CN212983095U - 一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，包括不锈钢层、上筒体、下筒体和连接机构，本实用新型通过设置了连接机构于上筒体外侧，通过固定环进入到T型环内侧底端进行固定，使得上筒体连接于外部的生产设备更加紧密，同时在硅胶环的作用下使得固定环和T型环的连接密封性更高，而拆卸过程可通过转动转杆带动固定块转动脱离凸板底部，使得T型杆受到弹簧弹力向上移动，并且T型杆配合传动架带动卡块向右移动脱离固定环底部的卡槽，从而完成对上筒体的拆卸，到达了提高导流筒的密封性和后期拆卸效率的有益效果。

Description

一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒

技术领域

本实用新型具体是一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，涉及导流筒相关领域。

背景技术

电子级及太阳能级半导体单晶硅硅主要采用直拉法制造，直拉法的原理是：在熔化后的硅熔液中插入具有一定晶向的单晶硅作为“籽晶”，通过Dash技术消除因热应力而产生的位错，通过石墨部件及保温材料形成的温度梯度，在结晶前沿形成一定过冷度，从而驱动硅原子按顺序排列在液体和固体交界面(固液界面)上，从而形成单晶硅的晶锭，而单晶硅在生产的过程中需要使用到专门的生长装置，同时生长装置中为便于氩气的流通，需要使用到相对应的导流筒。

当导流筒在使用的过程中，由于其通常以螺栓进行安装，其安装的密封性较差，容易使得氩气流通过程向外泄露形成浪费，同时导流筒为了提高稳定性使得螺栓需要数量较多，造成后期拆卸较为不便。

实用新型内容

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒。

本实用新型是这样实现的，构造一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，该装置包括不锈钢层和上筒体，所述不锈钢层设置于上筒体和下筒体内侧端面上，所述连接机构设置于上筒体外侧，所述连接机构包括固定环、硅胶环、定位柱、T型环、壳体、T型杆、固定机构、传动架、卡块和弹簧，所述固定环内圈紧固于上筒体外侧顶端，且固定环顶端面粘贴有硅胶环，所述定位柱设置于硅胶环顶端面，所述壳体锁固于T型环侧表面，所述T型杆通过固定机构于壳体内侧上下移动，且T型杆通过弹簧连接于壳体内侧底端面，所述传动架外侧上下两端分别铰接于卡块后端面和壳体内侧前端底部，所述卡块滑动安装于壳体内侧后端顶部。

优选的，所述下筒体设置于上筒体底部，且上筒体和下筒体内侧端面相贯通。

优选的，所述固定机构包括转杆、固定块、衔接板、卷弹簧、限位架、凸板和凸体，所述转杆穿过壳体顶端面中部后与T型杆顶端面中部转动连接，所述固定块对称安装有两个于转杆左右两端中部，所述衔接板通过卷弹簧铰接于壳体内侧顶部，所述限位架锁合于壳体内侧顶端面，所述凸板设置于衔接板左端面底部，所述凸体设置于固定块顶端面，且凸体相吻合于凸板底端面开设的凹槽内侧。

优选的，所述定位柱分布有四个于硅胶环顶端面四端，且T型环内侧顶端面四端开设有四个相配合的定位槽。

优选的，所述T型环侧表面和壳体左端面开设有开口，且开口的位置大小相对应于卡块。

优选的，所述卡块外侧左端呈由右至左渐缩的梯形状，且卡块顶端面左端和底端面呈30°夹角。

优选的，所述传动架由两个板体铰接而成，且传动架前端面底部开设有相配合于T型杆外侧后端的椭圆形孔。

优选的，所述T型杆外侧后端为圆柱体状，且T型杆后端面相齐平于传动架后端面。

本实用新型具有如下优点：本实用新型通过改进在此提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，与同类型设备相比，具有如下改进：

优点1：本实用新型所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，本实用新型通过设置了连接机构于上筒体外侧，通过固定环进入到T型环内侧底端进行固定，使得上筒体连接于外部的生产设备更加紧密，同时在硅胶环的作用下使得固定环和T型环的连接密封性更高，而拆卸过程可通过转动转杆带动固定块转动脱离凸板底部，使得T型杆受到弹簧弹力向上移动，并且T型杆配合传动架带动卡块向右移动脱离固定环底部的卡槽，从而完成对上筒体的拆卸，到达了提高导流筒的密封性和后期拆卸效率的有益效果。

优点2：本实用新型所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，本实用新型通过T型环侧表面和壳体左端面开设有开口，且开口的位置大小相对应于卡块，便于使得卡块进入到开口内侧而对固定环进行固定。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型的连接机构结构示意图；

图3是本实用新型的壳体连接爆炸结构示意图；

图4是本实用新型的壳体正视剖面结构示意图；

图5是本实用新型的图4中A处结构放大示意图。

其中：不锈钢层-1、上筒体-2、下筒体-3、连接机构-4、固定环-41、硅胶环-42、定位柱-43、T型环-44、壳体-45、T型杆-46、固定机构-47、传动架-48、卡块-49、弹簧-410、转杆-471、固定块-472、衔接板-473、卷弹簧-474、限位架-475、凸板-476、凸体-477。

具体实施方式

下面将结合附图1-5对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型通过改进在此提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，包括不锈钢层1和上筒体2，不锈钢层1设置于上筒体2和下筒体3内侧端面上，下筒体3设置于上筒体2底部，且上筒体2和下筒体3内侧端面相贯通。

请参阅图2至图4，本实用新型通过改进在此提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，连接机构4设置于上筒体2外侧，连接机构4包括固定环41、硅胶环42、定位柱43、T型环44、壳体45、T型杆46、固定机构47、传动架48、卡块49和弹簧410，固定环41内圈紧固于上筒体2外侧顶端，且固定环41顶端面粘贴有硅胶环42，定位柱43设置于硅胶环42顶端面，定位柱43分布有四个于硅胶环42顶端面四端，且T型环44内侧顶端面四端开设有四个相配合的定位槽，便于将固定环41的位置进行稳定定位，T型环44侧表面和壳体45左端面开设有开口，且开口的位置大小相对应于卡块49，便于使得卡块49进入到开口内侧而将固定环41进行固定，壳体45锁固于T型环44侧表面，T型杆46通过固定机构47于壳体45内侧上下移动，且T型杆46通过弹簧410连接于壳体45内侧底端面，T型杆46外侧后端为圆柱体状，且T型杆46后端面相齐平于传动架48后端面，便于T型杆46垂直移动而带动传动架48进行转动而带动卡块49水平移动，传动架48外侧上下两端分别铰接于卡块49后端面和壳体45内侧前端底部，传动架48由两个板体铰接而成，且传动架48前端面底部开设有相配合于T型杆46外侧后端的椭圆形孔，便于传动架48带动卡块49水平移动，卡块49滑动安装于壳体45内侧后端顶部，卡块49外侧左端呈由右至左渐缩的梯形状，且卡块49顶端面左端和底端面呈30°夹角，便于使得卡块49稳定推动固定环41向上移动而硅胶环42受力压缩提高密封性。

请参阅图5，本实用新型通过改进在此提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，固定机构47包括转杆471、固定块472、衔接板473、卷弹簧474、限位架475、凸板476和凸体477，转杆471穿过壳体45顶端面中部后与T型杆46顶端面中部转动连接，固定块472对称安装有两个于转杆471左右两端中部，衔接板473通过卷弹簧474铰接于壳体45内侧顶部，限位架475锁合于壳体45内侧顶端面，凸板476设置于衔接板473左端面底部，凸体477设置于固定块472顶端面，且凸体477相吻合于凸板476底端面开设的凹槽内侧，提高了固定块472稳定固定于凸板476底部。

本实用新型通过改进提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，工作原理如下；

第一，首先将T型环44固定安装于单晶硅生产装置上的指定位置上，然后将上筒体2带动固定环41、硅胶环42和定位柱43进入到T型环44内侧，并且使得定位柱43对齐于T型环44内侧顶部的定位槽内侧；

第二，当固定环41完全进入到T型环44内侧时，可通过推动转杆471带动T型杆46向下移动而弹簧410受力压缩，并且转杆471在向下移动过程通过固定块472推动衔接板473转动，以及T型杆46通过配合传动架48带动卡块49向左移动进入到固定环41底部的开口内侧进行固定，此时固定环41和上筒体2以及下筒体3位置得到固定，并且可通过于上筒体2和下筒体3内侧的不锈钢层1进行氩气的流通使用；

第三，并且使用过程，通过固定环41进入到T型环44内侧底端进行固定，使得上筒体2连接于外部的生产设备更加紧密，同时在硅胶环42的作用下使得固定环41和T型环44的连接密封性更高，而拆卸过程可通过转动转杆471带动固定块472转动脱离凸板476底部，使得T型杆46受到弹簧410弹力向上移动，并且T型杆46配合传动架48带动卡块49向右移动脱离固定环41底部的卡槽，从而完成对上筒体2和下筒体3的拆卸。

本实用新型通过改进提供一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，通过固定环41进入到T型环44内侧底端进行固定，使得上筒体2连接于外部的生产设备更加紧密，同时在硅胶环42的作用下使得固定环41和T型环44的连接密封性更高，而拆卸过程可通过转动转杆471带动固定块472转动脱离凸板476底部，使得T型杆46受到弹簧410弹力向上移动，并且T型杆46配合传动架48带动卡块49向右移动脱离固定环41底部的卡槽，从而完成对上筒体2和下筒体3的拆卸，到达了提高导流筒的密封性和后期拆卸效率的有益效果，通过T型环44侧表面和壳体45左端面开设有开口，且开口的位置大小相对应于卡块49，便于使得卡块49进入到开口内侧而对固定环41进行固定。

Claims (8)

1.一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，包括不锈钢层(1)和上筒体(2)，所述不锈钢层(1)设置于上筒体(2)和下筒体(3)内侧端面上；

其特征在于：还包括连接机构(4)，所述连接机构(4)设置于上筒体(2)外侧，所述连接机构(4)包括固定环(41)、硅胶环(42)、定位柱(43)、T型环(44)、壳体(45)、T型杆(46)、固定机构(47)、传动架(48)、卡块(49)和弹簧(410)，所述固定环(41)内圈紧固于上筒体(2)外侧顶端，且固定环(41)顶端面粘贴有硅胶环(42)，所述定位柱(43)设置于硅胶环(42)顶端面，所述壳体(45)锁固于T型环(44)侧表面，所述T型杆(46)通过固定机构(47)于壳体(45)内侧上下移动，且T型杆(46)通过弹簧(410)连接于壳体(45)内侧底端面，所述传动架(48)外侧上下两端分别铰接于卡块(49)后端面和壳体(45)内侧前端底部，所述卡块(49)滑动安装于壳体(45)内侧后端顶部。

2.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述下筒体(3)设置于上筒体(2)底部，且上筒体(2)和下筒体(3)内侧端面相贯通。

3.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述固定机构(47)包括转杆(471)、固定块(472)、衔接板(473)、卷弹簧(474)、限位架(475)、凸板(476)和凸体(477)，所述转杆(471)穿过壳体(45)顶端面中部后与T型杆(46)顶端面中部转动连接，所述固定块(472)对称安装有两个于转杆(471)左右两端中部，所述衔接板(473)通过卷弹簧(474)铰接于壳体(45)内侧顶部，所述限位架(475)锁合于壳体(45)内侧顶端面，所述凸板(476)设置于衔接板(473)左端面底部，所述凸体(477)设置于固定块(472)顶端面，且凸体(477)相吻合于凸板(476)底端面开设的凹槽内侧。

4.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述定位柱(43)分布有四个于硅胶环(42)顶端面四端，且T型环(44)内侧顶端面四端开设有四个相配合的定位槽。

5.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述T型环(44)侧表面和壳体(45)左端面开设有开口，且开口的位置大小相对应于卡块(49)。

6.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述卡块(49)外侧左端呈由右至左渐缩的梯形状，且卡块(49)顶端面左端和底端面呈30°夹角。

7.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述传动架(48)由两个板体铰接而成，且传动架(48)前端面底部开设有相配合于T型杆(46)外侧后端的椭圆形孔。

8.根据权利要求1所述一种用于直拉法单晶硅生长装置的导流筒，其特征在于：所述T型杆(46)外侧后端为圆柱体状，且T型杆(46)后端面相齐平于传动架(48)后端面。

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