的蓝膜盛放。
2.如权利要求1所述一种全自动子母环脱膜机,其特征在于:所述上料装置(2)包括上料料桶(21)和上料转盘(22);四个所述的上料料桶(21)设置在上料转盘(22)上,上料转盘(22)通过转动电机和支架设置在机架(1)上。
3.如权利要求1所述一种全自动子母环脱膜机,其特征在于:所述脱膜装置(5)由压子环气缸(51)、子环收料轨道(52)、蓝膜固定装置(53)、母环吸盘装置(54)、母环收料轨道(55)和伺服顶升机构(56)构成,
所述压子环气缸(51)通过支杆架设在机架(1)上,所述伺服顶升机构(56)安装在机架(1)上,所述母环吸盘装置(54)设置在伺服顶升机构(56)顶部,所述子环收料轨道(52)设置在压子环气缸(51)下部侧方,所述母环收料轨道(55)设置在母环吸盘装置(54)的一侧,所述蓝膜固定装置(53)设置在压子环气缸(51)和母环吸盘装置(54)之间,所述子环收料轨道(52)短于母环收料轨道(55),所述子环收料轨道(52)和母环收料轨道(55)的轨道底板尽头均设置一落料孔。
4.如权利要求1所述一种全自动子母环脱膜机,其特征在于:所述晶圆成品盒(6)包括盒板(61)、子环成品盒(62)、母环成品盒(63)和把手(64);所述子环成品盒(62)、母环成品盒(63)前后设置在盒板(61)上,所述盒板(61)滑设在机架(1)上,在盒板(61)上设置供人工移动盒板(61)的把手(64)。
5.如权利要求1所述一种全自动子母环脱膜机,其特征在于:所述蓝膜打包装置(8)包括打包机械手(81)、打包辊轮(82)和升降吸盘(83);所述打包机械手(81) 通过滑轨和皮带设置在机架(1)上,所述打包辊轮(82)架设在机架(1)边缘,所述升降吸盘(83)架设在机架(1)上,所述升降吸盘(83)将打包机械手(81)上的蓝膜升至打包辊轮(82)。
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