CN212916760U - 用于清洗机的喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋装置包括安装支架和喷淋管路，喷淋管路安装于安装支架上，喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，喷淋管路用于通过喷淋孔对待清洗件与承载装置接触的区域进行清洗。上述技术方案可以解决目前在清洗硅片等待清洗件的过程中，待清洗件与承载装置相互接触的位置处容易残留药液，进而对待清洗件的良品率产生不利影响的问题。

Description

用于清洗机的喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种用于清洗机的喷淋装置。

背景技术

在半导体的加工过程中，硅片等半导体产品在酸性药液中进行工艺后，还需在水中进行清洗，以洗掉残留于硅片表面的酸性药液。在清洁的过程中，硅片可以被放置在花篮等承载装置上，由于硅片和承载装置相互接触的位置不易被清洗干净，导致残存的酸性药液会腐蚀硅片，对硅片的良品率产生不利影响。

实用新型内容

本实用新型公开一种用于清洗机的喷淋装置，以解决目前在清洗硅片等清洗件的过程中，待清洗件与承载装置相互接触的位置处容易残留药液，进而对待清洗件的良品率产生不利影响的问题。

为了解决上述问题，本实用新型采用下述技术方案：

本实用新型提供一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋装置包括安装支架和喷淋管路，所述喷淋管路安装于所述安装支架上，所述喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，所述喷淋管路用于通过所述喷淋孔对所述待清洗件与所述承载装置接触的区域进行清洗。

本实用新型采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请公开的喷淋装置可以喷淋放置在承载装置上的待清洗件，喷淋管路安装在安装支架上，且喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，在喷淋管路中通入清洗液体的情况下，清洗液体可以自喷淋孔被喷出，以借助自喷淋孔喷出的喷淋液体对待清洗件与承载装置接触的区域进行清洗，使得待清洗件与承载装置相互接触的区域也能够被清洗得更为彻底，提升待清洗件的良品率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例公开的喷淋装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例公开的喷淋装置中喷淋管路的放大示意图；

图3为本实用新型实施例公开的喷淋装置在另一方向上的结构示意图；

图4为本实用新型实施例公开的喷淋装置的使用状态示意图；

图5为本实用新型实施例公开的喷淋装置在另一方向上的使用状态示意图；

图6为本实用新型实施例公开的喷淋装置中局部结构的放大图。

附图标记说明：

100-安装支架、110-第一架体、120-第二架体、130-第三架体、140-弹性固定圈、141-拆装口；

210-进液管、220-第一出液管、230-第二出液管、231-第二喷淋孔；

300-通断阀；

400-流量控制阀；

500-承载装置；

600-待清洗件。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

以下结合附图，详细说明本实用新型各个实施例公开的技术方案。

如图1-图6所示，本实用新型公开一种喷淋装置，喷淋装置可以安装在清洗机上。喷淋装置包括安装支架100和喷淋管路，喷淋装置在通入纯水等清洁液体时，可以对放置在承载装置上的硅片等待清洗件600进行清洗，承载装置具体可以为花篮。

其中，安装支架100可以采用塑料、木头或金属等材料制成，其尺寸和结构可以根据喷淋管路的结构对应设计，以为喷淋管路提供稳定的支撑作用。

喷淋管路安装在安装支架100上，可以防止喷淋装置工作过程中，因出现喷淋管路运动等情况，而影响清洗工作的正常进行。具体地，喷淋管路可以采用塑料或金属等材料制成，其管径可以根据实际需求确定。可选地，喷淋管路为硬质结构件，这可以进一步防止喷淋管路在工作过程中出现位置移动的情况。喷淋管路可以通过绑带或金属丝等固定在安装支架100上，或者，在喷淋管路与安装支架100均采用金属材料制成的情况下，还可以通过焊接等方式将喷淋管路固定在安装支架100上。再比如，还可以借助固定件使喷淋管路可靠地被安装在安装支架100上。

喷淋管路设有至少一个喷淋孔，在清洗工作过程中，纯水等清洁液体可以通入送至喷淋管路中，随着清洁液体的持续输入，清洁液体可以自喷淋孔被喷出，以对待清洗件600与承载装置500接触的区域进行清洗。可选地，在布设喷淋装置的过程中，可以根据喷淋管路上喷淋孔所在的位置，对应选定喷淋管路与待清洗件600的相对位置，以保证自喷淋孔中喷出的清洗液体能够被喷淋至待清洗件600与承载装置500接触的区域。

例如，喷淋孔的数量可以为多个，且使多个喷淋孔均位于喷淋管路的上侧，多个喷淋孔沿喷淋管路间隔分布，在借助上述结构的喷淋装置对待清洗件600进行清洗工作时，可以将喷淋管路固定在待清洗件600的下方，且根据待清洗件600与承载装置500相互接触的位置，将喷淋管路固定在某一固定位置，保证喷淋孔喷出的清洁液体基本均可以喷淋至待清洗件600上，完成对待清洗件600的清洗工作，尤其是对待清洗件600与承载装置500相互接触的区域。

具体地，喷淋孔可以采用钻加工或扎孔等工艺形成，喷淋孔的孔径和数量可以根据液压和喷淋距离等实际因素确定。可选地，喷淋孔的数量与单次清洗的待清洗件600的数量相同，且根据支撑在承载装置500上的多个待清洗件600中相邻的两个待清洗件600之间的间距，确定相邻的两个喷淋孔之间的间距，这使得多个喷淋孔能够与多个被清洗的待清洗件600一一对应，保证多个待清洗件600的被清洗效果均相对较好。

需要说明的是，喷淋孔位于喷淋管路的上侧指的是，在喷淋管路处于正常工作状态时，喷淋孔的轴线所在的方向为重力方向，从而在清洗待清洗件600的过程中，可以将喷淋装置放置在盛放待清洗件600的承载装置500的下方，使自喷淋孔喷出的清洗液体可以喷向位于喷淋管路上方的承载装置500，以对放置在承载装置500上的待清洗件600进行清洗。另外，在待清洗件600的清洗过程中，通常可以将盛放有待清洗件600的承载装置500放置在水池中，在这种情况下，本申请公开的喷淋装置也可以被放置在水池的底部，自喷淋孔被喷出的清洗液体可以提升水池内的清洗液体的流动性，通过将喷淋装置放置在待清洗件600与承载装置500相互接触的区域周围，也能够保证待清洗件600可以被清洗得更为彻底，提升待清洗件600的良品率。

进一步地，喷淋管路包括进液管210和出液管，进液管210的一端设有进液口，出液管的一端为封堵端，进液管210的另一端与出液管的另一端连通，各喷淋孔均位于出液管。可选地，喷淋孔的数量为多个，出液管为直管结构件，以使出液管上的多个喷淋孔与待清洗件600之间的间距基本相同，保证多个喷淋孔喷出的清洗液体对不同位置处的待清洗件600的清洗效果也基本相同。另外，在出液管为直管结构件的情况下，还便于出液管的安放工作的进行。

出液管安装在安装支架100上，进液管210向出液管背离安装支架100的方向延伸，这使得进液管210的布置难度相对较低，尤其是在喷淋装置放置在水池底部使用时，出液管可以被直接放置在水底的底部，由于进液管210向出液管背离安装架的方向延伸，进而使得进液管210可以经水池上方伸出，进一步降低整个喷淋装置的安放难度。

具体地，进液管210和出液管可以采用一体成型的方式形成，或者，二者分体成型，且可以通过弯头和/或接头相互连接且连通。另外，进液管210和出液管的孔径可以相同，也可以不同。

在清洗待清洗件600时，待清洗件600与承载装置500之间的接触点通常为至少有两个，基于前述原因，可选地，出液管包括第一出液管220和第二出液管230，第一出液管220和第二出液管230平行设置且均位于承载装置500的外面，第一出液管220和第二出液管230之间通过连接管路连通，进液管210的另一端与前述连接管路的一端连通。在这种情况下，待清洗件600与承载装置500相互接触的两个区域中的一者可以与第一出液管220相对设置，另一者可以与第二出液管230相对设置，从而使待清洗件600中与承载装置500接触的两个区域均可以在喷淋孔喷出的清洗液体的清洗作用下被清洗干净。

具体地，第一出液管220和第二出液管230的尺寸可以相同，且二者之间的间距可以根据承载装置500的尺寸，以及喷淋管路与承载装置500之间相对位置等实际情况确定。另外，喷淋孔的位置也可以根据第一出液管220和第二出液管230二者各自与承载装置500之间的相对位置确定，例如，第一出液管220位于待清洗件600与承载装置500接触的区域的正下方，则可以使第一出液管220上的喷淋孔位于第一出液管220的顶部，也即喷淋孔的轴线所在的方向为重力方向；而在第一出液管220位于待清洗件600和承载装置500接触的区域与待清洗件600的轴线之间的情况下，则可以使第一出液管220上的喷淋孔位于第一出液管220的上方，且使喷淋孔位于第一出液管220背离待清洗件600的轴线的一侧，保证自第一出液管220喷出的清洁液体能够喷淋至待清洗件600和承载装置500接触的区域。当然，第二出液管230上的喷淋孔的位置与第一出液管220上的喷淋孔的设计思路相似。

更具体地，多个喷淋孔包括设置在第一出液管220的第一喷淋孔和设置在第二出液管230的第二喷淋孔231，第一喷淋孔和第二喷淋孔231的数量均可以为多个，且多个第一喷淋孔沿第一出液管220均匀且间隔分布，多个第二喷淋孔231沿第二出液管230均匀且间隔分布。

可选地，第一喷淋孔和第二喷淋孔231相对于待清洗件600的中轴线对称设置，在第一喷淋孔和第二喷淋孔231均设置有多个的情况下，可以使多个第一喷淋孔和多个第二喷淋孔231一一对应地对称设置。采用上述技术方案的情况下，在安放喷淋装置的过程中，仅需使第一出液管220和第二出液管230分别位于待清洗件600的中轴线的相背两侧，且使第一出液管220与第二出液管230与待清洗件600的中轴线之间的间距大致相等，即可保证自第一喷淋孔和第二喷淋孔231喷出的清洁液体均能对应喷淋至待清洗件600与承载装置500接触的区域，这可以进一步降低喷淋装置的安放难度。

可选地，第一喷淋孔位于第一出液管220靠近第二出液管230的一侧，第二喷淋孔231位于第二出液管230靠近第一出液管220的一侧。也就是说，第一喷淋孔和第二喷淋孔231的轴线均倾斜设置，这使得自第一喷淋孔和第二喷淋孔231喷出的清洁液体可以倾斜地喷向承载装置500和待清洗件600，相比于竖直向上喷淋，上述技术方案可以降低清洁液体喷出时受到的阻力，进而使清洁液体被喷出后的喷淋方向变化不大。

另外，可以通过改变喷淋装置与承载装置500之间的相对位置，使自第一喷淋孔和第二喷淋孔231喷出的液体尽量避开承载装置500的遮挡，而是直接喷淋在待清洗件600上，提升清洁效果。或者，也可以使清洁液体喷淋至待清洗件600与承载装置500接触的位置的上方，在清洁液体的流动作用下，也可以对待清洗件600与承载装置500接触的位置进行清洗工作。

更具体地，第一出液管220和第二出液管230的垂线与第一喷淋孔的轴线之间的夹角为45°，从而在降低清洁液体喷出时受到的阻力的同时，尽量防止因喷淋液体在自身重力作用下向下运动而降低清洁效果。相似地，如图6所示，第一出液管220和第二出液管230的垂线与第二喷淋孔231的轴线之间的夹角为45°。

在第一出液管220和第二出液管230平行设置的情况下，安装支架100可以包括第一架体110、第二架体和第三架体130，第一出液管220安装在第一架体110上，第二出液管230安装在第二架体上，为了提升整个安装支架100的稳定性，第一架体110和第二架体通过第三架体130固定连接，保证整个喷淋装置在工作过程中的稳固性能相对较高。可选地，第一架体110的相背两端均可以通过第三架体130与第二架体的相背两端对应连接。具体地，第一架体110、第二架体和第三架体130可以采用金属材料形成，且可以通过焊接的方式相互固定。

如上所述，喷淋管路可以通过多种方式安装于安装支架100，可选地，安装支架100包括架体和弹性固定圈140，弹性固定圈140安装在架体上，弹性固定圈140能够固定喷淋管路，弹性固定圈140具有拆装口141，在拆装喷淋管路的过程中，可以通过向喷淋管路施加一定的作用力，使弹性固定圈140发生一定的弹性形变，进而喷淋管路能够通过拆装口141安装至弹性固定圈140内，或者自弹性固定圈140内拆出。为了降低喷淋管路的拆装难度，拆装口141的表面为弧形导向面，以为喷淋管路的拆装过程提供导向和避让作用。

可选地，本实用新型公开的喷淋装置还可以包括通断阀300，通断阀300安装在喷淋管路上，在清洗工作过程中，可以通过打开或关闭通断阀300，控制清洁液体能够自喷淋孔被喷出，通断阀300可以为气动阀，可选地，通断阀300可以为常闭式气动阀，其可以安装在喷淋管路的进液口和多个喷淋孔之间。

可选地，本实用新型公开的喷淋装置还可以包括流量控制阀400，流量控制阀400安装于喷淋管路上，在清洗过程中，通过调节流量控制阀400，可以调节各喷淋孔的流量，从而可以通过调节流量控制阀400清洁污染程度不同的待清洗件600，流量控制阀400可以为针阀，针阀的调节精度相对较高，流量控制阀400安装在喷淋管路的进液口和多个喷淋孔之间。

本实用新型上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种用于清洗机的喷淋装置，用于喷淋放置在承载装置上的待清洗件，其特征在于，包括安装支架(100)和喷淋管路，所述喷淋管路安装于所述安装支架(100)上，所述喷淋管路上设有至少一个喷淋孔，所述喷淋管路用于通过所述喷淋孔对所述待清洗件与所述承载装置接触的区域进行清洗。

2.根据权利要求1所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管路包括进液管(210)和出液管，所述进液管(210)的一端设有进液口，所述出液管的一端为封堵端，所述进液管(210)的另一端与所述出液管的另一端连通，各所述喷淋孔均位于所述出液管，所述出液管安装于所述安装支架(100)上，所述进液管(210)向所述出液管背离所述安装支架(100)的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述出液管包括第一出液管(220)和第二出液管(230)，所述第一出液管(220)和所述第二出液管(230)平行设置且均位于所述承载装置的外面，所述第一出液管(220)和所述第二出液管(230)之间通过连接管路连通，所述进液管(210)的所述另一端与所述连接管路的一端连通。

4.根据权利要求3所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，多个所述喷淋孔包括设置于所述第一出液管(220)的第一喷淋孔和设置于所述第二出液管(230)的第二喷淋孔(231)，所述第一喷淋孔与所述第二喷淋孔(231)相对于所述待清洗件的中轴线对称设置。

5.根据权利要求3所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，多个所述喷淋孔包括设置于所述第一出液管(220)的第一喷淋孔和设置于所述第二出液管(230)的第二喷淋孔(231)，所述第一喷淋孔位于所述第一出液管(220)靠近所述第二出液管(230)的一侧，所述第二喷淋孔(231)位于所述第二出液管(230)靠近所述第一出液管(220)的一侧。

6.根据权利要求5所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述第一出液管(220)和所述第二出液管(230)的垂线与所述第一喷淋孔的轴线之间的夹角为45°，所述第一出液管(220)和所述第二出液管(230)的垂线与所述第二喷淋孔(231)的轴线之间的夹角为45°。

7.根据权利要求3所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述安装支架(100)包括第一架体(110)、第二架体(120)和第三架体(130)，所述第一出液管(220)安装于所述第一架体(110)上，所述第二出液管(230)安装于所述第二架体(120)上，所述第一架体(110)和所述第二架体(120)通过所述第三架体(130)固定连接。

8.根据权利要求1所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述安装支架(100)包括架体和弹性固定圈(140)，所述弹性固定圈(140)安装于所述架体上，所述弹性固定圈(140)用于固定所述喷淋管路，所述弹性固定圈(140)具有拆装口(141)，所述拆装口(141)的表面为弧形导向面。

9.根据权利要求1所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括通断阀(300)，所述喷淋管路设有进液口，所述通断阀(300)安装于所述喷淋管路上，且位于所述进液口和多个所述喷淋孔之间。

10.根据权利要求1所述的用于清洗机的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括流量控制阀(400)，所述喷淋管路设有进液口，所述流量控制阀(400)安装于喷淋管路上，且位于所述进液口和多个所述喷淋孔之间。

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