CN212902633U - 一种设有隔热结构的还原炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种设有隔热结构的还原炉,涉及还原炉结构技术领域,其主要在现有还原炉结构的基础上,于内炉壁上连接覆盖多个隔热片,以对内炉壁进行隔断,进而提升内炉壁隔热性能,降低热量散失,以降低整个还原炉在生产阶段所需求电能。
Description
技术领域
本实用新型涉及还原炉结构技术领域,具体而言,涉及一种设有隔热结构的还原炉。
背景技术
还原炉是一种广泛地应用于硅晶体生产的设备,其能量来源主要是原料携带的热量和还原炉的电能。目前,无论是24对棒、36对棒还是72对棒,所有还原炉的内炉壁均采用不锈钢制造,电镀抛光加工,这种结构设置导致内炉壁的散热量较高,还原炉在生产阶段需要较高电能,以维持炉室内温度。据此,如何降低内炉壁的散热量,以降低还原炉在生产时的电耗成为一个亟待解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种设有隔热结构的还原炉,其可有效提升内炉壁的隔热效果,进而降低整个还原炉的电耗。
本实用新型的实施例是这样实现的:
一种设有隔热结构的还原炉,包括具有内炉壁的炉本体,还包括设于所述炉本体内的隔热结构,所述隔热结构包括多片固定连接于内炉壁上并覆盖内炉壁的隔热片。
优选的,所述隔热片采用单晶硅体制造而成。
优选的,多片隔热片沿炉本体的轴向分层布置,每层中的隔热片沿所述炉本体的周向相间隔地均匀排布。
优选的,多片隔热片沿炉本体的轴向被分为7层,每层中隔热片的数量为24片,相邻两层中的隔热片错开设置。
优选的,所述隔热结构还包括用于将所述隔热片固定连接于内炉壁上的支架结构。
优选的,所述支架结构包括与所述炉本体同轴线的连接环,所述连接环的数量与所述隔热片的层数相对应且沿炉本体的轴向依次分布,对应层的隔热片设于所述连接环的内侧,所述连接环的外环部位与所述内炉壁固定连接,所述连接环的内环部位上形成有用于连接对应层隔热片的连接结构。
优选的,所述连接环与所述内炉壁之间焊接固定。
优选的,所述连接结构包括有沿所述炉本体的径向朝内延伸的插固杆,所述插固杆的一端与连接环固定连接,而其另一端则插入所述隔热片。
优选的,所述插固杆贯穿所述隔热片,且其伸出于所述隔热片的端部连接有能够沿所述插固杆轴向移动并自锁的限位件,所述限位件配合所述连接环的内环部位,夹持固定住所述隔热片。
优选的,所述隔热片呈矩片形状。
由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果包括:
(1)本实用新型主要在现有还原炉结构的基础上,于内炉壁上连接覆盖多个隔热片,以对内炉壁进行隔断,进而提升内炉壁隔热性能,降低热量散失,以实现降低整个还原炉在生产阶段所需求电能的目的。
(2)本实用新型还用于连接内炉壁和隔热片的支架结构做出了改进,在本实用新型当中,支架结构主要连接环和插固杆所构成,连接环的外环部位与内炉壁之间焊接固定,并通过上述插固杆而与隔热片相连接,整个结构具有着安装要求低、装卸速率快的优势。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本实用新型所提供的实施例1的纵剖面结构示意图;
图2为单晶硅棒切方的工艺过程示意图;
图3为本实用新型所提供的实施例1中连接环结构示意图;
图4为本实用新型所提供的实施例1中支架结构与隔热板、内炉壁之间的连接示意图。
【具体符号说明】:
10-内炉壁,20-隔热片,30-单晶硅棒,41-连接环,42-插固杆,43-止抵螺母。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,本实用新型的描述中若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,本实用新型的描述中若出现“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例1
参见图1,本实施例1提出一种设有隔热结构的还原炉,包括具有内炉壁10的炉本体,还包括设于所述炉本体内的隔热结构,所述隔热结构包括多片固定连接在内炉壁10上并覆盖内炉壁10的隔热片20。
由于隔热片20隔断了内炉壁10和还原炉炉室,避免还原炉炉室的热辐射直接作用于内炉壁10,从而降低了热辐射的传递效果,以对内炉壁10进行隔断,进而提升内炉壁10隔热性能,降低热量散失,以实现降低整个还原炉在生产阶段所需求电能的目的。可以理解的是,隔热片20的设置属于增加热传递构件,所以只要其能耐受还原炉的使用温度,即可实现提升内炉壁10隔热性能的效果,从而达到减少还原炉电耗的目的。在其他实施例中,上述隔热片20采用岩棉材料制成。
而在本实施例1中上述的还原炉主要用于用于单晶硅体的生产制造,所以为降低实施成本,避免额外购置保温材料,请参见图2,在本实施例1中,上述隔热片20主要是以单晶硅棒30切方后的边角料为基础材料,切割成矩片形状制造而成。
进一步的,对于这种由边角料加工而成的隔热片20而言,其尺寸结构由产品决定,普遍较小,难以直接贴合于内炉壁10。所以请参见图1,在本实施例1中,多片隔热片20沿炉本体的轴向分层布置,每层中的隔热片20沿所述炉本体的周向相间隔地均匀排布,这结构设置能保障较小尺寸的隔热片20对于内炉壁10的覆盖率。更为具体的,在本实施例1中,多片隔热片20沿炉本体的轴向被分为7层,每层中隔热片20的数量为24片,相邻两层中的隔热片20错开设置。
另外,关于本实施例1中内炉壁10与隔热片20之间的连接结构,请参见图3和图4,所述隔热结构还包括用于将所述隔热片20固定连接在内炉壁10上的支架结构,所述支架结构包括20与所述炉本体同轴线的连接环41,所述连接环41的数量与所述隔热片20的层数相对应且沿炉本体的轴向依次分布,对应层的隔热片20设于所述连接环41的内侧,所述连接环41的外环部位与所述内炉壁10固定连接,所述连接环41的内环部位上形成有用于连接对应层隔热片20的连接结构。
其中上述对应层即指:每一层隔热片20连接在同一连接环41上
本实施例1中所采用的支架结构以连接环41为主体,其主要向采用单晶硅体等无法进行焊接连接的部件提供着落点,整个结构具有实施简单、加工方便的优势,实施人员可以依据自身需求而对应设置用于连接对应层隔热片20和连接环41内环部位的连接结构。更为具体的,在本实施例1中,连接环41主要由多段呈弧条状的子段依次首尾焊接相连拼接构成,以降低连接环41的实施制造成本。
在本实施例1中,所述连接结构包括有沿所述炉本体的径向朝内延伸的插固杆42,所述插固杆42的一端与连接环41固定连接,而其另一端则插入所述隔热片20,所述插固杆42贯穿所述隔热片20,且其伸出于所述隔热片20的端部连接有能够沿所述插固杆42轴向移动并自锁的限位件,所述限位件配合所述连接环41的内环部位,夹持固定住所述隔热片20。
在拆装时,实施人员仅需要将对应的插固杆42插入于隔热片20当中,使隔热片20由插固杆42支承起来,然后,移动限位件使其配合着连接环41的内环部位夹持住隔热片20,即可实现对于隔热片20的固定。装拆起来均较为方便。
请参见图4,在本实施例1中,上述插固杆42的外周上开设有外螺纹,而限位件为螺纹连接在插固杆42上的止抵螺母43,上述每片隔热片20只穿入有两根分置于上下两侧的插固杆42。以两根插固杆42插接隔热片20,可有效避免隔热片20与插固杆42之间发生意外转动。实施人员可以依据自身需求而对应选择每片隔热片20当中所插入的插固杆42的数量以及具体的限位件。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种设有隔热结构的还原炉,包括具有内炉壁的炉本体,其特征在于,还包括设于所述炉本体内的隔热结构,所述隔热结构包括多片固定连接于内炉壁上并覆盖内炉壁的隔热片;多片隔热片沿炉本体的轴向分层布置,每层中的隔热片沿所述炉本体的周向相间隔地均匀排布一周。
2.如权利要求1所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述隔热片采用单晶硅体制造而成。
3.如权利要求1所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,多片隔热片沿炉本体的轴向被分为7层,每层中隔热片的数量为24片,相邻两层中的隔热片错开设置。
4.如权利要求1所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述隔热结构还包括用于将所述隔热片固定连接于内炉壁上的支架结构。
5.如权利要求4所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述支架结构包括与所述炉本体同轴线的连接环,所述连接环的数量与所述隔热片的层数相对应且沿炉本体的轴向依次分布,对应层的隔热片设于所述连接环的内侧,所述连接环的外环部位与所述内炉壁固定连接,所述连接环的内环部位上形成有用于连接对应层隔热片的连接结构。
6.如权利要求5所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述连接环与所述内炉壁之间焊接固定。
7.如权利要求5所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述连接结构包括有沿所述炉本体的径向朝内延伸的插固杆,所述插固杆的一端与连接环固定连接,而其另一端则插入所述隔热片。
8.如权利要求7所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述插固杆贯穿所述隔热片,且其伸出于所述隔热片的端部连接有能够沿所述插固杆轴向移动并自锁的限位件,所述限位件配合所述连接环的内环部,夹持固定住所述隔热片。
9.如权利要求1所述设有隔热结构的还原炉,其特征在于,所述隔热片呈矩片形状。
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