CN213194938U - 一种半导体加工用废料收集设备 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 28
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 5
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 1
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- Cleaning In General (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种半导体加工用废料收集设备，包括筒体、移动座、第一夹板、第二夹板、清扫杆、第一移动组件、第二移动组件、调节组件、驱动组件、第一连接板和第二连接板，在筒体的两端开口处分别固定连接有第一连接板、第二连接板，在所述第一连接板一侧的筒体内部通过驱动组件转动安装有第一夹板，在所述第二连接板一侧的筒体内部通过调节组件移动设置有第二夹板。本实用新型的有益效果是：能够在筒体内部往复移动清扫杆，对筒体内部产生的废料进行清扫收集，配合筒体两端下部的两组排废管能够较为方便的对废料进行排出，同时固定管能够在废料清扫时对筒体内部进行喷液，提高清洁程度，清扫较为方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种废料收集装置，具体为一种半导体加工用废料收集设备，属于半导体加工技术领域。
背景技术
半导体材料指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等。
在半导体的制造过程中，需要对其进行打磨抛光，然而目前的打磨抛光机在此过程中，其固定装置在对不同大小材料进行固定夹持时调节不便，此外，在打磨抛光后会有大量废料，废料的收集较为不便。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种半导体加工用废料收集设备，能够适应不同尺寸的半导体的夹持，能够在筒体内部往复移动清扫杆，对筒体内部产生的废料进行清扫收集，配合筒体两端下部的两组排废管能够较为方便的对废料进行排出，同时固定管的设计不仅能够提高移动座移动的稳定性，又能够在废料清扫时对筒体内部进行喷液，提高清洁程度，清扫较为方便。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种半导体加工用废料收集设备，包括筒体、移动座、第一夹板、第二夹板、清扫杆、第一移动组件、第二移动组件、调节组件、驱动组件、第一连接板和第二连接板，所述筒体呈卧式放置，在筒体前侧上部铰接有开关门，在筒体的两端开口处分别固定连接有第一连接板、第二连接板，在所述第一连接板一侧的筒体内部通过驱动组件转动安装有第一夹板，在所述第二连接板一侧的筒体内部通过调节组件移动设置有第二夹板,第一夹板和第二夹板之间夹持有半导体，第一夹板和第二夹板相对面上均固定有橡胶顶块；
在所述半导体上方通过第一移动组件移动设置有打磨块，第一移动组件包括第一螺纹杆和移动座，打磨块固定在电动伸缩杆的伸缩端，电动伸缩杆固定安装在移动座上；
与所述筒体下部内部间隔设置有呈弧形的清扫杆,清扫杆上固定有与筒体内壁相接的刷毛，清扫杆连接有第一连接板和第二连接板之间设置的第二移动组件；
在筒体连接第一连接板、第二连接板的两端下部连接有排废管，用于支撑筒体的支腿固定在筒体底部。
优选的，所述驱动组件包括第二电机、第一支杆、第一安装板和驱动转轴，所述驱动转轴的中段通过轴承转动连接在第一连接板的中心，所述驱动转轴处于筒体内部的一端固定连接在第一夹板上，所述驱动转轴处于筒体外部的一端通过轴承转动连接在第一安装板上，且穿过第一安装板固定连接有第一安装板上固定的第二电机的机轴，所述第一安装板通过第一支杆固定连接第一连接板。
优选的，为了调节第一夹板与第二夹板的间距以适应不同尺寸的半导体，所述调节组件包括螺纹套管、第二螺纹杆、第二安装板和第四电机，所述螺纹套管滑动穿过第二连接板的中心，所述螺纹套管处于筒体内部的一端通过轴承转动连接在第二夹板的中心，所述螺纹套管处于筒体外部的一端螺纹套置在第二螺纹杆的一端外部，所述第二螺纹杆的另一端通过轴承转动连接在第二安装板上，且穿过第二安装板固定连接有第二安装板上固定的第四电机的机轴，所述第二安装板通过第二支杆固定连接第二连接板。
优选的，为了限制螺纹套管不跟随第二螺纹杆转动，在螺纹套管处于筒体外部的一端上还固定套置有移动板，滑动穿过移动板设置有与第二螺纹杆平行的保持杆,保持杆一端固定连接在第二连接板外侧壁上，保持杆另一端固定连接在第二安装板上。
优选的，所述第一螺纹杆螺纹穿过移动座,第一螺纹杆的两端分别通过轴承转动连接在第一连接板、第二连接板上，且连接第二连接板的一端穿过第二连接板固定连接第二连接板上固定的第三电机的机轴，与所述第一螺纹杆平行设置有滑动穿过移动座的固定管,固定管的一端固定连接在第二连接板上，另一端穿过第一连接板与第一连接板外侧的清洗液管连通，在固定管下部开设有多个喷液孔，喷液孔喷液呈发散状。
优选的，为了实现清扫杆的往复移动清扫，所述第二移动组件包括往复螺杆和第一电机，所述往复螺杆的两端分别通过轴承转动连接在第一连接板、第二连接板上，且一端穿过第一连接板固定连接有第一连接板上固定的第一电机的机轴，在往复螺杆上套置有螺杆套，清扫杆的一端固定套置在螺杆套上，与往复螺杆平行设置的限制杆滑动穿过清扫杆的固定连接第一连接板、第二连接板。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过调节组件的设计，能够较为方便的对第二夹板的位置进行调节，以适应不同尺寸的半导体的夹持，通过第二移动组件的设计，能够通过第一电机的驱动在筒体内部往复移动清扫杆，对筒体内部产生的废料进行清扫收集，配合筒体两端下部的两组排废管能够较为方便的对废料进行排出，同时固定管的设计不仅能够提高移动座移动的稳定性，又能够在废料清扫时对筒体内部进行喷液，提高清洁程度，清扫较为方便。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的清扫杆结构示意图；
图3为本实用新型的固定管结构示意图；
图4为本实用新型的移动板和第二支杆结构示意图。
图中：1、清洗液管，2、第一支杆，3、第一电机，4、第二电机，5、驱动转轴,6、第一安装板,7、第一夹板,8、清扫杆,9、第一连接板,10、移动座，11、固定管,12、第一螺纹杆,13、筒体，14、半导体，15、往复螺杆，16、第三电机，18、第二安装板，19、第四电机，20、第二螺纹杆，21、保持杆，22、第二支杆，23、螺纹套管，24、移动板，25、第二夹板，26、第二连接板，27、开关门。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4所示，一种半导体加工用废料收集设备，包括筒体13、移动座10、第一夹板7、第二夹板25、清扫杆8、第一移动组件、第二移动组件、调节组件、驱动组件、第一连接板9和第二连接板26，所述筒体13呈卧式放置，在筒体13前侧上部铰接有开关门27，在筒体13的两端开口处分别固定连接有第一连接板9、第二连接板26，在所述第一连接板9一侧的筒体13内部通过驱动组件转动安装有第一夹板7，在所述第二连接板26一侧的筒体13内部通过调节组件移动设置有第二夹板25,第一夹板7和第二夹板25之间夹持有半导体14，第一夹板7和第二夹板25相对面上均固定有橡胶顶块；
在所述半导体14上方通过第一移动组件移动设置有打磨块，第一移动组件包括第一螺纹杆12和移动座10，打磨块固定在电动伸缩杆的伸缩端，电动伸缩杆固定安装在移动座10上；
与所述筒体13下部内部间隔设置有呈弧形的清扫杆8,清扫杆8上固定有与筒体13内壁相接的刷毛，清扫杆8连接有第一连接板9和第二连接板26之间设置的第二移动组件；
在筒体13连接第一连接板9、第二连接板26的两端下部连接有排废管，用于支撑筒体13的支腿固定在筒体13底部。
作为本实用新型的一种技术优化方案，所述驱动组件包括第二电机4、第一支杆2、第一安装板6和驱动转轴5，所述驱动转轴5的中段通过轴承转动连接在第一连接板9的中心，所述驱动转轴5处于筒体13内部的一端固定连接在第一夹板7上，所述驱动转轴5处于筒体13外部的一端通过轴承转动连接在第一安装板6上，且穿过第一安装板6固定连接有第一安装板6上固定的第二电机4的机轴，所述第一安装板6通过第一支杆2固定连接第一连接板9。
作为本实用新型的一种技术优化方案，所述调节组件包括螺纹套管23、第二螺纹杆20、第二安装板18和第四电机19，所述螺纹套管23滑动穿过第二连接板26的中心，所述螺纹套管23处于筒体13内部的一端通过轴承转动连接在第二夹板25的中心，所述螺纹套管23处于筒体13外部的一端螺纹套置在第二螺纹杆20的一端外部，所述第二螺纹杆20的另一端通过轴承转动连接在第二安装板18上，且穿过第二安装板18固定连接有第二安装板18上固定的第四电机19的机轴，所述第二安装板18通过第二支杆22固定连接第二连接板26。
作为本实用新型的一种技术优化方案，在螺纹套管23处于筒体13外部的一端上还固定套置有移动板24，滑动穿过移动板24设置有与第二螺纹杆20平行的保持杆21,保持杆21一端固定连接在第二连接板26外侧壁上，保持杆21另一端固定连接在第二安装板18上。
作为本实用新型的一种技术优化方案，所述第一螺纹杆12螺纹穿过移动座10,第一螺纹杆12的两端分别通过轴承转动连接在第一连接板9、第二连接板26上，且连接第二连接板26的一端穿过第二连接板26固定连接第二连接板26上固定的第三电机16的机轴，与所述第一螺纹杆12平行设置有滑动穿过移动座10的固定管11,固定管11的一端固定连接在第二连接板26上，另一端穿过第一连接板9与第一连接板9外侧的清洗液管1连通，在固定管11下部开设有多个喷液孔，喷液孔喷液呈发散状。
作为本实用新型的一种技术优化方案，所述第二移动组件包括往复螺杆15和第一电机3，所述往复螺杆15的两端分别通过轴承转动连接在第一连接板9、第二连接板26上，且一端穿过第一连接板9固定连接有第一连接板9上固定的第一电机3的机轴，在往复螺杆15上套置有螺杆套，清扫杆8的一端固定套置在螺杆套上，与往复螺杆15平行设置的限制杆滑动穿过清扫杆8的固定连接第一连接板9、第二连接板26。
本实用新型在使用时，打开开关门27，将半导体14放入筒体13内部，通过第四电机19带动第二螺纹杆20转动，相对第二螺纹杆20移动螺纹套管23，进而带动第二夹板25移动，配合第一夹板7对半导体14进行夹持，橡胶顶块能够起到一定的缓冲作用，防止硬性夹持，在夹持固定后通过第三电机16带动第一螺纹杆12转动在第一螺纹杆12上移动移动座10，进而移动电动伸缩杆伸缩端上的打磨块，对半导体14进行打磨，打磨结束后取出半导体14，通过第一电机3带动往复螺杆15转动，相对往复螺杆15往复移动清扫杆8，利用清扫杆8进行清扫，同时从清洗液管1向固定管11中通入清洗液，清洗液向下喷洒，提高清洁程度，废料通过筒体13两端下部的两排废管排出并被收集。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种半导体加工用废料收集设备，包括筒体(13)、移动座(10)、第一夹板(7)、第二夹板(25)、清扫杆(8)、第一移动组件、第二移动组件、调节组件、驱动组件、第一连接板(9)和第二连接板(26)，其特征在于：所述筒体(13)呈卧式放置，在筒体(13)前侧上部铰接有开关门(27)，在筒体(13)的两端开口处分别固定连接有第一连接板(9)、第二连接板(26)，在所述第一连接板(9)一侧的筒体(13)内部通过驱动组件转动安装有第一夹板(7)，在所述第二连接板(26)一侧的筒体(13)内部通过调节组件移动设置有第二夹板(25),第一夹板(7)和第二夹板(25)之间夹持有半导体(14)，第一夹板(7)和第二夹板(25)相对面上均固定有橡胶顶块；
在所述半导体(14)上方通过第一移动组件移动设置有打磨块，第一移动组件包括第一螺纹杆(12)和移动座(10)，打磨块固定在电动伸缩杆的伸缩端，电动伸缩杆固定安装在移动座(10)上；
与所述筒体(13)下部内部间隔设置有呈弧形的清扫杆(8),清扫杆(8)上固定有与筒体(13)内壁相接的刷毛，清扫杆(8)连接有第一连接板(9)和第二连接板(26)之间设置的第二移动组件；
在筒体(13)连接第一连接板(9)、第二连接板(26)的两端下部连接有排废管，用于支撑筒体(13)的支腿固定在筒体(13)底部。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用废料收集设备，其特征在于：所述驱动组件包括第二电机(4)、第一支杆(2)、第一安装板(6)和驱动转轴(5)，所述驱动转轴(5)的中段通过轴承转动连接在第一连接板(9)的中心，所述驱动转轴(5)处于筒体(13)内部的一端固定连接在第一夹板(7)上，所述驱动转轴(5)处于筒体(13)外部的一端通过轴承转动连接在第一安装板(6)上，且穿过第一安装板(6)固定连接有第一安装板(6)上固定的第二电机(4)的机轴，所述第一安装板(6)通过第一支杆(2)固定连接第一连接板(9)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用废料收集设备，其特征在于：所述调节组件包括螺纹套管(23)、第二螺纹杆(20)、第二安装板(18)和第四电机(19)，所述螺纹套管(23)滑动穿过第二连接板(26)的中心，所述螺纹套管(23)处于筒体(13)内部的一端通过轴承转动连接在第二夹板(25)的中心，所述螺纹套管(23)处于筒体(13)外部的一端螺纹套置在第二螺纹杆(20)的一端外部，所述第二螺纹杆(20)的另一端通过轴承转动连接在第二安装板(18)上，且穿过第二安装板(18)固定连接有第二安装板(18)上固定的第四电机(19)的机轴，所述第二安装板(18)通过第二支杆(22)固定连接第二连接板(26)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体加工用废料收集设备，其特征在于：在螺纹套管(23)处于筒体(13)外部的一端上还固定套置有移动板(24)，滑动穿过移动板(24)设置有与第二螺纹杆(20)平行的保持杆(21),保持杆(21)一端固定连接在第二连接板(26)外侧壁上，保持杆(21)另一端固定连接在第二安装板(18)上。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用废料收集设备，其特征在于：所述第一螺纹杆(12)螺纹穿过移动座(10),第一螺纹杆(12)的两端分别通过轴承转动连接在第一连接板(9)、第二连接板(26)上，且连接第二连接板(26)的一端穿过第二连接板(26)固定连接第二连接板(26)上固定的第三电机(16)的机轴，与所述第一螺纹杆(12)平行设置有滑动穿过移动座(10)的固定管(11),固定管(11)的一端固定连接在第二连接板(26)上，另一端穿过第一连接板(9)与第一连接板(9)外侧的清洗液管(1)连通，在固定管(11)下部开设有多个喷液孔，喷液孔喷液呈发散状。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用废料收集设备，其特征在于：所述第二移动组件包括往复螺杆(15)和第一电机(3)，所述往复螺杆(15)的两端分别通过轴承转动连接在第一连接板(9)、第二连接板(26)上，且一端穿过第一连接板(9)固定连接有第一连接板(9)上固定的第一电机(3)的机轴，在往复螺杆(15)上套置有螺杆套，清扫杆(8)的一端固定套置在螺杆套上，与往复螺杆(15)平行设置的限制杆滑动穿过清扫杆(8)的固定连接第一连接板(9)、第二连接板(26)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021881127.6U CN213194938U (zh) | 2020-09-01 | 2020-09-01 | 一种半导体加工用废料收集设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021881127.6U CN213194938U (zh) | 2020-09-01 | 2020-09-01 | 一种半导体加工用废料收集设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213194938U true CN213194938U (zh) | 2021-05-14 |
Family
ID=75843272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021881127.6U Expired - Fee Related CN213194938U (zh) | 2020-09-01 | 2020-09-01 | 一种半导体加工用废料收集设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213194938U (zh) |
-
2020
- 2020-09-01 CN CN202021881127.6U patent/CN213194938U/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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