CN213240420U - 一种用于集成电路加工用测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于集成电路加工用测试装置，包括工作台和检测台体，工作台的顶部固定安装有检测台体，检测台体和工作台之间呈凸型结构设置，检测台体相对两侧的工作台上设有夹持件，检测台体一侧的工作台上设有通风口，工作台远离通风口的一侧设有散热口，散热口内固定安装有散热风扇，散热口和通风口之间的检测台体内部设有散热组件，散热组件的顶部与检测台体的底部接触，工作台的顶部固定安装有防护罩，防护罩的一侧呈开口设置；本实用新型结构紧凑，促进工作台内空气流通，散热组件改善测试装置散热性能，降低温度对集成电路测试精度影响，夹持件对集成电路下压夹持固定，夹持简单、易行，提高测试设备抗干扰性能。

Description

一种用于集成电路加工用测试装置

技术领域

本实用新型涉及测试装置，特别涉及一种用于集成电路加工用测试装置，属于电路测试技术领域。

背景技术

随着科技不断的进步，电子产品快速发展，集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步，当今半导体工业大多数应用的是基于硅的集成电路，集成电路在加工时通过集成电路测试仪测试，集成电路测试仪是对集成电路进行测试的专用仪器设备。集成电路测试是保证集成电路性能、质量的关键手段之一。

目前集成电路测试仪在使用过程中，测试仪设备产生的热量、以及被测试元件松动、偏动均会造成集成电路测试结果存在误差，测试仪受外界因素干扰影响较大，实用性不强。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术目前集成电路测试仪在使用过程中，测试仪设备产生的热量、以及被测试元件松动、偏动均会造成集成电路测试结果存在误差，测试仪受外界因素干扰影响较大的缺陷，提供一种用于集成电路加工用测试装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种用于集成电路加工用测试装置，包括工作台和检测台体，所述工作台的顶部固定安装有检测台体，所述检测台体和工作台之间呈凸型结构设置，所述检测台体相对两侧的工作台上设有夹持件，所述检测台体一侧的工作台上设有通风口，所述工作台远离通风口的一侧设有散热口，所述散热口内固定安装有散热风扇，所述散热口和通风口之间的检测台体内部设有散热组件，所述散热组件的顶部与检测台体的底部接触，所述工作台的顶部固定安装有防护罩，所述防护罩的一侧呈开口设置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述散热组件包括基板、散热片和散热通道，所述基板的顶部固定安装有等间距分布的散热片，相邻两个所述散热片之间形成散热通道，所述散热通道相对两端的开口分别指向散热口和通风口设置。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述散热片采用铝合金散热片，每个所述散热片上均设有等间距分布的散热孔。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述夹持件包括转角气缸、气缸座、活塞杆和下压夹板，所述检测台体相对两侧的工作台上均固定安装有转角气缸，所述转角气缸的底部固定安装有气缸座，所述转角气缸的顶部通过活塞杆与下压夹板固定安装。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述下压夹板与活塞杆之间呈L型结构设置，所述下压夹板的底部固定安装有橡胶垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述通风口的内部固定安装有防尘纱网，所述防尘纱网采用玻璃纤维纱网制成。

本实用新型所达到的有益效果是：

1、该用于集成电路加工用测试装置，结构紧凑，使用方便，通过设置在工作台上的通风口、散热口及散热风扇，能够促进工作台内部空气流通散热性能，并且在工作台的内部还安装有与检测台体接触的散热组件，检测台体发出的热量有效地传导到散热片上，再经散热片散发到周围空气中，且散热面积大，与散热风扇相互作用，进一步改善测试装置的散热性能，降低设备温度对集成电路测试精度的影响。

2、该用于集成电路加工用测试装置，通过设置在检测台体相对两侧工作台上的夹持件，利用转角气缸和下压夹板能够对检测台体上被检测的集成电路下压夹持固定，避免集成电路松动或偏动造成的测试误差，夹持简单、易行，提高测试设备的抗干扰性能，同时防护罩能够对测试设备保护，实用性更强。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的工作台的结构示意图；

图3是本实用新型的散热组件的结构示意图；

图4是本实用新型的散热片的结构示意图；

图5是本实用新型的夹持件的结构示意图。

图中：1、工作台；2、检测台体；3、夹持件；31、转角气缸；32、气缸座；33、活塞杆；34、下压夹板；4、通风口；5、散热组件；51、基板；52、散热片；53、散热通道；54、散热孔；6、散热口；7、散热风扇；8、防护罩。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

如图1-图5所示，一种用于集成电路加工用测试装置，包括工作台1和检测台体2，所述工作台1的顶部固定安装有检测台体2，所述检测台体2和工作台1之间呈凸型结构设置，所述检测台体2相对两侧的工作台1上设有夹持件3，所述检测台体2一侧的工作台1上设有通风口4，所述工作台1远离通风口4的一侧设有散热口6，所述散热口6内固定安装有散热风扇7，所述散热口6和通风口4之间的检测台体2内部设有散热组件5，所述散热组件5的顶部与检测台体2的底部接触，所述工作台1的顶部固定安装有防护罩8，所述防护罩8的一侧呈开口设置，开口为测试仪的操作口。

其中，所述散热组件5包括基板51、散热片52和散热通道53，所述基板51的顶部固定安装有等间距分布的散热片52，相邻两个所述散热片52之间形成散热通道53，所述散热通道53相对两端的开口分别指向散热口6和通风口4设置，检测台体2发出的热量有效地传导到散热片52上，再经散热片52散发到周围空气中，散热片52之间形成散热通道53，空气由散热通道53内流通，与散热风扇7相互作用，进一步改善测试装置的散热性能。

其中，所述散热片52采用铝合金散热片，每个所述散热片52上均设有等间距分布的散热孔54，增加散热片52与空气接触的散热面积，散热片52散热性能更优。

其中，所述夹持件3包括转角气缸31、气缸座32、活塞杆33和下压夹板34，所述检测台体2相对两侧的工作台1上均固定安装有转角气缸31，所述转角气缸31的底部固定安装有气缸座32，所述转角气缸31的顶部通过活塞杆33与下压夹板34固定安装，夹持件3对被检测的集成电路下压夹持固定，避免集成电路松动或偏动造成的测试误差，夹持简单、易行，提高测试设备的抗干扰性能，所述转角气缸31的型号为SRC25-90。

其中，所述下压夹板34与活塞杆33之间呈L型结构设置，所述下压夹板34的底部固定安装有橡胶垫，能够对被夹持的集成电路进行保护。

其中，所述通风口4的内部固定安装有防尘纱网，所述防尘纱网采用玻璃纤维纱网制成，防尘效果好，使用寿命长。

工作原理：使用时，待检测的集成电路由防护罩8的开口安装在检测台体2上，检测台体2相对两侧工作台1上的转角气缸31通过活塞杆33驱动下压夹板34做90°旋转并下移，利用下压夹板34对检测台体2上的集成电路下压夹持固定，测试结束后，转角气缸31通过活塞杆33驱动下压夹板34做90°旋转并上移，测试装置在使用过程中，散热风扇7工作，在散热风扇7的作用下，外部低温空气由通风口4进入工作台1，经过散热组件5由散热口6排出，能够促进工作台1内部空气流通散热性能，安装在基板51上的散热片52，检测台体2与散热组件5接触，检测台体2发出的热量有效地传导到散热片52上，再经散热片52散发到周围空气中，散热片52之间形成散热通道53，散热片52上设有散热孔54，且散热面积大，空气由散热通道53内流通，与散热风扇7相互作用，进一步改善测试装置的散热性能，降低设备温度对集成电路测试精度的影响，夹持件3对被检测的集成电路下压夹持固定，避免集成电路松动或偏动造成的测试误差，夹持简单、易行，提高测试设备的抗干扰性能，同时防护罩8能够对测试设备保护，实用性更强。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于集成电路加工用测试装置，其特征在于：包括工作台(1)和检测台体(2)，所述工作台(1)的顶部固定安装有检测台体(2)，所述检测台体(2)和工作台(1)之间呈凸型结构设置，所述检测台体(2)相对两侧的工作台(1)上设有夹持件(3)，所述检测台体(2)一侧的工作台(1)上设有通风口(4)，所述工作台(1)远离通风口(4)的一侧设有散热口(6)，所述散热口(6)内固定安装有散热风扇(7)，所述散热口(6)和通风口(4)之间的检测台体(2)内部设有散热组件(5)，所述散热组件(5)的顶部与检测台体(2)的底部接触，所述工作台(1)的顶部固定安装有防护罩(8)，所述防护罩(8)的一侧呈开口设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路加工用测试装置，其特征在于：所述散热组件(5)包括基板(51)、散热片(52)和散热通道(53)，所述基板(51)的顶部固定安装有等间距分布的散热片(52)，相邻两个所述散热片(52)之间形成散热通道(53)，所述散热通道(53)相对两端的开口分别指向散热口(6)和通风口(4)设置。

3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路加工用测试装置，其特征在于：所述散热片(52)采用铝合金散热片，每个所述散热片(52)上均设有等间距分布的散热孔(54)。

4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路加工用测试装置，其特征在于：所述夹持件(3)包括转角气缸(31)、气缸座(32)、活塞杆(33)和下压夹板(34)，所述检测台体(2)相对两侧的工作台(1)上均固定安装有转角气缸(31)，所述转角气缸(31)的底部固定安装有气缸座(32)，所述转角气缸(31)的顶部通过活塞杆(33)与下压夹板(34)固定安装。

5.根据权利要求4所述的一种用于集成电路加工用测试装置，其特征在于：所述下压夹板(34)与活塞杆(33)之间呈L型结构设置，所述下压夹板(34)的底部固定安装有橡胶垫。

6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路加工用测试装置，其特征在于：所述通风口(4)的内部固定安装有防尘纱网，所述防尘纱网采用玻璃纤维纱网制成。

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