CN213009459U - 一种晶圆挂具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆挂具，包括第二挂板，所述第二挂板的上端设置有第一挂板，所述第一挂板的前端面设置有条形孔，所述第二挂板的下端设置有圆形孔，所述第二挂板的前端面设置有放置盒，所述放置盒的上端设置有盖板，所述放置盒的上端面设置有放置室，所述放置盒的上端靠近放置室设置有凹槽，所述放置室的内壁滑动连接有分隔板，所述第一挂板的前端面固定连接有第一固定板，所述第一固定板的上端面螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有调节帽，所述螺纹杆的另一端固定连接有压板。本实用新型中，通过设置放置盒可放置多个晶圆，压板使第一挂板固定在指定位置，配合圆形孔使晶圆挂具平稳放置，实用性增强。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆存放技术领域，尤其涉及一种晶圆挂具。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，进而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，成为电子级硅，硅制品广泛用于集成电路(IC)基板、半导体封装衬底材料，硅制品划切质量直接影响芯片的良品率及制造成本。
晶圆的相撞为圆形，经过研磨、切割等程序加工而成，成型的晶圆需要挂具进行存储放置，普通挂具的收容数较小，同时不方便拿取，挂具的稳定性较差，实用性较低，由此提出一种晶圆挂具。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆挂具。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆挂具，包括第二挂板，所述第二挂板的上端设置有第一挂板，所述第一挂板的前端面设置有条形孔，所述第二挂板的下端设置有圆形孔，所述第二挂板的前端面设置有放置盒，所述放置盒的上端设置有盖板，所述放置盒的上端面设置有放置室，所述放置盒的上端靠近放置室设置有凹槽，所述放置室的内壁滑动连接有分隔板，所述第一挂板的前端面固定连接有第一固定板，所述第一固定板的上端面螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有调节帽，所述螺纹杆的另一端固定连接有压板。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述压板的外表面固定连接有固定垫，所述压板的数量为四个。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述第一挂板的前端面固定连接有限位条，所述限位条的数量为两个，所述限位条之间固定连接有卡板，所述限位条的内壁靠近卡板设置有卡槽。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述盖板的上端固定连接有把手，所述盖板的下端设置有密封板，所述密封板滑动连接有凹槽。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述密封板和盖板为一体连接，所述盖板的数量为十六个。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述第二挂板和第一挂板为一体连接，所述第二挂板的两侧端均固定连接有加强条，所述加强条的数量为两个。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述放置盒的外表面固定连接有第二固定板，所述第二固定板的底端固定连接有第二挂板。
本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型，第二挂板的前端面通过第二固定板固定连接有放置盒，放置盒的内部设置有分隔板，进而放置盒可放置多个晶圆，同时方便取出晶圆，实用性增强，第一挂板的前端面设置有条形孔，第二挂板的下端设置有圆形孔，通过转动调节帽使使第一挂板固定在指定位置，配合圆形孔使晶圆挂具平稳放置，实用性增强。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆挂具的正视图；
图2为本实用新型提出的一种晶圆挂具的局部俯视图；
图3为图1的A处放大图。
图例说明：
1、第一挂板；2、螺纹杆；3、条形孔；4、第一固定板；5、调节帽；6、固定垫；7、卡板；8、限位条；9、把手；10、盖板；11、放置盒；12、密封板；13、圆形孔；14、加强条；15、第二挂板；16、第二固定板；17、凹槽；18、分隔板；19、放置室；20、压板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆挂具，包括第二挂板15，第二挂板15的上端设置有第一挂板1，第一挂板1的前端面设置有条形孔3，通过条形孔3使第一挂板1放置在支架处，可大量存储晶圆，第二挂板15的下端设置有圆形孔13，圆形孔13具限位功能，第二挂板15的前端面设置有放置盒11，放置盒11通过放置室19收容放置晶圆，放置盒11的上端设置有盖板10，盖板10通过密封板12密封放置室19，放置盒11的上端面设置有放置室19，放置盒11的上端靠近放置室19设置有凹槽17，放置室19的内壁滑动连接有分隔板18，分隔板18使晶圆间隔放置，第一挂板1的前端面固定连接有第一固定板4，第一固定板4的上端面螺纹连接有螺纹杆2，螺纹杆2的一端固定连接有调节帽5，通过转动调节帽5使螺纹杆2转动，进而使压板20挤压支架，配合圆形孔13使晶圆挂具平稳放置，螺纹杆2的另一端固定连接有压板20。
压板20的外表面固定连接有固定垫6，固定垫6显著提高压板20的压紧效果，压板20的数量为四个，第一挂板1的前端面固定连接有限位条8，限位条8的数量为两个，限位条8之间固定连接有卡板7，限位条8的内壁靠近卡板7设置有卡槽，卡槽用于放置展示卡，进而展示晶圆的规格尺寸，盖板10的上端固定连接有把手9，通过把手9方便打开盖板10，盖板10的下端设置有密封板12，密封板12滑动连接有凹槽17，密封板12和盖板10为一体连接，盖板10的数量为十六个，第二挂板15和第一挂板1为一体连接，第二挂板15的两侧端均固定连接有加强条14，加强条14的数量为两个，加强条14可提高第二挂板15的强度，放置盒11的外表面固定连接有第二固定板16，第二固定板16的底端固定连接有第二挂板15。
工作原理：本实用新型中，第二挂板15和第一挂板1为一体连接，第一挂板1的前端面设置有条形孔3，通过条形孔3使第一挂板1放置在支架处，第二挂板15的下端设置有圆形孔13，圆形孔13具限位功能，第二挂板15通过第二固定板16固定连接有放置盒11，放置盒11的上端设置有盖板10，放置盒11的上端面设置有放置室19，放置室19通过分隔板18使晶圆分区放置，进而第二挂板15通过放置盒11可收容放置多个晶圆，同事方便拿取晶圆，第一挂板1通过第一固定板4螺纹连接有螺纹杆2，通过转动调节帽5使螺纹杆2转动，进而使压板20挤压支架，配合圆形孔13使晶圆挂具平稳放置，进而可大量存储晶圆。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种晶圆挂具，包括第二挂板(15)，其特征在于：所述第二挂板(15)的上端设置有第一挂板(1)，所述第一挂板(1)的前端面设置有条形孔(3)，所述第二挂板(15)的下端设置有圆形孔(13)，所述第二挂板(15)的前端面设置有放置盒(11)，所述放置盒(11)的上端设置有盖板(10)，所述放置盒(11)的上端面设置有放置室(19)，所述放置盒(11)的上端靠近放置室(19)设置有凹槽(17)，所述放置室(19)的内壁滑动连接有分隔板(18)，所述第一挂板(1)的前端面固定连接有第一固定板(4)，所述第一固定板(4)的上端面螺纹连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)的一端固定连接有调节帽(5)，所述螺纹杆(2)的另一端固定连接有压板(20)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具，其特征在于：所述压板(20)的外表面固定连接有固定垫(6)，所述压板(20)的数量为四个。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具，其特征在于：所述第一挂板(1)的前端面固定连接有限位条(8)，所述限位条(8)的数量为两个，所述限位条(8)之间固定连接有卡板(7)，所述限位条(8)的内壁靠近卡板(7)设置有卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具，其特征在于：所述盖板(10)的上端固定连接有把手(9)，所述盖板(10)的下端设置有密封板(12)，所述密封板(12)滑动连接有凹槽(17)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆挂具，其特征在于：所述密封板(12)和盖板(10)为一体连接，所述盖板(10)的数量为十六个。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具，其特征在于：所述第二挂板(15)和第一挂板(1)为一体连接，所述第二挂板(15)的两侧端均固定连接有加强条(14)，所述加强条(14)的数量为两个。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具，其特征在于：所述放置盒(11)的外表面固定连接有第二固定板(16)，所述第二固定板(16)的底端固定连接有第二挂板(15)。
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