CN213106368U - 一种tray盘喷砂治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种tray盘喷砂治具，包括治具盘，所述治具盘其中一面为治具盘固定面，所述治具盘另一面为治具盘光滑面，所述治具盘固定面中间位置设有指环，所述治具盘固定面靠近边缘的位置均匀开有四个螺孔，所述治具盘固定面位于指环与螺孔之间的位置设有一组滑槽，两所述滑槽内中间位置均设有立柱，两所述滑槽内位于立柱两侧的位置均设有夹块，两所述立柱均通过弹簧与夹块侧面靠近底部位置连接。本实用新型小巧便捷，操作方便，能保证tray洗净工作中tray陶瓷涂层的完整性。
Description
技术领域
本实用新型属于治具领域，具体涉及一种tray盘喷砂治具。
背景技术
Tray在集成电路制造中用于硅片的均匀加热及镀膜，一般由铝与陶瓷涂层两部分组成，其中陶瓷涂层部分主要作用为使硅片均匀受热。镀膜过程中过程中tray铝材质表面会附着相应的污染物，需定期进行清洗去除，以保证tray正常使用。Tray洗净方法是使用WA80#砂材在0.4-0.5Mpa压力下将铝表面污染物直接剥离掉，但在剥离过程中如何保证陶瓷涂层的完整性一直是难以攻克的技术难点。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题便是针对上述现有技术的不足，提供一种tray盘喷砂治具，小巧便捷，操作方便，能保证tray洗净工作中tray陶瓷涂层的完整性。
本实用新型所采用的技术方案是：一种tray盘喷砂治具，包括治具盘，所述治具盘其中一面为治具盘固定面，所述治具盘另一面为治具盘光滑面，所述治具盘固定面中间位置设有指环，所述治具盘固定面靠近边缘的位置均匀开有四个螺孔，所述治具盘固定面位于指环与螺孔之间的位置设有一组滑槽，两所述滑槽内中间位置均设有立柱，两所述滑槽内位于立柱两侧的位置均设有夹块，两所述立柱均通过弹簧与夹块侧面靠近底部位置连接，所述治具盘光滑面中间位置开有连接孔，所述连接孔内设有连接螺丝，所述连接螺丝与指环连接。
其中一个实施例中，所述治具盘包括长方体形的A盘和两个弓形的B盘，所述A盘两长边所在面与B盘连接，所述A盘短边长度为72.6mm，两所述B盘所对应的圆盘直径为均194.6mm，所述A盘和两B盘一体成型。
其中一个实施例中，所述治具盘光滑面表面粗糙度Rz＜5μm，平面度＜20μm。
其中一个实施例中，所述螺孔直径均为9.0mm。
本实用新型的有益效果在于：
1、保证了tray洗净工作中tray陶瓷涂层的完整性；
2、设置了夹块，能使本治具方便地固定在需要的地方；
3、设置了指环，能使工作人员方便地拿取本治具，防止触碰到治具盘光滑面对本治具造成损害。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型治具盘光滑面结构示意图；
图3为本实用新型侧视图；
图4为本实用新型治具盘结构示意图。
图中：1、治具盘；2、治具盘固定面；3、治具盘光滑面；4、指环；5、螺孔；6、滑槽；7、立柱；8、弹簧；9、夹块；10、连接孔；11、连接螺丝；101、A盘；102、B盘。
具体实施方式
下面将结合附图及具体实施例对本实用型作进一步详细说明。
如图1、图2、图3和图4所示，一种tray盘喷砂治具，包括治具盘1，所述治具盘1其中一面为治具盘固定面2，所述治具盘1另一面为治具盘光滑面3，所述治具盘固定面2中间位置设有指环4，所述治具盘固定面2靠近边缘的位置均匀开有四个螺孔5，所述治具盘固定面2位于指环4与螺孔5之间的位置设有一组滑槽6，两所述滑槽6内中间位置均设有立柱7，两所述滑槽6内位于立柱7两侧的位置均设有夹块9，两所述立柱7均通过弹簧8与夹块9侧面靠近底部位置连接，所述治具盘光滑面3中间位置开有连接孔10，所述连接孔10内设有连接螺丝11，所述连接螺丝11与指环4连接。
本实施例中，所述治具盘1包括长方体形的A盘101和两个弓形的B盘102，所述A盘101两长边所在面与B盘102连接，所述A盘101两短边长度为72.6mm，两所述B盘102所对应的圆盘直径为均194.6mm，所述A盘101和两B盘102一体成型。
本实施例中，所述治具盘光滑面3表面粗糙度Rz＜5μm，平面度＜20μm。
本实施例中，所述螺孔5直径均为9.0mm。
A盘101、B盘102和螺孔5整体尺寸误差在40μm以内。
本tray盘喷砂治具使用前先检查治具盘光滑面3和tray陶瓷涂层面是否无凸起、毛刺及其他颗粒，检查通过后将治具盘光滑面3贴合于tray陶瓷涂层面，保证tray陶瓷涂层面完全被覆盖，并使用螺丝通过螺孔5将本治具与tray连接固定，然后将夹块9拉开，通过弹簧8的拉力将本治具固定在适当的位置，再通过剥离喷砂工作去除tray表面污染物，最后将tray取下即得到清洗后的tray，指环5的设置，能使工作人员方便地拿取本治具，防止触碰到治具盘光滑面3对本治具造成损害。
本技术目前应用在某司8inch硅片镀膜所使用tray洗净再生与某司12inch硅片镀膜所使用tray洗净再生。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种tray盘喷砂治具，包括治具盘，其特征在于：所述治具盘其中一面为治具盘固定面，所述治具盘另一面为治具盘光滑面，所述治具盘固定面中间位置设有指环，所述治具盘固定面靠近边缘的位置均匀开有四个螺孔，所述治具盘固定面位于指环与螺孔之间的位置设有一组滑槽，两所述滑槽内中间位置均设有立柱，两所述滑槽内位于立柱两侧的位置均设有夹块，两所述立柱均通过弹簧与夹块侧面靠近底部位置连接，所述治具盘光滑面中间位置开有连接孔，所述连接孔内设有连接螺丝，所述连接螺丝与指环连接。
2.根据权利要求1所述的一种tray盘喷砂治具，其特征在于：所述治具盘包括长方体形的A盘和两个弓形的B盘，所述A盘两长边所在面与B盘连接，所述A盘短边长度为72.6mm，两所述B盘所对应的圆盘直径为均194.6mm，所述A盘和两B盘一体成型。
3.根据权利要求1所述的一种tray盘喷砂治具，其特征在于：所述治具盘光滑面表面粗糙度Rz＜5μm，平面度＜20μm。
4.根据权利要求1所述的一种tray盘喷砂治具，其特征在于：所述螺孔直径均为9.0mm。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021131429.1U CN213106368U (zh) | 2020-06-17 | 2020-06-17 | 一种tray盘喷砂治具 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN213106368U true CN213106368U (zh) | 2021-05-04 |
Family
ID=75672405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021131429.1U Active CN213106368U (zh) | 2020-06-17 | 2020-06-17 | 一种tray盘喷砂治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213106368U (zh) |
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2020
- 2020-06-17 CN CN202021131429.1U patent/CN213106368U/zh active Active
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