CN219174669U - 单晶炉导流筒液压提升装置 - Google Patents

单晶炉导流筒液压提升装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及单晶炉装置技术领域,尤其涉及一种单晶炉导流筒液压提升装置,包括炉盖、至少两个支撑杆和固定在支撑杆底端的支撑底板,所述支撑底板通过支撑杆设置在炉盖的正下方,所述支撑底板上安装有用于抵住导流筒内侧壁的内夹持件,且内夹持件包括安装在支撑底板底端中间的驱动杆、分别通过连接杆设置在支撑底板两侧的第一弧形板和第二弧形板、推动第一弧形板向靠近或者远离支撑底板的方向运动的第一液压伸缩杆和用于对第一弧形板和第二弧形板运动进行限位导向的导向模块,提升时导流筒稳定性高,不易脱落。

Description

单晶炉导流筒液压提升装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉装置技术领域,具体为单晶炉导流筒液压提升装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。导流筒作为单晶炉的一个重要部件,在单晶硅的生产中起到了重要的作用,单晶炉的导流筒对晶体生长有着很大的影响,导流筒可以减少炉体上部的氩气流动,确保单晶硅棒的质量。
在单晶拉制生产过程中,每完成一炉生产都需要进行拆炉,而导流筒位于炉筒内部,在取出过程中需要多个人配合作业,而且在拆炉时炉内残余温度较高,容易对人工作人员造成烫伤,安全性得不到保障。中国专利文献库中,授权公告号为CN210048875U的实用新型专利,公开了一种单晶炉导流筒提升装置,包括支撑板,所述支撑板的上表面中间位置设有液压油箱和液压泵,所述支撑板的下端固定有连接板,连接板的底端固定连接有底板,所述连接板的前侧面中间位置设有第一滑槽,第一滑槽内滑动连接有第一滑块,第一滑块与支撑板之间设有液压伸缩杆,实际使用时仅通过两个环形压板抵住导流板的内侧壁,再通过吊装将导流筒取出,导流筒取出过程中易晃动,从而脱落,稳定性较差,且实际使用时,需要准确将该装置放置在导流筒的正中间,才可以令两个环形压板受力均匀,否则也可能导致导流筒的倾斜脱落,使用不便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉导流筒液压提升装置,以解决上述背景技术中提出的提升过程中导流筒易脱落问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:单晶炉导流筒液压提升装置,包括炉盖、至少两个支撑杆和固定在支撑杆底端的支撑底板,所述支撑底板通过支撑杆设置在炉盖的正下方,所述支撑底板上安装有用于抵住导流筒内侧壁的内夹持件,且内夹持件包括安装在支撑底板底端中间的驱动杆、分别通过连接杆设置在支撑底板两侧的第一弧形板和第二弧形板、推动第一弧形板向靠近或者远离支撑底板的方向运动的第一液压伸缩杆和用于对第一弧形板和第二弧形板运动进行限位导向的导向模块,所述驱动杆的中部与支撑底板转动连接,两个连接杆的一端分别与驱动杆的两端转动连接,两个连接杆的另一端分别与第一弧形板和第二弧形板转动连接。
进一步地,所述导向模块的数量设置有两个,且两个导向模块对称设置在支撑底板顶端的两侧。
进一步地,所述导向模块包括固定在支撑底板顶端的外管和分别插接在外管两端的第一滑杆和第二滑杆,所述第一滑杆远离外管的一端与第一弧形板固定连接,所述第二滑杆远离外管的一端与第二弧形板固定连接。
进一步地,所述第二滑杆的底端设置有与第一滑杆相互匹配的凹槽,用于收纳第一滑杆。
进一步地,所述炉盖上贯穿设置有与支撑杆相互匹配的通孔,所述支撑杆穿过通孔延伸至炉盖的顶端,且所述支撑杆的顶端通过顶板连接,所述炉盖的顶端安装有第二液压伸缩杆,且第二液压伸缩杆的输出端与顶板固定连接,用于推动顶板上下滑动。
进一步地,所述炉盖的顶端设置有若干吊装耳。
进一步地,所述炉盖的边缘处设置有安装裙边,且安装裙边上贯穿设置有若干定位孔。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该单晶炉导流筒液压提升装置
(1)通过设置炉盖和内夹持件,将炉盖安装在导流筒顶端,再通过内夹持件伸入导流筒内部,实现对筒内的固定,避免吊装时导流筒晃动,可以防止导流筒脱落;
(2)通过设置顶板和第二液压伸缩杆,第二液压伸缩杆推动顶板上下滑动,即可调整内夹持件伸入筒内的深度,满足不同深度的导流筒。
附图说明
图1为本实用新型立体结构示意图;
图2为本实用新型内夹持件立体结构示意图;
图3为本实用新型仰视结构示意图。
图中:1、炉盖;101、吊装耳;102、安装裙边;1021、定位孔;2、支撑杆;3、支撑底板;4、内夹持件;401、第一液压伸缩杆;402、第一弧形板;403、第二弧形板;404、连接杆;405、驱动杆;406、导向模块;4061、第一滑杆;4062、第二滑杆;4063、外管;5、顶板;6、第二液压伸缩杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,并非特别指称次序或顺位的意思,亦非用以限定本实用新型,其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。另外,在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例1
请参阅图1-3,本实用新型提供的一种实施例:单晶炉导流筒液压提升装置,包括炉盖1、至少两个支撑杆2和固定在支撑杆2底端的支撑底板3,本实施例中,支撑杆2的数量设置有两个,分别对称固定在炉盖1底端的两侧,炉盖1的顶端设置有若干吊装耳101,用于与吊装机构连接,炉盖1的边缘处设置有安装裙边102,且安装裙边102上贯穿设置有若干定位孔1021,导流筒的顶端一般设置有法兰,该定位孔1021与导流筒法兰上的孔相互对应,可以通过螺栓或者卡块等进行预定位,起到防脱和定位的作用,支撑底板3通过支撑杆2设置在炉盖1的正下方;
支撑底板3上安装有用于抵住导流筒内侧壁的内夹持件4,且内夹持件4包括安装在支撑底板3底端中间的驱动杆405、分别通过连接杆404设置在支撑底板3两侧的第一弧形板402和第二弧形板403、推动第一弧形板402向靠近或者远离支撑底板3的方向运动的第一液压伸缩杆401和用于对第一弧形板402和第二弧形板403运动进行限位导向的导向模块406,驱动杆405的中部与支撑底板3转动连接,两个连接杆404的一端分别与驱动杆405的两端转动连接,两个连接杆404的另一端分别与第一弧形板402和第二弧形板403转动连接,令第一弧形板402和第二弧形板403同步运动;
导向模块406的数量设置有两个,且两个导向模块406对称设置在支撑底板3顶端的两侧,导向模块406包括固定在支撑底板3顶端的外管4063和分别插接在外管4063两端的第一滑杆4061和第二滑杆4062,本实施例中,第一滑杆4061和第二滑杆4062的宽度相等,第一滑杆4061远离外管4063的一端与第一弧形板402固定连接,第二滑杆4062远离外管4063的一端与第二弧形板403固定连接,当第一弧形板402和第二弧形板403水平移动时,第一滑杆4061和第二滑杆4062在外管4063内部滑动,提高第一弧形板402和第二弧形板403水平运动的稳定性,同时避免其发生转动。
工作原理:导流筒的顶端一般设置有法兰,首先通过吊装机构将炉盖1移动至导流筒的顶端,通过螺栓将炉盖1和导流筒固定,进行预定位,同时起到防脱的作用,接着通过第一液压伸缩杆401伸长,拖动第一弧形板402向远离支撑底板3的一侧滑动,第一弧形板402带动连接杆404转动,连接杆404带动驱动杆405转动,两个连接杆404长度相等,即可带动另一侧的第二弧形板403也同步张开,抵住导流筒的内侧壁,此时再通过吊装机构将导流筒整个提升起来,不易脱落。
实施例2
本实施例与实施例1的不同之处在于,第二滑杆4062的底端设置有与第一滑杆4061相互匹配的凹槽,第一滑杆4061可以插入凹槽内部,用于收纳第一滑杆4061,可以进一步缩小支撑底板3的宽度,避免体积过大无法伸入导流筒的内部,第一滑杆4061可与外管4063的底端通过T型滑轨滑动连接,提高第一滑杆4061运动的稳定性。
实施例3
本实施例与实施例1的不同之处在于,炉盖1上贯穿设置有与支撑杆2相互匹配的通孔,支撑杆2穿过通孔延伸至炉盖1的顶端,且支撑杆2的顶端通过顶板5连接,炉盖1的顶端安装有第二液压伸缩杆6,且第二液压伸缩杆6的输出端与顶板5固定连接,用于推动顶板5上下滑动,通过第二液压伸缩杆6推动顶板5上下滑动,带动内夹持件4同步向下或者向上滑动,即可调整内夹持件4伸入导流筒内部的深度。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:包括炉盖(1)、至少两个支撑杆(2)和固定在支撑杆(2)底端的支撑底板(3),所述支撑底板(3)通过支撑杆(2)设置在炉盖(1)的正下方,所述支撑底板(3)上安装有用于抵住导流筒内侧壁的内夹持件(4),且内夹持件(4)包括安装在支撑底板(3)底端中间的驱动杆(405)、分别通过连接杆(404)设置在支撑底板(3)两侧的第一弧形板(402)和第二弧形板(403)、推动第一弧形板(402)向靠近或者远离支撑底板(3)的方向运动的第一液压伸缩杆(401)和用于对第一弧形板(402)和第二弧形板(403)运动进行限位导向的导向模块(406),所述驱动杆(405)的中部与支撑底板(3)转动连接,两个连接杆(404)的一端分别与驱动杆(405)的两端转动连接,两个连接杆(404)的另一端分别与第一弧形板(402)和第二弧形板(403)转动连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:所述导向模块(406)的数量设置有两个,且两个导向模块(406)对称设置在支撑底板(3)顶端的两侧。
3.根据权利要求2所述的单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:所述导向模块(406)包括固定在支撑底板(3)顶端的外管(4063)和分别插接在外管(4063)两端的第一滑杆(4061)和第二滑杆(4062),所述第一滑杆(4061)远离外管(4063)的一端与第一弧形板(402)固定连接,所述第二滑杆(4062)远离外管(4063)的一端与第二弧形板(403)固定连接。
4.根据权利要求3所述的单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:所述第二滑杆(4062)的底端设置有与第一滑杆(4061)相互匹配的凹槽,用于收纳第一滑杆(4061)。
5.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:所述炉盖(1)上贯穿设置有与支撑杆(2)相互匹配的通孔,所述支撑杆(2)穿过通孔延伸至炉盖(1)的顶端,且所述支撑杆(2)的顶端通过顶板(5)连接,所述炉盖(1)的顶端安装有第二液压伸缩杆(6),且第二液压伸缩杆(6)的输出端与顶板(5)固定连接,用于推动顶板(5)上下滑动。
6.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:所述炉盖(1)的顶端设置有若干吊装耳(101)。
7.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒液压提升装置,其特征在于:所述炉盖(1)的边缘处设置有安装裙边(102),且安装裙边(102)上贯穿设置有若干定位孔(1021)。
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