CN213273718U - 用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉 - Google Patents
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型属于一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体、空心球标砖、加热棒、窑内小车、挡火槽、导向轨道、炉体支撑架、第一高温纤维板、第二高温纤维板、第三高温纤维板、第四高温纤维板和第五高温纤维板，所述压烧炉主体底部设置有炉体支撑架，所述炉体支撑架内部设置有用于导向轮移动的导向轨道，所述导向轨道上方设置有挡火槽，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道上移动。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体制造领域，具体涉及一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉。
背景技术
随着功率电子器件的发展，电路板集成度与工作频率不断提高，散热问题已成为功率电子器件发展中必须要解决的关键问题。陶瓷基片是大功率电子器件、集成电路基片的封装材料，是功率电子、电子封装与多芯片模块等技术中的关键配套材料，其性能决定着模块的散热效率和可靠性。
DBC半导体热电基片是用DBC技术将铜片直接烧结到Al2O3或AlN陶瓷表面制成的一种复合覆铜陶瓷板，具有高导热性、高的电绝缘性、电流容量大、机械强度高、与硅芯片相匹配的温度特性等特点。
Al2O3陶瓷片制作过程时，需要将陶瓷片基体冲压成单个陶瓷片坯片，并且将陶瓷片坯片两面的杂质去除掉，然后将陶瓷片坯体放置于推板炉中烧制，在传统推板窑中进行烧制的时候，传统推板窑的隔热性很差，大大浪费了能源，同时传统推板窑的隔热结构过于单一，使得传统推板窑的可靠性很差，存在部分隔热结构过早损耗的坏处。
实用新型内容
针对上述现有技术中的不足，本实用新型提供了用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉。
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体、空心球标砖、加热棒、窑内小车、挡火槽、导向轨道、炉体支撑架、第一高温纤维板、第二高温纤维板、第三高温纤维板、第四高温纤维板和第五高温纤维板，所述压烧炉主体底部设置有炉体支撑架，所述炉体支撑架内部设置有用于导向轮移动的导向轨道，所述导向轨道上方设置有挡火槽，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道上移动，所述压烧炉主体顶部设置有第三高温纤维板，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板，所述第二高温纤维板上方设置有第一高温纤维板，所述压烧炉主体的四周设置有第四高温纤维板，所述第四高温纤维板内测设置有第五高温纤维板。
所述窑炉小车通过导向轨道进出压烧炉。
所述第一高温纤维板的工作温度为800摄氏度。
所述第二高温纤维板的工作温度为1200摄氏度。
所述第三高温纤维板的工作温度为1500摄氏度。
所述第四高温纤维板的工作温度为800摄氏度。
所述第五高温纤维板的工作温度为1200摄氏度。
本实用新型的有益效果：
1.本实用新型结构简单，隔热性很好，对比传统压烧炉节约了能源。
本实用新型隔热结构为多级隔热，使得压烧炉的可靠性提高，提高了压烧炉的可靠性。
附图标记
1、压烧炉主体，2、空心球标砖，3、加热棒，4、窑内小车，5、挡火槽，6、导向轨道，7、炉体支撑架，8、第一高温纤维板，9、第二高温纤维板，10、第三高温纤维板，11、第四高温纤维板，12、第五高温纤维板。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例1：
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体1、空心球标砖2、加热棒3、窑内小车4、挡火槽5、导向轨道6、炉体支撑架7、第一高温纤维板8、第二高温纤维板9、第三高温纤维板10、第四高温纤维板11和第五高温纤维板12，所述压烧炉主体1底部设置有炉体支撑架7，所述炉体支撑架7内部设置有用于导向轮移动的导向轨道6，所述导向轨道6上方设置有挡火槽5，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道6上移动，所述压烧炉主体1顶部设置有第三高温纤维板10，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板9，所述第二高温纤维板9上方设置有第一高温纤维板8，所述压烧炉主体1的四周设置有第四高温纤维板11，所述第四高温纤维板11内测设置有第五高温纤维板12。
实施例2：
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体1、空心球标砖2、加热棒3、窑内小车4、挡火槽5、导向轨道6、炉体支撑架7、第一高温纤维板8、第二高温纤维板9、第三高温纤维板10、第四高温纤维板11和第五高温纤维板12，所述压烧炉主体1底部设置有炉体支撑架7，所述炉体支撑架7内部设置有用于导向轮移动的导向轨道6，所述导向轨道6上方设置有挡火槽5，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道6上移动，所述压烧炉主体1顶部设置有第三高温纤维板10，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板9，所述第二高温纤维板9上方设置有第一高温纤维板8，所述压烧炉主体1的四周设置有第四高温纤维板11，所述第四高温纤维板11内测设置有第五高温纤维板12。
所述窑炉小车通过导向轨道6进出压烧炉。
所述第一高温纤维板8的工作温度为800摄氏度。
实施例3：
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体1、空心球标砖2、加热棒3、窑内小车4、挡火槽5、导向轨道6、炉体支撑架7、第一高温纤维板8、第二高温纤维板9、第三高温纤维板10、第四高温纤维板11和第五高温纤维板12，所述压烧炉主体1底部设置有炉体支撑架7，所述炉体支撑架7内部设置有用于导向轮移动的导向轨道6，所述导向轨道6上方设置有挡火槽5，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道6上移动，所述压烧炉主体1顶部设置有第三高温纤维板10，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板9，所述第二高温纤维板9上方设置有第一高温纤维板8，所述压烧炉主体1的四周设置有第四高温纤维板11，所述第四高温纤维板11内测设置有第五高温纤维板12。
所述窑炉小车通过导向轨道6进出压烧炉。
所述第一高温纤维板8的工作温度为800摄氏度。
所述第二高温纤维板9的工作温度为1200摄氏度。
实施例4：
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体1、空心球标砖2、加热棒3、窑内小车4、挡火槽5、导向轨道6、炉体支撑架7、第一高温纤维板8、第二高温纤维板9、第三高温纤维板10、第四高温纤维板11和第五高温纤维板12，所述压烧炉主体1底部设置有炉体支撑架7，所述炉体支撑架7内部设置有用于导向轮移动的导向轨道6，所述导向轨道6上方设置有挡火槽5，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道6上移动，所述压烧炉主体1顶部设置有第三高温纤维板10，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板9，所述第二高温纤维板9上方设置有第一高温纤维板8，所述压烧炉主体1的四周设置有第四高温纤维板11，所述第四高温纤维板11内测设置有第五高温纤维板12。
所述窑炉小车通过导向轨道6进出压烧炉。
所述第一高温纤维板8的工作温度为800摄氏度。
所述第二高温纤维板9的工作温度为1200摄氏度。
所述第三高温纤维板10的工作温度为1500摄氏度。
所述第五高温纤维板12的工作温度为1200摄氏度。
实施例5：
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体1、空心球标砖2、加热棒3、窑内小车4、挡火槽5、导向轨道6、炉体支撑架7、第一高温纤维板8、第二高温纤维板9、第三高温纤维板10、第四高温纤维板11和第五高温纤维板12，所述压烧炉主体1底部设置有炉体支撑架7，所述炉体支撑架7内部设置有用于导向轮移动的导向轨道6，所述导向轨道6上方设置有挡火槽5，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道6上移动，所述压烧炉主体1顶部设置有第三高温纤维板10，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板9，所述第二高温纤维板9上方设置有第一高温纤维板8，所述压烧炉主体1的四周设置有第四高温纤维板11，所述第四高温纤维板11内测设置有第五高温纤维板12。
所述窑炉小车通过导向轨道6进出压烧炉。
所述第一高温纤维板8的工作温度为800摄氏度。
所述第二高温纤维板9的工作温度为1200摄氏度。
所述第三高温纤维板10的工作温度为1500摄氏度。
所述第四高温纤维板11的工作温度为800摄氏度。
实施例6：
用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体1、空心球标砖2、加热棒3、窑内小车4、挡火槽5、导向轨道6、炉体支撑架7、第一高温纤维板8、第二高温纤维板9、第三高温纤维板10、第四高温纤维板11和第五高温纤维板12，所述压烧炉主体1底部设置有炉体支撑架7，所述炉体支撑架7内部设置有用于导向轮移动的导向轨道6，所述导向轨道6上方设置有挡火槽5，所述窑炉小车设置在压烧炉内部，窑炉小车的底部设置有导向轮，所述窑炉小车通过导向轮在导向轨道6上移动，所述压烧炉主体1顶部设置有第三高温纤维板10，所述第三纤维板上方设置有第二高温纤维板9，所述第二高温纤维板9上方设置有第一高温纤维板8，所述压烧炉主体1的四周设置有第四高温纤维板11，所述第四高温纤维板11内测设置有第五高温纤维板12。
所述窑炉小车通过导向轨道6进出压烧炉。
所述第一高温纤维板8的工作温度为800摄氏度。
所述第二高温纤维板9的工作温度为1200摄氏度。
所述第三高温纤维板10的工作温度为1500摄氏度。
所述第四高温纤维板11的工作温度为800摄氏度。
所述第五高温纤维板12的工作温度为1200摄氏度。
Claims (7)
1.用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于包括：压烧炉主体（1）、空心球标砖（2）、加热棒（3）、窑内小车（4）、挡火槽（5）、导向轨道（6）、炉体支撑架（7）、第一高温纤维板（8）、第二高温纤维板（9）、第三高温纤维板（10）、第四高温纤维板（11）和第五高温纤维板（12），所述压烧炉主体（1）底部设置有炉体支撑架（7），所述炉体支撑架（7）内部设置有用于导向轮移动的导向轨道（6），所述导向轨道（6）上方设置有挡火槽（5），所述窑内小车（4）设置在压烧炉内部，窑内小车（4）的底部设置有导向轮，所述窑内小车（4）通过导向轮在导向轨道（6）上移动，所述压烧炉主体（1）顶部设置有第三高温纤维板（10），所述第三高温纤维板（10）上方设置有第二高温纤维板（9），所述第二高温纤维板（9）上方设置有第一高温纤维板（8），所述压烧炉主体（1）的四周设置有第四高温纤维板（11），所述第四高温纤维板（11）内测设置有第五高温纤维板（12）。
2.根据权利要求1所述一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于：所述窑内小车（4）通过导向轨道（6）进出压烧炉。
3.根据权利要求1所述一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于：所述第一高温纤维板（8）的工作温度为800摄氏度。
4.根据权利要求1所述一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于：所述第二高温纤维板（9）的工作温度为1200摄氏度。
5.根据权利要求1所述一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于：所述第三高温纤维板（10）的工作温度为1500摄氏度。
6.根据权利要求1所述一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于：所述第四高温纤维板（11）的工作温度为800摄氏度。
7.根据权利要求1所述一种用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉,其特征在于：所述第五高温纤维板（12）的工作温度为1200摄氏度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202022170077.7U CN213273718U (zh) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | 用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| CN213273718U true CN213273718U (zh) | 2021-05-25 |
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ID=75946717
Family Applications (1)
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| CN202022170077.7U Active CN213273718U (zh) | 2020-09-28 | 2020-09-28 | 用于Al2O3陶瓷基片的压烧炉 |
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2020
- 2020-09-28 CN CN202022170077.7U patent/CN213273718U/zh active Active
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