CN212931043U - 一种真空炉用带过滤的混气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种真空炉用带过滤的混气装置，属于真空炉气体混合技术领域，包括混气筒，所述混气筒一端连接多根进气管，另一端连接一根出气管，出气管用于与真空炉连接，出气管与真空炉连接端为负压，所述混气筒内壁上设置有过滤装置，该过滤装置包括滤芯和位于滤芯外圈的固定环，滤芯的过滤精度为0.1～10微米。本实用新型，一方面滤芯起到了布气作用，可以提高混气效率，使混合更充分，混气效果好，另一方面可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空炉用带过滤的混气装置，属于真空炉气体混合技术领域。
背景技术
目前，真空炉的气体混合都是采用图1所述的混气装置，将需要混合的气体由进气管通过罐体的一端(进气端)通入罐体，再由另一端(出气端)引出通入真空炉，由于出气端为负压，气体由进气端通过罐体时通过自由扩散混合，这种方式混气效率低，混合不充分，混气效果差。
另外，在进气管和混气罐气体传输过程中，有可能会掉落杂质颗粒，随需要混合的气体一起进入真空炉，影响输入气体纯度，污染真空腔体。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种真空炉用带过滤的混气装置，一方面滤芯起到了布气作用，可以提高混气效率，使混合更充分，混气效果好，另一方面可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。
本实用新型采用以下技术方案：
一种真空炉用带过滤的混气装置，包括混气筒，所述混气筒一端连接多根进气管，另一端连接一根出气管，出气管用于与真空炉连接，出气管与真空炉连接端为负压，所述混气筒内壁上设置有过滤装置，该过滤装置包括滤芯和位于滤芯外圈的固定环，滤芯的过滤精度为0.1～10微米。
优选的，所述固定环为316L不锈钢材质，滤芯采用烧结的多孔金属滤芯、耐腐蚀耐热的镍基合金滤芯、100％镍合金、铝陶瓷、Teflon膜或陶瓷膜等，另外，本发明的滤芯也可采用现有高纯气体系统用气体过滤器内部所使用的滤芯。
本实用新型过滤装置的滤芯采用的是现有材料，其滤芯的过滤精度为微米级，在混气筒内起到布气盘的作用，使得气体分布混合均匀，同时可过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。
优选的，所述混气筒的内壁上周向设置有一环状的安装台阶，安装台阶与过滤装置的固定环之间采用多个螺丝等间距固定，安装台阶整体为环状，优选与混气筒内壁一体成型；
或者，所述混气筒的内壁上设置有一对安装耳，一对安装耳相对于混气筒轴线对称分布，安装耳与过滤装置的固定环之间采用螺丝固定。
本实用新型的安装台阶和安装耳上均有螺纹孔，固定环对应位置有通孔，可通过螺丝进行固定。
优选的，所述混气筒采用316L不锈钢材质。
优选的，所述进气管数量为2根，用于两种气体的混合，当然，也可根据需要设置多根进气管。
本实用新型未详尽之处，均可采用现有技术。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型的真空炉用带过滤的混气装置，将现有的气体过滤器设置于混气筒内，由于负压的作用，混合的气体由混气筒的一端经滤芯流向另一端(出气端)，在气体流通过程中，滤芯起到了布气盘的作用，使得气体分布、混合更均匀，并且，滤芯可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净，综上，本实用新型的滤芯，布气合理，一方面可以提高混气效率，使混合更充分，混气效果好，另一方面可以过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。
附图说明
图1为现有技术中混气装置的结构示意图；
图2为本实用新型真空炉用带过滤的混气装置一种实施例的剖面图；
图3为本实用新型带有安装耳的混气筒的横截面示意图；
其中，1-混气筒，2-进气管，3-出气管，4-滤芯，5-固定环，6-安装台阶，7-螺丝，8-安装耳。
具体实施方式：
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述，但不仅限于此，本实用新型未详尽说明的，均按本领域常规技术。
实施例1：
一种真空炉用带过滤的混气装置，如图2所示，包括混气筒1，混气筒1一端连接多根进气管2，另一端连接一根出气管3，出气管3用于与真空炉连接，出气管3与真空炉连接端为负压，混气筒1内壁上设置有过滤装置，该过滤装置包括滤芯4和位于滤芯4外圈的固定环6，过滤装置整体为圆形，尺寸与混气筒1内壁相适应，固定环6用于将过滤装置固定于混气筒内壁上，滤芯4的过滤精度为0.1～10微米。
实施例2：
一种真空炉用带过滤的混气装置，结构如实施例1所示，所不同的是，固定环5为316L不锈钢材质，滤芯4采用烧结的多孔金属滤芯。
本实用新型过滤装置的滤芯4采用的是现有材料，其滤芯的过滤精度为微米级，在混气筒内起到布气盘的作用，使得气体分布混合均匀，同时可过滤杂质颗粒，使混合后的气体更加洁净。
实施例3：
一种真空炉用带过滤的混气装置，结构如实施例2所示，所不同的是，如图2所示，混气筒1的内壁上周向设置有一环状的安装台阶6，安装台阶6与过滤装置的固定环5之间采用多个螺丝7等间距固定，安装台阶6整体为环状，与混气筒1内壁一体成型。
本实施例的安装台阶6上均有螺纹孔，固定环5对应位置有通孔，可通过螺丝进行固定。
实施例4：
一种真空炉用带过滤的混气装置，结构如实施例2所示，所不同的是，如图3所示，混气筒1的内壁上设置有一对安装耳8，一对安装耳8相对于混气筒1轴线对称分布，安装耳8与过滤装置的固定环5之间也采用螺丝7固定；
本实施例的安装耳8上均有螺纹孔，固定环5对应位置有通孔，可通过螺丝进行固定。
实施例5：
一种真空炉用带过滤的混气装置，结构如实施例2所示，所不同的是，混气筒1采用316L不锈钢材质，本实施例中，进气管1数量为2根，用于两种气体的混合，当然，也可根据需要设置多根进气管。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种真空炉用带过滤的混气装置，其特征在于，包括混气筒，所述混气筒一端连接多根进气管，另一端连接一根出气管，出气管用于与真空炉连接，出气管与真空炉连接端为负压，所述混气筒内壁上设置有过滤装置，该过滤装置包括滤芯和位于滤芯外圈的固定环，滤芯的过滤精度为0.1～10微米。
2.根据权利要求1所述的真空炉用带过滤的混气装置，其特征在于，所述固定环为316L不锈钢材质，滤芯采用多孔金属滤芯或镍基合金滤芯。
3.根据权利要求1所述的真空炉用带过滤的混气装置，其特征在于，所述混气筒的内壁上周向设置有一环状的安装台阶，安装台阶与过滤装置的固定环之间采用多个螺丝等间距固定；
或者，所述混气筒的内壁上设置有一对安装耳，一对安装耳相对于混气筒轴线对称分布，安装耳与过滤装置的固定环之间采用螺丝固定。
4.根据权利要求1所述的真空炉用带过滤的混气装置，其特征在于，所述混气筒采用316L不锈钢材质。
5.根据权利要求1所述的真空炉用带过滤的混气装置，其特征在于，所述进气管数量为2根。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021350955.7U CN212931043U (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 一种真空炉用带过滤的混气装置 |
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| CN202021350955.7U CN212931043U (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 一种真空炉用带过滤的混气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212931043U true CN212931043U (zh) | 2021-04-09 |
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ID=75329176
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021350955.7U Active CN212931043U (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 一种真空炉用带过滤的混气装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212931043U (zh) |
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2020
- 2020-07-10 CN CN202021350955.7U patent/CN212931043U/zh active Active
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