CN213122601U

CN213122601U - 一种曝光机

Info

Publication number: CN213122601U
Application number: CN202022392983.1U
Authority: CN
Inventors: 周超; 陈国军; 吴景舟; 马迪
Original assignee: Jiangsu Desheng Intelligent Technology Co ltd
Current assignee: Jiangsu Desheng Intelligent Technology Co ltd
Priority date: 2020-10-23
Filing date: 2020-10-23
Publication date: 2021-05-04
Anticipated expiration: 2030-10-23

Abstract

本实用新型公开一种曝光机，包括：基架，所述基架上设有物体放置部，所述物体放置部和安装基面呈角度设置；曝光光源件，其包括曝光光源基体和曝光移动模组，所述曝光移动模组包括Z轴移动模组，所述Z轴移动模组设于所述基架上且连接于所述曝光光源基体，Z轴为沿所述物体放置部的高度方向，其中所述Z轴移动模组包括第一电机丝杠组件和同步传动组件，所述第一电机丝杠组件包括第一电机和多个第一丝杠，所述第一丝杠通过所述同步传动组件连接于所述第一电机，所述第一丝杠连接于所述曝光光源基体。此结构的一种曝光机，通过同步传动组件进行同步传送，避免了多个第一电机分别驱动第一丝杠而导致运行不同步的情况出现，确保了第一丝杠的同步运行。

Description

一种曝光机

技术领域

本实用新型涉及曝光技术领域，具体涉及一种曝光机。

背景技术

曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或者其他头体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，其广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。

现有技术公开了一种曝光机，其通过多个电机驱动曝光光源件进行同向的曝光运动，但是由于电子控制、电机运行等出现偏差而会导致多个电机出现运行不同步的情况，从而导致连接电机和曝光光源件的部分部件发生损坏，而无法继续进行曝光。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的曝光机中的多个电机运行不同步而导致部分部件发生损坏而无法继续进行曝光的缺陷，从而提供一种曝光机。

一种曝光机，包括：

基架，所述基架上设有物体放置部，所述物体放置部和安装基面呈角度设置；

曝光光源件，其包括曝光光源基体和曝光移动模组，所述曝光移动模组包括Z轴移动模组，所述Z轴移动模组设于所述基架上且连接于所述曝光光源基体，Z轴为沿所述物体放置部的高度方向，其中所述Z轴移动模组包括第一电机丝杠组件和同步传动组件，所述第一电机丝杠组件包括第一电机和多个第一丝杠，所述第一丝杠通过所述同步传动组件连接于所述第一电机，所述第一丝杠连接于所述曝光光源基体。

进一步地，所述同步传动组件为同步带传动组件或者齿轮传动组件或者涡轮蜗杆传动组件或者链条传动组件。

进一步地，所述同步传动组件为同步带传动组件，所述同步带传动组件设置有多组且和所述第一丝杠一一对应设置，不同组的所述同步带传动组件的至少一个带轮同轴连接于所述第一电机。

进一步地，所述同步带传动组件还包括张紧件，所述张紧件固连于所述基架，且抵接于所述同步带传动组件的同步带。

进一步地，所述张紧件包括多个张紧轮，所述同步带的内外两侧均设有所述张紧轮。

进一步地，所述曝光移动模组还包括Y轴移动模组，所述Y轴移动模组连接于所述Z轴移动模组，且连接于所述曝光光源基体，其中Y轴为沿所述物体放置部的长度方向。

进一步地，所述Y轴移动模组为第二电机移动模组或者气缸移动模组。

进一步地，所述曝光光源基体包括曝光光源本体和曝光光源基座，所述曝光光源基座连接于所述Y轴移动模组，所述曝光光源本体设于所述曝光光源基座上。

进一步地，所述曝光光源基体还包括X轴移动模组，所述曝光光源本体通过所述X轴移动模组连接于所述曝光光源基座，其中X轴为沿所述物体放置部的宽度方向。

进一步地，所述X轴移动模组为第三电机移动模组或者气缸移动模组。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的一种曝光机，包括：基架，所述基架上设有物体放置部，所述物体放置部和安装基面呈角度设置；曝光光源件，其包括曝光光源基体和曝光移动模组，所述曝光移动模组包括Z轴移动模组，所述Z 轴移动模组设于所述基架上且连接于所述曝光光源基体，Z轴为沿所述物体放置部的高度方向，其中所述Z轴移动模组包括第一电机丝杠组件和同步传动组件，所述第一电机丝杠组件包括第一电机和多个第一丝杠，所述第一丝杠通过所述同步传动组件连接于所述第一电机，所述第一丝杠连接于所述曝光光源基体。此结构的一种曝光机，通过同步传动组件进行同步传送，避免了多个第一电机分别驱动第一丝杠而导致运行不同步的情况出现，确保了第一丝杠的同步运行，从而确保曝光机的完好。

2.本实用新型提供的一种曝光机，所述张紧件包括多个张紧轮，所述同步带的内外两侧均设有所述张紧轮。此结构的一种曝光机，通过设置有多个张紧轮，可实现对同步带的张紧调节。

3.本实用新型提供的一种曝光机，所述曝光移动模组还包括Y轴移动模组，所述Y轴移动模组连接于所述Z轴移动模组，且连接于所述曝光光源基体，其中Y轴为沿所述物体放置部的长度方向。此结构的一种曝光机，通过设置有Y轴移动模组，曝光光源基体可沿Y轴方向移动，可实现对物体的长度方向上的曝光。

4.本实用新型提供的一种曝光机，所述曝光光源基体还包括X轴移动模组，所述曝光光源本体通过所述X轴移动模组连接于所述曝光光源基座，其中X轴为沿所述物体放置部的宽度方向。此结构的一种曝光机，通过设置有X轴移动模组，曝光光源本体可沿X轴方向移动，可实现对物体的宽度方向上的曝光。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中提供的曝光机的结构示意图；

图2为图1所示的Z轴移动模组的局部放大图；

图3为图1所示的曝光机未显示部分部件的结构示意图；

图4为图1所示的曝光机的后视图；

图5为图1所示的曝光光源基体的局部放大图；

附图标记说明：

1-基架；

2-第一夹具，21-第一夹具本体，22-第一夹紧件；

3-第二夹具，31-第二夹具本体，32-第二夹紧件；

4-曝光光源件；

51-曝光光源本体，52-X轴移动模组，53-曝光光源基座；

61-第一电机，62-第一丝杠，63-带轮座，64-同步带，65-张紧轮座；

7-Y轴移动模组；

8-第四电机；

9-连接板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

如图1至图5所示的一种曝光机，包括基架1、夹具、曝光光源件4。其中基架1上设有物体放置部，物体放置部和例如地面等的安装基面呈角度设置；夹具包括第一夹具2和第二夹具3，第一夹具2靠近安装基面设置，第二夹具3远离安装基面设置，第一夹具2和第二夹具3形成物体放置部；曝光光源件4设于基架1上，为物体放置部提供曝光光源。作为可替换的一种实施方式，也可仅设置有夹具仅包括第一夹具2或第二夹具3。

通过物体放置部和安装基面呈角度设置，且基架1上的其他部件如夹具等需要与物体放置部相配合，而减小了曝光机投影至安装基面的占用空间，以便于其他相关装置的放置。

其中，物体放置部和安装基面垂直设置。具体地，安装基面为水平设置，物体放置部为竖直设置。当然安装基面并非为水平设置时，物体放置部也可为竖直设置，或者可实现物体放置部和安装基面垂直设置。通过物体放置部为竖直设置，曝光机投影至安装基面的占用空间为曝光机其的宽度方向上的占用空间，相较于其他角度时的占用空间更小，更便于其他相关装置的放置。

如图1和图3所示，第二夹具3沿物体放置部的高度方向移动设置。作为可替换的一种实施方式，也可设置第一夹具2沿物体放置的高度方向移动设置，或者第一夹具2、第二夹具3均可沿物体放置的高度方向移动设置。通过设置第一夹具2和/或第二夹具3移动设置，适配于不同尺寸的物体，从而提高了夹具的适配性。

具体地，第四电机8丝杠组件中的第四电机8驱动第二夹具3沿物体放置部的高度方向移动，第四电机8丝杠设于基架1上。其中第二夹具3 包括相对设置的第二夹具本体31和第二夹紧件32，第二夹紧件32连接于其中一个第二夹具本体31上。具体地，第二夹紧件32可为夹紧气缸或者其他。

如图3和图4所示，第一夹具2包括相对设置的第一夹具本体21、第一夹紧件22和多组传送组件，第一夹紧件22连接于其中一个第一夹具本体21上，传送组件设于第一夹具本体21内。具体地，第一夹紧件22可为夹紧气缸或者其他。

本实施例中的传送组件设有三组，分别为依次设置的上料传送组件、曝光工作传送组件和下料传送组件，可根据实际需求三者的传送速度，例如曝光工作传送组件的传送速度大于上料传送组件的传送速度等。其中可设置上料传送组件、曝光工作传送组件和下料传送组件均为传送带组件，或者传送链组件等或者其他传送组件。

由于物体在第一夹具2中不同位置处的工作状态是不同的，通过设置有上料传送组件、曝光工作传送组件和下料传送组件，互不影响对应的工作状态，以确保正常运行。

本实施例中的曝光光源件4包括曝光光源基体和曝光移动模组，曝光移动模组设于基架1上且连接于曝光光源基体。其中曝光移动模组包括Z 轴移动模组和Y轴移动模组7，Z轴移动模组连接于曝光光源基体，其中Z 轴为沿物体放置部的高度方向即图1中的上下方向；Y轴移动模组7可通过如图3所示的连接板9或者其他部件连接于Z轴移动模组，且连接于曝光光源基体，其中Y轴为沿物体放置部的长度方向即图1中的左右方向。具体地，Y轴移动模组7为第二电机移动模组或者气缸移动模组。当然也可不设置有Y轴移动模组7而仅设置Z轴移动模组。通过设置有Y轴移动模组7，曝光光源基体可沿Y轴方向移动，可实现对物体的长度方向上的曝光。

如图2所示，Z轴移动模组包括第一电机61丝杠组件和同步传动组件，第一电机61丝杠组件包括第一电机61和多个第一丝杠62，多个第一丝杠 62通过同步传动组件连接于第一电机61，第一丝杠62连接于曝光光源基体。其中同步传动组件为同步带传动组件或者齿轮传动组件或者涡轮蜗杆传动组件或者链条传动组件。

具体参见图2，同步传动组件为同步带传动组件，同步带传动组件设置有多组且和第一丝杠62一一对应设置，其中同步带传动组件包括带轮、同步带64、带轮座63和张紧件，带轮转动设于带轮座63内，同步带64套设于带轮上，张紧件固连于基架1，且抵接于同步带传动组件的同步带64。如图2所示，不同组的同步带传动组件的一个带轮同轴连接于第一电机61。当然，不同组的同步带传动组件的多个带轮同轴连接于第一电机61也可以。通过同步传动组件进行同步传送，避免了多个第一电机61分别驱动第一丝杠62而导致运行不同步的情况出现，确保第一了第一丝杠62的同步运行，从而确保曝光机的完好。

如图2所示，张紧件包括多个张紧轮和张紧轮座65，张紧轮座65固连于基架1且转动连接于张紧轮座65内，其中同步带64的内外两侧均设有张紧轮。具体参见图2，张紧轮设置有四个，每两个张紧轮设于同一个同步带64的内外两侧。当然，也可设置有两个张紧轮，每一个张紧轮设于同一个同步带64的内侧或外侧；或者张紧轮的数量为其他，并不限定。通过设置有多个张紧轮，可实现对同步带64的张紧调节。

如图5所示，曝光光源基体包括曝光光源本体51、X轴移动模组52和曝光光源基座53，曝光光源基座53连接于Y轴移动模组7，曝光光源本体 51设于曝光光源基座53上，曝光光源本体51通过X轴移动模组52连接于曝光光源基座53，其中X轴为沿物体放置部的宽度方向及图1中的前后方向。具体地，X轴移动模组52为第三电机移动模组或者气缸移动模组。当然，也可不设置有X轴移动模组52。曝光光源本体51可沿X轴方向移动，可实现对物体的宽度方向上的曝光。

本实施例中的曝光机的工作过程：首先，将物体置于第一夹具2的上料传送组件上，经传送中曝光工作传送组件上，随后，第一夹具2、第二夹具3夹紧物体，之后，曝光光源件4对物体进行曝光，曝光完成后传送至下料传送组件上并传送出。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims

1.一种曝光机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种曝光机，其特征在于，所述同步传动组件为同步带传动组件或者齿轮传动组件或者涡轮蜗杆传动组件或者链条传动组件。

3.根据权利要求2所述的一种曝光机，其特征在于，所述同步传动组件为同步带传动组件，所述同步带传动组件设置有多组且和所述第一丝杠一一对应设置，不同组的所述同步带传动组件的至少一个带轮同轴连接于所述第一电机。

4.根据权利要求3所述的一种曝光机，其特征在于，所述同步带传动组件还包括张紧件，所述张紧件固连于所述基架，且抵接于所述同步带传动组件的同步带。

5.根据权利要求4所述的一种曝光机，其特征在于，所述张紧件包括多个张紧轮，所述同步带的内外两侧均设有所述张紧轮。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种曝光机，其特征在于，所述曝光移动模组还包括Y轴移动模组，所述Y轴移动模组连接于所述Z轴移动模组，且连接于所述曝光光源基体，其中Y轴为沿所述物体放置部的长度方向。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机，其特征在于，所述Y轴移动模组为第二电机移动模组或者气缸移动模组。

8.根据权利要求6所述的一种曝光机，其特征在于，所述曝光光源基体包括曝光光源本体和曝光光源基座，所述曝光光源基座连接于所述Y轴移动模组，所述曝光光源本体设于所述曝光光源基座上。

9.根据权利要求8所述的一种曝光机，其特征在于，所述曝光光源基体还包括X轴移动模组，所述曝光光源本体通过所述X轴移动模组连接于所述曝光光源基座，其中X轴为沿所述物体放置部的宽度方向。

10.根据权利要求9所述的一种曝光机，其特征在于，所述X轴移动模组为第三电机移动模组或者气缸移动模组。