CN213017474U - 一种用于晶圆检测的移动防振平台 - Google Patents
一种用于晶圆检测的移动防振平台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213017474U CN213017474U CN202021303713.2U CN202021303713U CN213017474U CN 213017474 U CN213017474 U CN 213017474U CN 202021303713 U CN202021303713 U CN 202021303713U CN 213017474 U CN213017474 U CN 213017474U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- supporting legs
- vibration
- platform
- antivibration
- supporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于晶圆检测的移动防振平台，包括承托平台、支撑脚及防振座，支撑脚设于所述承托平台底部，支撑脚至少设置两个，相邻的所述支撑脚之间连接有拱形横梁，支撑脚的顶部设有气浮式减振器，承托平台通过气浮式减振器与支撑脚连接，防振座内填充有防振填充料，防振座的顶部设有与支撑脚配合的安装槽，支撑脚设于安装槽内，支撑脚内设有减振弹簧，本实用新型防振效果良好。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆生产设备领域，特别涉及一种用于晶圆检测的移动防振平台。
背景技术
在晶圆的生产过程中，需要对晶圆进行检测，这时需要对晶圆进行移动输送，输送过程中因电机工作及输送装置移动等原因会产生振动，振动会传递至防止晶圆的平台，一旦振动过大会导致晶圆振动，容易发生碰撞损坏晶圆。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可有效防振的用于晶圆检测的移动防振平台。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：
一种用于晶圆检测的移动防振平台，包括承托平台、支撑脚及防振座，所述支撑脚设于所述承托平台底部，支撑脚至少设置两个，相邻的所述支撑脚之间连接有拱形横梁，支撑脚的顶部设有气浮式减振器，承托平台通过所述气浮式减振器与支撑脚连接，所述防振座内填充有防振填充料，防振座的顶部设有与支撑脚配合的安装槽，支撑脚设于所述安装槽内，支撑脚内设有减振弹簧。
本实用新型的进一步改进，所述支撑脚内设有定位柱，所述定位柱底部设有支撑块，所述减振弹簧套设于定位柱上。
本实用新型的进一步改进，所述支撑脚的两侧设有安装块，所述安装块的底面与所述防振座的顶面贴合，安装块通过螺栓与防振座固定连接。
本实用新型的进一步改进，所述承托平台内设有空腔，所述空腔内设有拱形板，空腔内填充有减振材料。
本实用新型的进一步改进，所述承托平台顶部设有缓振橡胶垫。
本实用新型的进一步改进，所述支撑脚的侧部与所述承托平台的底部之间设有加强筋。
本实用新型的进一步改进，所述防振填充料采用橡胶、海绵或是泡沫材料制成。
采用上述技术方案，振动先经减振台的防振填充料减振，然后传递至支撑脚，支撑脚的减振弹簧与气浮式减振器配合有效减少振动，再配合承托平台的缓冲材料、拱形板及缓冲橡胶垫，使得最后只有极小部分振动传递至放置在承托平台上的晶圆，本实用新型防振效果良好。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中标示：1、承托平台；2、支撑脚；3、防振座；4、拱形横梁；5、气浮式减振器；6、安装槽；7、减振弹簧；8、定位柱；9、支撑块；10、安装块；11、拱形板；12、缓振橡胶垫；13、加强筋。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
如图1所示，一种用于晶圆检测的移动防振平台，包括承托平台1、支撑脚2及防振座3，承托平台1用于放置晶圆，支撑脚2用于支撑承托平台1，防振座3用于减振，支撑脚2设于承托平台1底部，支撑脚2至少设置两个，本实施例中，支撑脚2设置四个，支撑脚2呈矩形阵列分布，可平稳地对承托平台1进行支撑，相邻的支撑脚2之间连接有拱形横梁4，支撑脚2相互连接使得结构更为稳固，拱形横梁4的拱形结构可以有效防振，支撑脚2的顶部设有气浮式减振器5，气浮式减振器5是一种高效减振件，气浮式减振器5设有气囊，气囊由加固的、柔韧的隔膜密封，气囊内的气压可调节，主要通过气囊承托物件，从而起到减振的效果，配合阻尼器与弹簧使用，减振效果更佳，一般减振效果可达99％，承托平台1通过气浮式减振器5与支撑脚2连接，防振座3内填充有防振填充料，防振填充料采用橡胶、海绵或是泡沫材料制成，价格便宜且防振动效果好，防振座3的顶部设有与支撑脚2配合的安装槽6，支撑脚2设于安装槽6内，对支撑脚2进行定位，支撑脚2的两侧设有安装块10，安装块10的底面与防振座3的顶面贴合，安装块10通过螺栓与防振座3固定连接，实现支撑脚2与防振座3的固定，使支撑脚2与防振台连成一体，防止单独振动，支撑脚2内设有减振弹簧7，具体为，支撑脚2内设有定位柱8，定位柱8底部设有支撑块9，减振弹簧7套设于定位柱8上，有效缓减防振座3传递至支撑脚2的振动，承托平台1内设有空腔，空腔内设有拱形板11，空腔内填充有减振材料，可缓减支撑脚2传递至承托板的振动。
承托平台1顶部设有缓振橡胶垫12，使得晶圆防止在承托平台1时不会因刚性碰触发生损坏，同时缓振橡胶垫12也可起到减振的作用，支撑脚2的侧部与所述承托平台1的底部之间设有加强筋13，加固支撑脚2与承托平台1的连接结构，加强筋13为弧形结构，能够均匀的分散作用力，减振效果好。
减振原理：防振座3与移动装置固定连接，移动装置一般为可XYZ三轴移动的导轨式装置，移动装置带动防振座3移动，在该过程中会产生振动，振动先经减振台的防振填充料减振，然后传递至支撑脚2，支撑脚2的减振弹簧7与气浮式减振器5配合有效减少振动，最后振动传递至承托平台1时已所剩无几，基本不会影响到晶圆。
以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。
Claims (7)
1.一种用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：包括承托平台(1)、支撑脚(2)及防振座(3)，所述支撑脚(2)设于所述承托平台(1)底部，支撑脚(2)至少设置两个，相邻的所述支撑脚(2)之间连接有拱形横梁(4)，支撑脚(2)的顶部设有气浮式减振器(5)，承托平台(1)通过所述气浮式减振器(5)与支撑脚(2)连接，所述防振座(3)内填充有防振填充料，防振座(3)的顶部设有与支撑脚(2)配合的安装槽(6)，支撑脚(2)设于所述安装槽(6)内，支撑脚(2)内设有减振弹簧(7)。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述支撑脚(2)内设有定位柱(8)，所述定位柱(8)底部设有支撑块(9)，所述减振弹簧(7)套设于定位柱(8)上。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述支撑脚(2)的两侧设有安装块(10)，所述安装块(10)的底面与所述防振座(3)的顶面贴合，安装块(10)通过螺栓与防振座(3)固定连接。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述承托平台(1)内设有空腔，所述空腔内设有拱形板(11)，空腔内填充有减振材料。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述承托平台(1)顶部设有缓振橡胶垫(12)。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述支撑脚(2)的侧部与所述承托平台(1)的底部之间设有加强筋(13)。
7.根据权利要求1所述的用于晶圆检测的移动防振平台，其特征在于：所述防振填充料采用橡胶、海绵或是泡沫材料制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021303713.2U CN213017474U (zh) | 2020-07-06 | 2020-07-06 | 一种用于晶圆检测的移动防振平台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021303713.2U CN213017474U (zh) | 2020-07-06 | 2020-07-06 | 一种用于晶圆检测的移动防振平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213017474U true CN213017474U (zh) | 2021-04-20 |
Family
ID=75500634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021303713.2U Active CN213017474U (zh) | 2020-07-06 | 2020-07-06 | 一种用于晶圆检测的移动防振平台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213017474U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113086116A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-07-09 | 中国船舶重工集团海装风电股份有限公司 | 浮式风电平台 |
-
2020
- 2020-07-06 CN CN202021303713.2U patent/CN213017474U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113086116A (zh) * | 2021-05-19 | 2021-07-09 | 中国船舶重工集团海装风电股份有限公司 | 浮式风电平台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN213017474U (zh) | 一种用于晶圆检测的移动防振平台 | |
| CN214607737U (zh) | 一种多层车厢底板 | |
| CN204288805U (zh) | 硬盘减振机构 | |
| CN207884414U (zh) | 一种减少震动的数控机床电机底座 | |
| CN210556307U (zh) | 一种具有减震结构的瓦楞纸箱 | |
| CN209743473U (zh) | 一种建筑机械用支撑装置 | |
| CN210529994U (zh) | 一种层间隔震结构多维隔震减震装置 | |
| CN215399961U (zh) | 一种高强度四向进叉木质运输托盘 | |
| CN214355756U (zh) | 一种防颠簸货物减震货车车厢 | |
| CN210246982U (zh) | 一种舞台音响移动减震升降台 | |
| CN210709313U (zh) | 一种机械设备运输减震装置 | |
| CN210978997U (zh) | 一种发电机组用便于移动的减震底座 | |
| CN212480008U (zh) | 一种建筑机械的减震装置 | |
| CN204042336U (zh) | 电脑主机减震固定架 | |
| CN213117721U (zh) | 一种减震阀座 | |
| CN210920607U (zh) | 一种带有减震底座的高速混合机 | |
| CN210218536U (zh) | 一种减震型包装纸印刷机 | |
| CN211593330U (zh) | 一种抗震托盘 | |
| KR101280535B1 (ko) | 해양구조물 지지장치 | |
| CN213169268U (zh) | 一种机械配件用防撞击装置 | |
| CN218056275U (zh) | 一种防震包装盒 | |
| CN219155035U (zh) | 一种设有固定减震机构的试剂存放箱 | |
| CN221034788U (zh) | 一种用于机电设备的固定放置装置 | |
| CN218199708U (zh) | 一种防水材料用的运输装置 | |
| CN213872068U (zh) | 一种机械设备的减震底座 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A Mobile Anti vibration Platform for Wafer Inspection Effective date of registration: 20221209 Granted publication date: 20210420 Pledgee: Guangfa Bank Co.,Ltd. Xinhui Sub branch Pledgor: Guangdong Weishi wafer Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2022980025958 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |