CN212958996U - 一种多用途半导体加工处理设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多用途半导体加工处理设备，包括加工处理设备，加工处理设备上安装有吸真空泵，吸真空泵的入口端连接有过滤装置，过滤装置包括相互配合的第一罐体和第二罐体，第一罐体和第二罐体的底端均设有开口，第一罐体和第二罐体的底端均螺纹连接有密封底盖，第一罐体和第二罐体顶端的内侧壁上分别固定安装有第一安装框和第二安装框，第一安装框和第二安装框的内侧壁上分别安装有精密滤网和滤膜。本实用新型中在吸真空泵的入口端设置有过滤装置，可以对被吸入吸真空泵内的气体进行过滤，从而避免切筋时产生的杂质被吸真空泵吸入后导致吸真空泵的工作效果变差和损坏吸真空泵，设计合理，实用效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种多用途半导体加工处理设备。
背景技术
经检索，中国专利号CN210429765U公开了一种多用途半导体加工处理装置，主体包括有半导体处理装置本体、异型真空吸盘、镂空支撑柱、端部微小真空吸盘、半导体切割线、半导体切割线支架、半导体加工平台、加工平台金属隔板，半导体处理装置本体设置有半导体加工平台，半导体加工平台顶部设置有异型真空吸盘，半导体处理装置本体侧面边缘设置有半导体切割线支架，半导体切割线支架头部设置有半导体切割线，异型真空吸盘侧面设置有端部微小真空吸盘，半导体加工平台侧面设置有加工平台金属隔板，半导体加工平台内部设置有镂空支撑柱。
现有的多用途半导体加工处理装置存在以下不足之处：半导体抽真空和切筋操作整合在一起，由于切筋时会产生较多的杂质，由于未在吸真空泵的入口端设置过滤装置，因此杂质被吸真空泵吸入后不仅会导致吸真空泵的工作效果变差，甚至会损坏吸真空泵，实用效果较差。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中多用途半导体加工处理设备设计不合理的问题，而提出的一种多用途半导体加工处理设备。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种多用途半导体加工处理设备，包括加工处理设备，所述加工处理设备上安装有吸真空泵，所述吸真空泵的入口端连接有过滤装置，所述过滤装置包括相互配合的第一罐体和第二罐体，所述第一罐体和第二罐体的底端均设有开口，所述第一罐体和第二罐体的底端均螺纹连接有密封底盖，所述第一罐体和第二罐体顶端的内侧壁上分别固定安装有第一安装框和第二安装框，所述第一安装框和第二安装框的内侧壁上分别安装有精密滤网和滤膜，所述第一罐体上对称安装有第一进气管和第一出气管，且第一进气管和第一出气管分别位于第一安装框的下侧和上侧，所述第二罐体上对称安装有第二进气管和第二出气管，且第二进气管和第二出气管分别位于第二安装框的下侧和上侧，所述第一出气管与第二进气管相互连接，所述第一罐体的顶端安装有与精密滤网相互配合的清理装置。
优选地，所述第一罐体和第二罐体底端的内侧壁上均固定安装有两个挡板，两个所述挡板均倾斜设置，且两个挡板相互交错。
优选地，所述清理装置包括固定安装在第一罐体顶壁上的气缸，所述气缸的输出端固定安装有活塞杆，且活塞杆的底端贯穿第一罐体的顶壁并延伸至第一罐体内，所述活塞杆的底端固定安装有安装板，所述安装板的底壁上固定安装有多个钢针，所述精密滤网上均匀设有多个滤网孔，且钢针与滤网孔一一对应。
优选地，所述第二罐体的顶端螺纹连接有密封顶盖，所述密封顶盖的底壁上固定安装有固定杆，且第二安装框固定安装在固定杆的底端。
优选地，所述第二罐体顶端的内侧壁上固定安装有与第二安装框相互配合的环形连接板，且第二安装框与环形连接板相互紧密接触。
与现有技术相比，本实用新型有如下有益效果：
1、在吸真空泵的入口端设置有过滤装置，可以对被吸入吸真空泵内的气体进行过滤，从而避免切筋时产生的杂质被吸真空泵吸入后导致吸真空泵的工作效果变差和损坏吸真空泵，设计合理，实用效果好；
2、结构简单，可以方便的对精密滤网进行清理和对滤膜进行更换，操作方便、快捷，从而改善了过滤装置的过滤效果，设计合理，使用效果好。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种多用途半导体加工处理设备的正面结构剖视图；
图2为本实用新型提出的一种多用途半导体加工处理设备的正面结构示意图。
图中：1第一罐体、2第二罐体、3密封底盖、4第一安装框、5第二安装框、6第一进气管、7第一出气管、8第二进气管、9第二出气管、10挡板、11气缸、12活塞杆、13安装板、14钢针、15密封顶盖、16环形连接板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种多用途半导体加工处理设备，包括加工处理设备，加工处理设备上安装有吸真空泵，吸真空泵的入口端连接有过滤装置，过滤装置包括相互配合的第一罐体1和第二罐体2，第一罐体1和第二罐体2的底端均设有开口，第一罐体1和第二罐体2的底端均螺纹连接有密封底盖3，便于将第一罐体1和第二罐体2底端的杂质排出，第一罐体1和第二罐体2顶端的内侧壁上分别固定安装有第一安装框4和第二安装框5，第一安装框4和第二安装框5的内侧壁上分别安装有精密滤网和滤膜，第一罐体1上对称安装有第一进气管6和第一出气管7，且第一进气管6和第一出气管7分别位于第一安装框4的下侧和上侧，第二罐体2上对称安装有第二进气管8和第二出气管9，且第二进气管8和第二出气管9分别位于第二安装框5的下侧和上侧，第一出气管7与第二进气管8相互连接，第一罐体1和第二罐体2底端的内侧壁上均固定安装有两个挡板10，两个挡板10均倾斜设置，且两个挡板10相互交错，可以防止落至第一罐体1和第二罐体2底端的杂质向上飞扬。
第一罐体1的顶端安装有与精密滤网相互配合的清理装置，清理装置包括固定安装在第一罐体1顶壁上的气缸11，气缸11的输出端固定安装有活塞杆12，且活塞杆12的底端贯穿第一罐体1的顶壁并延伸至第一罐体1内，活塞杆12的底端固定安装有安装板13，安装板13的底壁上固定安装有多个钢针14，精密滤网上均匀设有多个滤网孔，且钢针与滤网孔一一对应，启动气缸11可以驱动活塞杆12带动安装板13和钢针14上下移动，从而可以方便的将堵塞在精密滤网内的杂质推出，从而能避免精密滤网被堵塞。
第二罐体2的顶端螺纹连接有密封顶盖15，密封顶盖15的底壁上固定安装有固定杆，且第二安装框5固定安装在固定杆的底端，可以方便的将第二安装框5和滤膜安装至第二罐体2内或从第二罐体2内拆出，从而可以方便的对第二安装框5和滤膜进行更换。
第二罐体2顶端的内侧壁上固定安装有与第二安装框5相互配合的环形连接板16，且第二安装框5与环形连接板16相互紧密接触，提升了第二安装框5和滤膜与第二罐体2连接的密封性，从而能防止气体经第二安装框5和第二罐体2之间的间隙流出。
本实用新型中，气体经第一进气管6进入第一罐体1内，气体中部分的杂质经精密滤网过滤后再经第一出气管7排出，然后气体经第二进气管8进入第二罐体2内，气体中的杂质完全经滤膜过滤后再经第二出气管9排出，经第二出气管9排出的气体再被吸入吸真空泵内，从而可以对被吸入吸真空泵内的气体进行过滤。
进一步说明，上述固定连接，除非另有明确的规定和限定，否则应做广义理解，例如，可以是焊接，也可以是胶合，或者一体成型设置等本领域技术人员熟知的惯用手段。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种多用途半导体加工处理设备，包括加工处理设备，所述加工处理设备上安装有吸真空泵，其特征在于：所述吸真空泵的入口端连接有过滤装置，所述过滤装置包括相互配合的第一罐体(1)和第二罐体(2)，所述第一罐体(1)和第二罐体(2)的底端均设有开口，所述第一罐体(1)和第二罐体(2)的底端均螺纹连接有密封底盖(3)，所述第一罐体(1)和第二罐体(2)顶端的内侧壁上分别固定安装有第一安装框(4)和第二安装框(5)，所述第一安装框(4)和第二安装框(5)的内侧壁上分别安装有精密滤网和滤膜，所述第一罐体(1)上对称安装有第一进气管(6)和第一出气管(7)，且第一进气管(6)和第一出气管(7)分别位于第一安装框(4)的下侧和上侧，所述第二罐体(2)上对称安装有第二进气管(8)和第二出气管(9)，且第二进气管(8)和第二出气管(9)分别位于第二安装框(5)的下侧和上侧，所述第一出气管(7)与第二进气管(8)相互连接，所述第一罐体(1)的顶端安装有与精密滤网相互配合的清理装置。
2.根据权利要求1所述的一种多用途半导体加工处理设备，其特征在于：所述第一罐体(1)和第二罐体(2)底端的内侧壁上均固定安装有两个挡板(10)，两个所述挡板(10)均倾斜设置，且两个挡板(10)相互交错。
3.根据权利要求1所述的一种多用途半导体加工处理设备，其特征在于：所述清理装置包括固定安装在第一罐体(1)顶壁上的气缸(11)，所述气缸(11)的输出端固定安装有活塞杆(12)，且活塞杆(12)的底端贯穿第一罐体(1)的顶壁并延伸至第一罐体(1)内，所述活塞杆(12)的底端固定安装有安装板(13)，所述安装板(13)的底壁上固定安装有多个钢针(14)，所述精密滤网上均匀设有多个滤网孔，且钢针与滤网孔一一对应。
4.根据权利要求1所述的一种多用途半导体加工处理设备，其特征在于：所述第二罐体(2)的顶端螺纹连接有密封顶盖(15)，所述密封顶盖(15)的底壁上固定安装有固定杆，且第二安装框(5)固定安装在固定杆的底端。
5.根据权利要求4所述的一种多用途半导体加工处理设备，其特征在于：所述第二罐体(2)顶端的内侧壁上固定安装有与第二安装框(5)相互配合的环形连接板(16)，且第二安装框(5)与环形连接板(16)相互紧密接触。
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| CN113339829A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-09-03 | 安谊谊 | 一种便于热能回收的工业节能锅炉用烟尘净化装置 |
| CN114235834A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-03-25 | 郯城泽华基础工程有限公司 | 一种用于半导体器件加工的处理装置 |
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