CN212895075U - 一种单晶炉用的高效加料机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉用的高效加料机构，包括上炉腔、进料口、隔离阀和压碎结构，该单晶炉用的高效加料机构，在上炉腔顶部设置了压碎结构，转动旋钮带动蜗杆和蜗轮配合转动，蜗轮通过转轴带动滚筒转动，使滑块沿滚筒外壁的滑槽纵向往复移动，滑块带动固定块使粉碎杆纵向往复移动，粉碎杆带动粉碎板纵向往复移动压缩多晶原料，如此往复以实现对多晶原料的粉碎工作，避免因多晶原料的外形及尺寸均呈不规整状，而造成上炉腔存放空间的浪费，提高了上炉腔的多晶原料存放量。
Description
技术领域
本实用新型具体是一种单晶炉用的高效加料机构，涉及半导体新材料制备技术相关领域。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，采用石墨加热器将硼、磷及多晶硅等掺杂物多晶原料熔化，以直拉法生长无错位单晶的设备，而加料机构则是单晶炉原料供应中必不可少的配件。
现有技术中单晶炉用的高效加料机构，通常采用一次性加料方式，为了保证多晶原料供应充足，大多数坩埚顶部安装有上炉腔，由于多晶原料的外形及尺寸均呈不规整状，上炉腔存放的多晶原料易产生空隙，造成上炉腔存放空间的浪费。
实用新型内容
因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种单晶炉用的高效加料机构。
本实用新型是这样实现的，构造一种单晶炉用的高效加料机构，该装置包括上炉腔、进料口、隔离阀和压碎结构，所述上炉腔外壁顶部开设有进料口，且上炉腔底部安装有隔离阀，所述压碎结构设置于上炉腔顶部，所述压碎结构包括粉碎盒、滚筒、滑槽、粉碎杆、粉碎板、固定块、弹簧槽、弹簧、滑块、传动组件和旋钮，所述粉碎盒固定于上炉腔顶面，所述滚筒设置于粉碎盒内右侧，且滚筒外壁环绕有滑槽，所述粉碎杆设置于粉碎盒内左侧，所述粉碎板设置于上炉腔内顶部，所述固定块左侧内壁与粉碎杆外壁顶部相连接，且固定块右侧开设有弹簧槽，所述弹簧嵌于弹簧槽内左侧，且弹簧槽内右侧嵌有滑块，所述传动组件设置于上炉腔顶部右侧，且传动组件后端右侧设置有旋钮。
优选的，所述传动组件包括传动盒、蜗杆和蜗轮，所述传动盒固定于上炉腔顶面右侧，所述传动盒内右侧设置有蜗杆，且传动盒内左侧设置有蜗轮。
优选的，所述滑槽纵向环绕开设于滚筒外壁，且滑槽呈首尾相连状。
优选的，所述粉碎杆顶部贯穿粉碎盒顶面左侧，且粉碎杆顶面固定有限位片。
优选的，所述粉碎杆底部贯穿粉碎盒与粉碎板顶端中部相连接，且粉碎板底面固定有大小均匀的倒圆锥粉碎块。
优选的，所述弹簧左侧与弹簧槽内左侧相连接，且弹簧右侧与滑块左侧相连接。
优选的，所述滑块右侧嵌于滑槽内，且滑块右面呈光滑状态。
优选的，所述蜗杆后端贯穿传动盒与旋钮前端相连接，且蜗杆左侧与蜗轮右侧相连接。
优选的，所述粉碎杆为钨钢材质制成。
优选的，所述弹簧为弹簧钢材质制成。
本实用新型具有如下优点：本实用新型通过改进在此提供一种单晶炉用的高效加料机构，与同类型设备相比，具有如下改进：
优点：本实用新型所述一种单晶炉用的高效加料机构，在上炉腔顶部设置了压碎结构，转动旋钮带动蜗杆和蜗轮配合转动，蜗轮通过转轴带动滚筒转动，使滑块沿滚筒外壁的滑槽纵向往复移动，滑块带动固定块使粉碎杆纵向往复移动，粉碎杆带动粉碎板纵向往复移动压缩多晶原料，如此往复以实现对多晶原料的粉碎工作，避免因多晶原料的外形及尺寸均呈不规整状，而造成上炉腔存放空间的浪费，提高了上炉腔的多晶原料存放量。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图；
图2是本实用新型主视剖面结构示意图；
图3是本实用新型粉碎机构主视剖面结构示意图；
图4是本实用新型图3中A处结构放大图；
图5是本实用新型传动组件俯视剖面结构示意图。
其中：上炉腔-1、进料口-2、隔离阀-3、压碎结构-4、粉碎盒-41、滚筒-42、滑槽-43、粉碎杆-44、粉碎板-45、固定块-46、弹簧槽-47、弹簧-48、滑块-49、传动组件-410、旋钮-411、传动盒-4101、蜗杆-4102、蜗轮-4103。
具体实施方式
下面将结合附图1-5对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1和2，本实用新型通过改进在此提供一种单晶炉用的高效加料机构，包括上炉腔1、进料口2、隔离阀3和压碎结构4，上炉腔1外壁顶部开设有进料口2，且上炉腔1底部安装有隔离阀3，压碎结构4设置于上炉腔1顶部。
请参阅图3和4，本实用新型通过改进在此提供一种单晶炉用的高效加料机构，压碎结构4包括粉碎盒41、滚筒42、滑槽43、粉碎杆44、粉碎板45、固定块46、弹簧槽47、弹簧48、滑块49、传动组件410和旋钮411，粉碎盒41固定于上炉腔1顶面，滚筒42设置于粉碎盒41内右侧，且滚筒42外壁环绕有滑槽43，粉碎杆44设置于粉碎盒41内左侧，粉碎板45设置于上炉腔1内顶部，固定块46左侧内壁与粉碎杆44外壁顶部相连接，且固定块46右侧开设有弹簧槽47，弹簧48嵌于弹簧槽47内左侧，且弹簧槽47内右侧嵌有滑块49，传动组件410设置于上炉腔1顶部右侧，且传动组件410后端右侧设置有旋钮411，滑槽43纵向环绕开设于滚筒42外壁，且滑槽43呈首尾相连状，便于滚筒42带动粉碎杆44纵向往复移动，粉碎杆44顶部贯穿粉碎盒41顶面左侧，且粉碎杆44顶面固定有限位片，避免粉碎杆44从粉碎盒41处脱落，粉碎杆44底部贯穿粉碎盒41与粉碎板45顶端中部相连接，且粉碎板45底面固定有大小均匀的倒圆锥粉碎块，便于粉碎杆44带动粉碎板45进行粉碎活动，弹簧48左侧与弹簧槽47内左侧相连接，且弹簧48右侧与滑块49左侧相连接，保证弹簧48的稳定性，滑块49右侧嵌于滑槽43内，且滑块49右面呈光滑状态，便于滑块49在滑槽43内处滑动，粉碎杆44为钨钢材质制成，弹簧48为弹簧钢材质制成。
请参阅图5，本实用新型通过改进在此提供一种单晶炉用的高效加料机构，传动组件410包括传动盒4101、蜗杆4102和蜗轮4103，传动盒4101固定于上炉腔1顶面右侧，传动盒4101内右侧设置有蜗杆4102，且传动盒4101内左侧设置有蜗轮4103，蜗杆4102后端贯穿传动盒4101与旋钮411前端相连接，且蜗杆4102左侧与蜗轮4103右侧相连接，保证旋钮411正常带动蜗杆4102和蜗轮4103配合转动。
本实用新型通过改进提供一种单晶炉用的高效加料机构，其工作原理如下；
第一，将隔离阀3底部固定于单晶炉顶部，以实现高效加料机构的安装工序，往上炉腔1外壁顶部的进料口2处倒入多晶原料，保证多晶原料供应量充足；
第二，转动旋钮411带动传动盒4101内的蜗杆4102和蜗轮4103配合转动；蜗轮4103通过转轴带动滚筒42转动，使滑块49沿滚筒42外壁的滑槽43纵向往复移动；
第三，滑块49带动固定块46使粉碎杆44纵向往复移动，粉碎杆44带动粉碎板45纵向往复移动压缩多晶原料，如此往复以实现对多晶原料的粉碎工作，避免因多晶原料的外形及尺寸均呈不规整状，而造成上炉腔存放空间的浪费；
第四，滑块49滑动过程中反复挤压弹簧槽47的弹簧48，避免固定块46因压力过大而损坏，保证了压碎结构4的使用寿命。
Claims (8)
1.一种单晶炉用的高效加料机构，包括上炉腔(1)、进料口(2)和隔离阀(3)，所述上炉腔(1)外壁顶部开设有进料口(2)，且上炉腔(1)底部安装有隔离阀(3)，其特征在于：还包括压碎结构(4)，所述压碎结构(4)设置于上炉腔(1)顶部，所述压碎结构(4)包括粉碎盒(41)、滚筒(42)、滑槽(43)、粉碎杆(44)、粉碎板(45)、固定块(46)、弹簧槽(47)、弹簧(48)、滑块(49)、传动组件(410)和旋钮(411)，所述粉碎盒(41)固定于上炉腔(1)顶面，所述滚筒(42)设置于粉碎盒(41)内右侧，且滚筒(42)外壁环绕有滑槽(43)，所述粉碎杆(44)设置于粉碎盒(41)内左侧，所述粉碎板(45)设置于上炉腔(1)内顶部，所述固定块(46)左侧内壁与粉碎杆(44)外壁顶部相连接，且固定块(46)右侧开设有弹簧槽(47)，所述弹簧(48)嵌于弹簧槽(47)内左侧，且弹簧槽(47)内右侧嵌有滑块(49)，所述传动组件(410)设置于上炉腔(1)顶部右侧，且传动组件(410)后端右侧设置有旋钮(411)。
2.根据权利要求1所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述传动组件(410)包括传动盒(4101)、蜗杆(4102)和蜗轮(4103)，所述传动盒(4101)固定于上炉腔(1)顶面右侧，所述传动盒(4101)内右侧设置有蜗杆(4102)，且传动盒(4101)内左侧设置有蜗轮(4103)。
3.根据权利要求1所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述滑槽(43)纵向环绕开设于滚筒(42)外壁，且滑槽(43)呈首尾相连状。
4.根据权利要求1所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述粉碎杆(44)顶部贯穿粉碎盒(41)顶面左侧，且粉碎杆(44)顶面固定有限位片。
5.根据权利要求1所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述粉碎杆(44)底部贯穿粉碎盒(41)与粉碎板(45)顶端中部相连接，且粉碎板(45)底面固定有大小均匀的倒圆锥粉碎块。
6.根据权利要求1所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述弹簧(48)左侧与弹簧槽(47)内左侧相连接，且弹簧(48)右侧与滑块(49)左侧相连接。
7.根据权利要求1所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述滑块(49)右侧嵌于滑槽(43)内，且滑块(49)右面呈光滑状态。
8.根据权利要求2所述一种单晶炉用的高效加料机构，其特征在于：所述蜗杆(4102)后端贯穿传动盒(4101)与旋钮(411)前端相连接，且蜗杆(4102)左侧与蜗轮(4103)右侧相连接。
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| CN212895075U true CN212895075U (zh) | 2021-04-06 |
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- 2020-09-01 CN CN202021878952.0U patent/CN212895075U/zh active Active
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