CN213212124U - 一种cob固晶机 - Google Patents

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曾逸
卓维煌
刘耀金
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Shenzhen Zhuoxing Semiconductor Technology Co ltd
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Abstract

本实用新型提供了一种COB固晶机,包括机座、固晶工作台、固晶工作台运动机构、X轴直线运动机构、可实现直线运动及旋转运动的固晶头、晶圆盘和晶圆盘运动机构,所述固晶工作台安装在所述固晶工作台运动机构上,所述固晶工作台运动机构安装在所述机座上,所述固晶头安装在所述X轴直线运动机构上,所述X轴直线运动机构安装在所述机座上,所述晶圆盘安装在所述晶圆盘运动机构,所述晶圆盘运动机构安装在所述机座上,所述X轴直线运动机构上设有检测取晶圆位置的取晶影像检测机构,所述机座上设有将晶圆盘上晶圆顶出的顶针机构。本实用新型的有益效果是:提高了固晶的生产效率。

Description

一种COB固晶机
技术领域
本实用新型涉及固晶机,尤其涉及一种COB固晶机。
背景技术
LED固晶机是专业针对LED产品固晶的机型,采用电脑控制,配有图像传感系统,先由图像传感器进行扫描,确定正确路径,然后输入设置好的编程程式,轻松按下按钮,即可实现整个工作流程:先把需要固晶的产品固定在治具上面,点上红胶,通过吸嘴吸取LED晶片,再把LED晶片固定在产品上面。需要注意的是,固晶后的产品最好在1到2个小时内完成固化。
COB技术是一门新兴的LED封装技术,和传统的SMD正封装技术不同,它是倒装技术,直接将发光芯片焊接到PCB。随着LED晶圆尺寸变小,同样PCB面积的灯珠数更多,在刷完锡膏后需要尽快固晶完毕。COB技术提高了屏幕分辨率、可靠性,以及高色彩还原度。
现有的COB固晶机的生产效率较低、摆放精度不够高。
发明内容
为了解决现有技术中的问题,本实用新型提供了一种高生产效率的COB固晶机与COB固晶方法。
本实用新型提供了一种COB固晶机,包括机座、固晶工作台、固晶工作台运动机构、X轴直线运动机构、可实现直线运动及旋转运动的固晶头、晶圆盘和晶圆盘运动机构,所述固晶工作台安装在所述固晶工作台运动机构上,所述固晶工作台运动机构安装在所述机座上,所述固晶头安装在所述X轴直线运动机构上,所述X轴直线运动机构安装在所述机座上,所述晶圆盘安装在所述晶圆盘运动机构,所述晶圆盘运动机构安装在所述机座上,所述X轴直线运动机构上设有检测取晶圆位置的取晶影像检测机构,所述机座上设有将晶圆盘上晶圆顶出的顶针机构,所述机座上设有检测固晶头吸取到的晶圆的位置偏差的晶圆校正影像检测机构,所述X轴直线运动机构上设有检测固晶位置的固晶影像检测机构。
作为本实用新型的进一步改进,所述固晶工作台的左右两侧设有可调固晶台夹具。
作为本实用新型的进一步改进,所述可调固晶台夹具包括左夹具挡板和右夹具挡板,所述左夹具挡板、右夹具挡板分别安装在可以沿X轴左右移动的调节滑块上。
作为本实用新型的进一步改进,所述固晶工作台运动机构为X、Y轴直线运动机构。
作为本实用新型的进一步改进,所述晶圆盘运动机构为X、Y轴直线运动机构。
作为本实用新型的进一步改进,所述晶圆盘至少有两个,构成晶圆盘组,所述晶圆盘分布在所述固晶工作台的左右两边,所述固晶头至少有两个并分布在所述固晶工作台的左右两边。
作为本实用新型的进一步改进,所述固晶头包括直线升降运动机构和进行角度校正的旋转机构。
作为本实用新型的进一步改进,所述晶圆盘运动机构上设有晶圆环,所述晶圆盘安装在所述晶圆环上。
本实用新型的有益效果是:通过上述方案,提高了固晶的生产效率。
附图说明
图1是本实用新型一种COB固晶机的示意图。
图2是本实用新型一种COB固晶机的布局图。
图3是本实用新型一种COB固晶机的可调固晶台夹具的示意图。
图4是本实用新型一种COB固晶机的固晶头的示意图。
图5是本实用新型一种COB固晶机的顶针机构的示意图。
具体实施方式
下面结合附图说明及具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
如图1至图5所示,一种COB固晶机,包括机座1、固晶工作台2、固晶工作台运动机构3、X轴直线运动机构4、可实现直线运动及旋转运动的固晶头5、晶圆盘8和晶圆盘运动机构6,所述固晶工作台2安装在所述固晶工作台运动机构3上,所述固晶工作台运动机构3安装在所述机座1上,所述固晶头5安装在所述X轴直线运动机构4上,所述X轴直线运动机构4安装在所述机座1上,所述晶圆盘8安装在所述晶圆盘运动机构6,所述晶圆盘运动机构6安装在所述机座1上,所述X轴直线运动机构4上设有检测取晶圆位置的取晶影像检测机构10,所述机座1上设有将晶圆盘8上晶圆顶出的顶针机构9,所述机座1上设有检测固晶头5吸取到的晶圆的位置偏差的晶圆校正影像检测机构11,所述X轴直线运动机构4上设有检测固晶位置的固晶影像检测机构12。
所述固晶工作台2的左右两侧设有可调固晶台夹具。
所述可调固晶台夹具包括左夹具挡板13和右夹具挡板14,所述左夹具挡板13、右夹具挡板14分别安装在可以沿X轴左右移动的调节滑块上,确保左夹具挡板13、右夹具挡板14能够平稳的左右移动,可以对固晶工作台2可适应的产品宽度进行调整,最大支持600mm宽度的产品,长度可以依据产品的具体尺寸进行制作,本实用新型可调固晶台夹具长度为1200mm。
所述固晶工作台运动机构3为X、Y轴直线运动机构。
所述晶圆盘运动机构6为X、Y轴直线运动机构。
所述晶圆盘8至少有两个并分布在所述固晶工作台2的左右两边,所述固晶头5至少有两个并分布在所述固晶工作台2的左右两边。
所述固晶头5包括直线升降运动机构和进行角度校正的旋转机构。
所述晶圆盘运动机构6上设有晶圆环7,所述晶圆盘8安装在所述晶圆环7上。
固晶头5配合安装的直线运动机构4,可实现3轴运动:左右、上下、旋转,上下运动时可通过感知驱动电流的变化从而实现压力控制,能够更好的保护晶圆。旋转运动能够实现晶圆角度的校正,确保固晶位置的准确性。
一种COB固晶方法,采用如上述中任一项所述的COB固晶机对基板进行固晶。
固晶过程包括:通过取晶影像检测机构10确定晶圆位置,固晶头5通过X轴直线运动机构4运动到取晶影像检测机构10提供的晶圆位置,顶针机构9刺破蓝膜,将晶圆顶出,固晶头5吸取晶圆,通过晶圆校正影像检测机构11获得固晶头5吸取的晶圆的位置偏差,固晶头5根据该位置偏差做旋转运动进行角度校正,固晶工作台运动机构3则根据该位置偏差驱动固晶工作台2进行XY方向的位置校正,通过固晶影像检测机构12检测基板上的固晶位置,固晶头5根据该固晶位置进行固晶,此过程中,对固晶头5上的晶粒位置以及固晶工作台2位置进行实时跟踪和调整。确保固晶位置精度,确保固晶良率。
所述固晶头固晶的过程中,所述固晶头采用力矩控制实现固晶,通过实时监测所述固晶头力矩的变化来判断是否完成固晶,传统的固晶机采用的是距离控制,即走固定距离即认为固晶完成,如果面板稍有变形,将会导致行程不足或者行程过冲,这将导致固晶不稳或者压碎晶圆。本实用新型采用力矩控制实现固晶,通过实时监测力矩的变化来判断是否固晶完成,可以实时微调固晶距离,降低固晶不稳或者压坏晶圆的现象出现的概率。
本实用新型所述固晶机是由一个固晶工作台2,2个或者4个固晶头5,一个或多个晶圆盘8构成,2个或者4个固晶头5将晶圆盘8中晶圆按某一种混打方法对一块基板(PCB)进行固晶,基板尺寸最大可到1200mmX600mm,并且通过对晶粒在吸嘴上的位置进行调整,同时对固晶力度进行控制,能够大大提高固晶良品率,有效推动此类产品量产,其特点有:
1、多个晶圆盘8分布在固晶工作台2的两边;晶圆环7对称分布,单个晶圆环7可以有一个或多个晶圆盘8,单个晶圆环7最多可同时放置3个晶圆盘8。
2、单个晶圆环7用同一组精密直线电机驱动,可以实现不同晶圆盘切换。
3、支持多个固晶头5(1个,2个,3个,4个)同时固晶,根据需要安装选用不同数量固晶头,可以有效提高效率。
4、每个固晶头5采有独有的结构设计,可以实现角度和力矩的控制,确保固晶位置的准确度,有效提高固晶的良品率。
5、采用直线电机控制固晶头5,有别于摆臂式固晶,实现固晶头的直线运动,从而避免因为摆动造成的晶粒位置偏移,可以有效提高固晶的良品率。
6、固晶头5从晶圆盘8吸取晶粒后,通过影像计算固晶头5吸取晶圆的偏摆位置,实现实时的晶粒角度和固晶位置修正,可以有效提高固晶良率。
7、固定的取晶和固晶影像,实现固定的取晶和固晶距离,有效保证了取晶和固晶的重复精度。提高固晶良率。
8、全新的固晶工作台夹具设计,夹紧尺寸可调,可以适应不同尺寸的产品,可以支持1200mmX600MM以内尺寸可以调整的产品。
9、可以布置一个固晶工作台2并在其正面及反面的左右对称安装两组固晶头5和晶圆盘8,左右前后的固晶头5的工作流程一致,并且独立驱动控制,确保左右固晶头同时工作而互不干涉,确保固晶位置精度和良率,同时最大限度的提高效率。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明,不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种COB固晶机,其特征在于:包括机座、固晶工作台、固晶工作台运动机构、X轴直线运动机构、可实现直线运动及旋转运动的固晶头、晶圆盘和晶圆盘运动机构,所述固晶工作台安装在所述固晶工作台运动机构上,所述固晶工作台运动机构安装在所述机座上,所述固晶头安装在所述X轴直线运动机构上,所述X轴直线运动机构安装在所述机座上,所述晶圆盘安装在所述晶圆盘运动机构,所述晶圆盘运动机构安装在所述机座上,所述X轴直线运动机构上设有检测取晶圆位置的取晶影像检测机构,所述机座上设有将晶圆盘上晶圆顶出的顶针机构,所述机座上设有检测固晶头吸取到的晶圆的位置偏差的晶圆校正影像检测机构,所述X轴直线运动机构上设有检测固晶位置的影像检测机构, 所述固晶头包括直线升降运动机构和进行角度校正的旋转机构,所述晶圆盘运动机构上设有晶圆环,所述晶圆盘安装在所述晶圆环上。
2.根据权利要求1所述的COB固晶机,其特征在于:所述固晶工作台的左右两侧设有可调固晶台夹具。
3.根据权利要求2所述的COB固晶机,其特征在于:所述可调固晶台夹具包括左夹具挡板和右夹具挡板,所述左夹具挡板、右夹具挡板分别安装在可以沿X轴左右移动的调节滑块上。
4.根据权利要求1所述的COB固晶机,其特征在于:所述晶圆盘至少有两个并分布在所述固晶工作台的左右两边,所述固晶头至少有两个并分布在所述固晶工作台的左右两边。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114141669A (zh) * 2021-11-30 2022-03-04 深圳市卓兴半导体科技有限公司 针刺式固晶机

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