CN213240722U - 一种真空贴合设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及显示技术领域，具体公开了一种真空贴合设备，包括：腔室，设置有抽真空单元，用于提供真空环境；两个相对设置的夹持单元，设置于所述腔室内，每个所述夹持单元上设置有用于吸附基板的吸附组件；加压单元，用于驱动所述夹持单元移动，以使两个所述夹持单元上吸附的基板相向压合，本实用新型提供的真空贴合设备通过在至少一个所述夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有感压组件，所述感压组件包括多个相互间隔设置的感压气囊，每个感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气，从而解决了现有技术中真空贴合设备因承载玻璃的平台不够平整或基板形变导致的液晶显示模组贴合异常的问题，降低了生产成本，提高了产品品质。

Description

一种真空贴合设备

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别是涉及一种真空贴合设备。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。如：液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等，在平板显示领域中占主导地位。

液晶显示器的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor ArraySubstrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片基板(Color Filter Substrate，CFSubstrate)之间灌入液晶分子，并在两片基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

在制造液晶显示器的过程中，会将上下两块玻璃基板(即CF基板和TFT基板)进行贴合，为了避免两块基板之间出现气泡等情况，需要在真空条件下进行两块基板的贴合作业。为此，会采用真空贴合设备(VA Chamber)来进行基板的贴合以将两片基板成盒变为一个整体。现有技术中的真空贴合设备上盖板上吸附一片基板，下盖板上吸附另一片基板，然后利用真空泵进行抽真空，再在真空环境下进行对位盒压合。通常基板上涂布胶类用于粘合上下基板，在将CF基板与TFT基板两片玻璃贴合到一起的过程中,需要对基板给予一定的压力以完成组立成盒制程,但在同等压力的情况下,如果承载玻璃的平台不够平整或基板形变量大于某一限定值,将会导致该不平整区域或形变区域受力过大,从而导致基板发生异常,或框胶压合发生异常，例如基板破裂、支撑柱(Photo Space)压伤、框胶脱落(peeling)和起泡等问题。

有鉴于此，本实用新型申请人针对上述真空贴合设备设计中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本创作。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术的真空贴合设备贴合过程中因承载玻璃的平台不够平整或基板形变导致的液晶显示模组贴合异常的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是公开了一种真空贴合设备，一种真空贴合设备，包括：

腔室，其上设置有抽真空单元，用于提供真空环境；

两个相对设置的夹持单元，设置于所述腔室内，每个所述夹持单元上设置有用于吸附基板的吸附组件；

加压单元，用于驱动所述夹持单元移动，以使两个所述夹持单元上吸附的基板相向压合；

其中，至少一个所述夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有感压组件，所述感压组件包括多个相互间隔设置的感压气囊，每个感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气。

进一步地，所述夹持单元包括上夹持单元和下夹持单元，所述上夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有加压单元和上感压组件，所述上感压组件设置于所述加压单元和所述上夹持单元之间。

进一步地，所述下夹持单元的背离所述吸附组件一侧设置有下感压组件，所述下感压组件固定设置于所述腔室的内壁上。

进一步地，所述夹持单元包括上夹持单元和下夹持单元，所述下夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有加压单元和下感压组件，所述下感压组件设置于所述加压单元和所述下夹持单元之间。

进一步地，所述上夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有上感压组件，所述上感压组件固定设置于所述腔室的内壁上。

进一步地，所述上夹持单元包括多个上夹持组件，所述上感压组件包括多个上感压气囊，多个所述上夹持组件与多个所述上感压气囊一一对应设置；所述下夹持单元包括多个下夹持组件，所述下感压组件包括多个下感压气囊，多个所述下夹持组件与多个所述下感压气囊一一对应设置。

进一步地，所述上感压组件、下感压组件上的感压气囊均为长条状，且上感压组件上的感压气囊的长度方向与下感压组件上的感压气囊的长度方向相互垂直。

进一步地，所述感压组件包括多个阵列排布的块状的感压气囊，所述阵列为m行n列(m，n均为大于1的整数)。

进一步地，所述吸附组件的吸附方式为真空吸附、磁性吸附、粘性吸附、静电吸附中的一种或多种。

进一步地，所述感压组件还包括气泵和充放气系统，每个所述感压气囊包括气囊和负荷传感器，多个气囊通过所述充放气系统与所述气泵相连接，控制系统通过所述负荷传感器与所述气泵相连接。

本实用新型涉及显示技术领域，具体公开了一种真空贴合设备，包括：腔室，其上设置有抽真空单元，用于提供真空环境；两个相对设置的夹持单元，设置于所述腔室内，每个所述夹持单元上设置有用于吸附基板的吸附组件；加压单元，用于驱动所述夹持单元移动，以使两个所述夹持单元上吸附的基板相向压合，本实用新型提供的真空贴合设备通过在至少一个所述夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有感压组件，所述感压组件包括多个相互间隔设置的感压气囊，每个感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气，从而完美解决现有技术中真空贴合设备因承载玻璃的平台不够平整或基板形变导致的液晶显示模组贴合异常的问题，降低了生产成本，提高了产品品质。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1为本实用新型实施例一公开的真空贴合设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例二公开的真空贴合设备的结构示意图；

图3为本实用新型实施例三公开的真空贴合设备的结构示意图；

图4为本实用新型实施例四公开的真空贴合设备的结构示意图；

图5为本实用新型实施例五公开的感压组件的结构示意图；

图6(a)、6(b)为本实用新型实施例六公开的上感压组件、下感压组件的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本实用新型的示例性实施例的目的。但是本实用新型可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

图1为本实用新型实施例一公开的真空贴合设备的结构示意图，请参照图1，本实用新型实施例一提供了一种真空贴合设备，该真空贴合设备包括：腔室10，腔室10上设置有抽真空单元，用于提供真空环境，该腔室10例如可以为组合式腔室，具体可以包括上腔室和下腔室，当需要进行液晶显示面板进行真空贴合操作时，可以通过机械手臂分别将上基板51与下基板52夹持放入上腔室和下腔室内，上基板例如为阵列基板，下基板例如为彩膜基板。上夹持单元21和下夹持单元22的相对侧均设置有用于吸附基板的吸附组件(图中未示出)，当两个夹持单元分别将两个基板吸附固定后，该上腔室和下腔室例如可以进行密闭操作，并通过抽真空单元进行抽真空，以提供真空贴合所需环境。具体的，该吸附组件的吸附方式包括真空吸附、磁性吸附、粘性吸附、静电吸附等其他可以固定基板的方式，具体可以依据夹持单元的材质而定。

该真空贴合设备例如还包括穿设过腔室10位于该上夹持单元21上方的上加压单元31，该上加压单元31用于驱动上夹持单元21移动，以使上夹持单元 21上吸附的上基板与下夹持单元22上吸附的下基板相向压合。该上加压单元 31可以包括穿过腔室的加压柱体以及与加压主体固定连接的加压板，本实用新型对加压单元31的具体设置方式不做限制，在本实用新型的其他实施例中，该加压单元31例如还可以仅包括一根或多根加压柱体。

至少一个夹持单元在背离其设置吸附组件的一侧设置有感压组件，感压组件包括气泵(图中未示出)、充放气系统(图中未示出)以及上感压组件41和下感压组件42，上夹持单元21背离该吸附组件的一侧设置有上感压组件41和上加压单元31，该上感压组件41设置于该上加压单元31和该上夹持单元21之间；下夹持单元22背离该吸附组件的一侧设置有下感压组件42，该下感压组件 42固定设置于腔室10的内壁上，上感压组件41、下感压组件42均包括多个相互间隔设置的感压气囊，每个感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气。具体的，每个感压气囊包括气囊和负荷传感器(Load Cell)，气囊内填充有空气，每个气囊通过充放气系统与气泵相连接，控制系统通过负荷传感器与气泵相连接，以对每个气囊进行充放气。需要说明的是，每个感压气囊可以在气囊的多个位置设置负荷传感器，以更好的感测不同位置的压力值，以提高该真空贴合设备的精确度。

当该真空贴合设备加压时，每个感压气囊均能够通过负荷传感器实时感受压力，当上夹持单元21和/或下夹持单元22上的任意位置出现凹凸以及上基板 51和/或下基板52上的任意位置的形变量大于/小于一定值时，上述异常即会通过感压气囊上的负荷传感器被控制系统侦测到。当任意位置的负荷传感器输出的压力感测值大于基准压力值时，控制系统通过充放气系统对对应位置的气囊进行放气；当任意位置的负荷传感器输出的压力感测值小于基准压力值时，控制系统通过充放气系统对对应位置的气囊进行充气，从而起到平衡压力和调整间隙的目的，从而完美解决现有技术中真空贴合设备因承载玻璃的平台不够平整或基板形变导致的液晶显示模组贴合异常的问题，降低了生产成本，提高了产品品质。具体的，控制系统例如可以设置每个气囊的基准压力值为1～2KN中的一压力值，本领域技术人员可以实际需求对该基准压力值进行调节。

第二实施例

图2为本实用新型实施例二公开的真空贴合设备的结构示意图，如图2所示，本实施例与第一实施例的区别在于，本实施例中，上夹持单元21包括多个上夹持组件，上感压组件41包括多个上感压气囊，多个上夹持组件与多个上感压气囊一一对应设置；下夹持单元22包括多个下夹持组件，下感压组件42包括多个下感压气囊，多个下夹持组件与多个所述下感压气囊一一对应设置。

本实施例通过将上夹持单元21对应设置成与上感压气囊数量相同的多块，能够实现在任意区域模块上基板发生形变或上夹持单元21存在不平整的现象时，对应的上感应组件上的上感压气囊能够更加准确地对其压力进行感测与识别；同理本实施例通过将下夹持单元22对应设置成与下感压气囊数量相同的多块，能够实现在任意区域模块上基板发生形变或下夹持单元22存在不平整的现象时，对应的下感应组件上的下感压气囊能够更加准确地对其压力进行感测与识别，进而，大大提高了该真空贴合设备的侦测调节精度，能够更好地保证真空贴合的质量。

另外，本实施例中，上夹持单元21包含的上夹持组件的数量与下夹持单元 22包含的下夹持组件的数量例如可以是相等的、模块大小例如可以是一致的，这样能够降低该真空贴合设备生产制造过程中的复杂程度，降低开发成本。

第三实施例

图3为本实用新型实施例三公开的真空贴合设备的结构示意图，如图3所示，本实施例与第一实施例的区别在于，本实施例中的真空贴合设备并不包括下感应组件42，即下夹持单元22是直接设置于腔室10的内壁上的。基于力传递的相互性，这样设置的目的在于，在降低感压气囊设置数量的同时尽量保证感测效果的准确性，以起到降低成本的目的。

第四实施例

图4为本实用新型实施例四公开的真空贴合设备的结构示意图，本实施例与第一实施例的区别在于，本实施例中的真空贴合设备并不包括上感应组件41，即上夹持单元21是直接设置于腔室10的内壁上的。基于力传递的相互性，这样设置的目的在于，在降低感压气囊设置数量的同时尽量保证感测效果的准确性，以起到降低成本的目的。同时，本实施例中的加压方式也与实施例一不同，如图4所示，该真空贴合设备包括下加压单元32，该下加压单元32自下而上向下夹持单元22施加压力，以推动下基板52朝向上基板51的方向运动，从而完成上基板51与下基板52的成盒组立工艺。

第五实施例

图5为本实用新型实施例五公开的感压组件的结构示意图，如图5所示，本实施例示出了上感压组件41和/或下感压组件42的设置方式，即上感压组件41包括多个阵列排布的块状的上感压气囊和/或下感压组件42包括多个阵列排布的块状的下感压气囊，本实施例中每个感压组件上的感压气囊阵列具体为m 行n列，其中m，n均为大于1的整数。

当然，结合实施例二公开的夹持单元的架构，本实施例其实也示出了上夹持单元21/下夹持单元22的设置方式，即上夹持单元21包括多个阵列排布的上夹持组件；下夹持单元22包括多个阵列排布的下夹持组件。

感压组件和/或夹持单元采用阵列排布的块状布局，能够进一步提高感压气囊的感测精度和充气效果。

第六实施例

图6(a)、6(b)为本实用新型实施例六公开的上感压组件、下感压组件的结构示意图。如图6(a)、6(b)所示，两个夹持单元背离所述吸附组件的一侧均设置有感压组件，两组感压组件例如为上感压组件41和下感压组件42，其均为长条状，且一组感压组件的长度方向与另一组感压组件的长度方向相互垂直。

当然，结合实施例二公开的夹持单元的架构，本实施例其实也示出了上夹持单元21/下夹持单元22的设置方式，即上夹持单元21包括多个长条状的上夹持组件；下夹持单元22包括多个长条状的下夹持组件，且上夹持组件的长度方向与下夹持组件的长度方向相互垂直。

感压组件和/或夹持单元采用条状且长度方向上相互垂直布局，能够保证真空贴合设备的承载稳定性和感测精度。

本实用新型涉及显示技术领域，具体公开了一种真空贴合设备，包括：腔室，其上设置有抽真空单元，用于提供真空环境；两个相对设置的夹持单元，设置于所述腔室内，每个所述夹持单元上设置有用于吸附基板的吸附组件；加压单元，用于驱动所述夹持单元移动，以使两个所述夹持单元上吸附的基板相向压合，本实用新型提供的真空贴合设备通过在至少一个所述夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有感压组件，所述感压组件包括多个相互间隔设置的感压气囊，每个感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气，从而完美解决现有技术中真空贴合设备因承载玻璃的平台不够平整或基板形变导致的液晶显示模组贴合异常的问题，降低了生产成本，提高了产品品质。

以上是本实用新型的全部内容，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

在本说明书中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空贴合设备，其特征在于，包括：

腔室，设置有抽真空单元，用于提供真空环境；

两个相对设置的夹持单元，设置于所述腔室内，每个所述夹持单元上设置有用于吸附基板的吸附组件；

加压单元，用于驱动所述夹持单元移动，以使两个所述夹持单元上吸附的基板相向压合；

其中，至少一个所述夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有感压组件，所述感压组件包括多个相互间隔设置的感压气囊，每个所述感压气囊均能够在控制系统的控制下独立的进行充放气。

2.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述夹持单元包括上夹持单元和下夹持单元，所述上夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有加压单元和上感压组件，所述上感压组件设置于所述加压单元和所述上夹持单元之间。

3.根据权利要求2所述的真空贴合设备，其特征在于，所述下夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有下感压组件，所述下感压组件固定设置于所述腔室的内壁上。

4.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述夹持单元包括上夹持单元和下夹持单元，所述下夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有加压单元和下感压组件，所述下感压组件设置于所述加压单元和所述下夹持单元之间。

5.根据权利要求4所述的真空贴合设备，其特征在于，所述上夹持单元背离所述吸附组件的一侧设置有上感压组件，所述上感压组件固定设置于所述腔室的内壁上。

6.根据权利要求3或5所述的真空贴合设备，其特征在于，所述上夹持单元包括多个上夹持组件，所述上感压组件包括多个上感压气囊，多个所述上夹持组件与多个所述上感压气囊一一对应设置；所述下夹持单元包括多个下夹持组件，所述下感压组件包括多个下感压气囊，多个所述下夹持组件与多个所述下感压气囊一一对应设置。

7.根据权利要求3或5所述的真空贴合设备，其特征在于，所述上感压组件、下感压组件上的感压气囊均为长条状，且上感压组件上的感压气囊的长度方向与下感压组件上的感压气囊的长度方向相互垂直。

8.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述感压组件包括多个阵列排布的块状的感压气囊，所述阵列为m行n列(m，n均为大于1的整数)。

9.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述吸附组件的吸附方式为真空吸附、磁性吸附、粘性吸附、静电吸附中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述感压组件还包括气泵和充放气系统，每个所述感压气囊包括气囊和负荷传感器，多个气囊通过所述充放气系统与所述气泵相连接，所述控制系统通过所述负荷传感器与所述气泵相连接。

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