CN213238770U - 一种半导体检测用可旋转的激光测量仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，包括箱体，所述箱体内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的顶部螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管的顶部贯穿箱体的内腔并延伸至箱体的外部，所述螺纹管的顶部固定连接有壳体，所述壳体底部的两侧均固定连接有限位杆。本实用新型通过箱体、螺纹杆、螺纹管、壳体、限位杆、第一电机、第一齿轮、第二齿轮、转杆、从动齿轮、第二电机、主动齿轮、操作台和测量仪本体的配合使用，能够有效的解决传统半导体检测用激光测量仪不具备旋转功能的问题，该装置方便对擦作台进行旋转，从而为半导体检测提供更加便捷的使用方式，同时可调节高度，易于操作。

Description

一种半导体检测用可旋转的激光测量仪

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体检测用可旋转的激光测量仪。

背景技术

半导体器件产品生产过程中，从半导体单晶片到加工成最终成品，需经历很多道工序，为了确保产品性能合格、稳定可靠，具有高成品率，根据不同半导体产品的生产情况，对所有工艺步骤都有着严格要求，因而，在生产过程中，半导体工艺检测工序必不可少，目前现有的半导体检测用激光测量仪无法有效的实现旋转的目的，从而降低了检测效果，无法满足使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，具备便于旋转的优点，解决了现有的半导体检测用激光测量仪无法有效的实现旋转的目的，从而降低了检测效果，无法满足使用需求的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，包括箱体，所述箱体内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的顶部螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管的顶部贯穿箱体的内腔并延伸至箱体的外部，所述螺纹管的顶部固定连接有壳体，所述壳体底部的两侧均固定连接有限位杆，所述限位杆的底部贯穿箱体的顶部并延伸至箱体的内腔，所述箱体内腔底部的右侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一齿轮，所述螺纹杆表面的底部固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮传动连接，所述壳体内腔的底部通过轴承活动连接有转杆，所述转杆表面的底部固定连接有从动齿轮，所述壳体内腔底部的右侧固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮传动连接，所述转杆的顶部贯穿至壳体的外部，所述壳体的顶部固定连接有操作台，所述转杆的顶部与操作台的底部固定连接，所述壳体顶部的左侧固定连接有测量仪本体。

优选的，所述箱体内腔两侧的顶部均固定连接有限位套，所述限位杆的表面与限位套活动连接。

优选的，所述箱体底部的两侧均固定连接有支撑柱，两个支撑柱的底部固定连接有底板。

优选的，所述箱体表面的左侧固定连接有控制器，所述控制器通过导线分别与第一电机和第二电机电性连接。

优选的，所述螺纹管的内壁设置有内螺纹，所述螺纹杆的表面设置有与内螺纹相适配的外螺纹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过箱体、螺纹杆、螺纹管、壳体、限位杆、第一电机、第一齿轮、第二齿轮、转杆、从动齿轮、第二电机、主动齿轮、操作台和测量仪本体的配合使用，能够有效的解决传统半导体检测用激光测量仪不具备旋转功能的问题，该装置方便对擦作台进行旋转，从而为半导体检测提供更加便捷的使用方式，同时可调节高度，易于操作。

2、本实用新型通过设置限位套，能够对限位杆进行限位，从而保证了壳体的稳定性，通过设置支撑柱和底板，能够对该装置起到支撑作用，进一步加强装置的稳定性，通过设置控制器，能够实现对第一电机和第二电机的控制作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型箱体内部结构的剖视示意图；

图3为本实用新型壳体内部结构的剖视示意图。

图中：1、箱体；2、螺纹杆；3、螺纹管；4、壳体；5、限位杆；6、第一电机；7、第一齿轮；8、第二齿轮；9、转杆；10、从动齿轮；11、第二电机；12、主动齿轮；13、操作台；14、测量仪本体；15、限位套；16、支撑柱；17、底板；18、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型所采用的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

请参阅图1-3，一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，包括箱体1，箱体1内腔两侧的顶部均固定连接有限位套15，限位杆5的表面与限位套15活动连接，箱体1底部的两侧均固定连接有支撑柱16，两个支撑柱16的底部固定连接有底板17，箱体1表面的左侧固定连接有控制器18，控制器18通过导线分别与第一电机6和第二电机11电性连接，箱体1内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆2，螺纹杆2的顶部螺纹连接有螺纹管3，螺纹管3的内壁设置有内螺纹，螺纹杆2的表面设置有与内螺纹相适配的外螺纹，螺纹管3的顶部贯穿箱体1的内腔并延伸至箱体1的外部，螺纹管3的顶部固定连接有壳体4，壳体4底部的两侧均固定连接有限位杆5，限位杆5的底部贯穿箱体1的顶部并延伸至箱体1的内腔，箱体1内腔底部的右侧固定连接有第一电机6，第一电机6的输出端固定连接有第一齿轮7，螺纹杆2表面的底部固定连接有第二齿轮8，第二齿轮8与第一齿轮7传动连接，壳体4内腔的底部通过轴承活动连接有转杆9，转杆9表面的底部固定连接有从动齿轮10，壳体4内腔底部的右侧固定连接有第二电机11，第二电机11的输出端固定连接有主动齿轮12，主动齿轮12与从动齿轮10传动连接，转杆9的顶部贯穿至壳体4的外部，壳体4的顶部固定连接有操作台13，转杆9的顶部与操作台13的底部固定连接，壳体4顶部的左侧固定连接有测量仪本体14，通过设置限位套15，能够对限位杆5进行限位，从而保证了壳体4的稳定性，通过设置支撑柱16和底板17，能够对该装置起到支撑作用，进一步加强装置的稳定性，通过设置控制器18，能够实现对第一电机6和第二电机11的控制作用，通过箱体1、螺纹杆2、螺纹管3、壳体4、限位杆5、第一电机6、第一齿轮7、第二齿轮8、转杆9、从动齿轮10、第二电机11、主动齿轮12、操作台13和测量仪本体14的配合使用，能够有效的解决传统半导体检测用激光测量仪不具备旋转功能的问题，该装置方便对擦作台进行旋转，从而为半导体检测提供更加便捷的使用方式，同时可调节高度，易于操作。

使用时，工作人员通过控制器18启动第一电机6，第一电机6带动第一齿轮7转动，第一齿轮7带动第二齿轮8转动，第二齿轮8带动螺纹杆2转动，螺纹杆2带动螺纹管3上升，螺纹管3带动壳体4上升，从而实现对操作台13的升高，根据工作人员的使用需求进行检测工作，通过控制器18启动第二电机11，第二电机11带动主动齿轮12转动，主动齿轮12带动从动齿轮10转动，从动齿轮10带动转杆9转动，转杆9带动操作台13旋转，从而带动操作台13上的半导体器件进行旋转。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内腔底部的轴心处通过轴承活动连接有螺纹杆（2），所述螺纹杆（2）的顶部螺纹连接有螺纹管（3），所述螺纹管（3）的顶部贯穿箱体（1）的内腔并延伸至箱体（1）的外部，所述螺纹管（3）的顶部固定连接有壳体（4），所述壳体（4）底部的两侧均固定连接有限位杆（5），所述限位杆（5）的底部贯穿箱体（1）的顶部并延伸至箱体（1）的内腔，所述箱体（1）内腔底部的右侧固定连接有第一电机（6），所述第一电机（6）的输出端固定连接有第一齿轮（7），所述螺纹杆（2）表面的底部固定连接有第二齿轮（8），所述第二齿轮（8）与第一齿轮（7）传动连接，所述壳体（4）内腔的底部通过轴承活动连接有转杆（9），所述转杆（9）表面的底部固定连接有从动齿轮（10），所述壳体（4）内腔底部的右侧固定连接有第二电机（11），所述第二电机（11）的输出端固定连接有主动齿轮（12），所述主动齿轮（12）与从动齿轮（10）传动连接，所述转杆（9）的顶部贯穿至壳体（4）的外部，所述壳体（4）的顶部固定连接有操作台（13），所述转杆（9）的顶部与操作台（13）的底部固定连接，所述壳体（4）顶部的左侧固定连接有测量仪本体（14）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述箱体（1）内腔两侧的顶部均固定连接有限位套（15），所述限位杆（5）的表面与限位套（15）活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述箱体（1）底部的两侧均固定连接有支撑柱（16），两个支撑柱（16）的底部固定连接有底板（17）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述箱体（1）表面的左侧固定连接有控制器（18），所述控制器（18）通过导线分别与第一电机（6）和第二电机（11）电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用可旋转的激光测量仪，其特征在于：所述螺纹管（3）的内壁设置有内螺纹，所述螺纹杆（2）的表面设置有与内螺纹相适配的外螺纹。

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